Belichtung: 248 nm (FPA-5000ES4, KrF), 193 nm (FPA-5000AS3, ArF), EUV, EUV High-NA FET, FinFET, GAA-Fet, Ribbon-FET Double-Pattering, Triple-Pattering High-Epsilon für FETs Low-Epsilon für Verdrahtung Verdrahtung (Al, Cu, W) -- 16:22, 12. Nov. 2022 (CET)