포토레지스트는 한때 일본 의존도가 높았으나 벨기에·독일 등 공급처가 늘었고 국내 기업 중에도 동진쎄미켐이 공장 증설을 확정했다.
 반도체 기판 제작에 쓰이는 감광액(感光液)인 포토레지스트(PR)는 한때 일본 의존도가 92%에 달했다.
  현재는 벨기에·독일 등으로 공급처가 늘었다.
  국내 기업 중에도 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 생산하는 동진쎄미켐이 올 초 공장 증설을 확정했다.
  SK머티리얼즈도 ArF 포토레지스트 개발을 위해 내년까지 공장을 완공해 2022년부터 양산에 들어간다.
   EUV용 PR는 미 듀폰 공장 천안에 유치 5㎚ 이하의 초미세 공정에 쓰이는 EUV(극자외선)용 포토레지스트의 경우 당장 국산화하지는 못하고 있다.
  워낙 고난도 기술이 필요하기 때문이다.
  하지만 미국 듀폰이 올 초 EUV용 포토레지스트 공장을 충남 천안에 짓기로 결정했다.
  산업통상자원부가 듀폰과 협의해 투자를 유치했다.
  순수 국산화까지는 못 갔지만 일본이 아닌 해외 기업 유치로 안정적인 공급망을 확보한 셈이다.
  또 다른 규제 품목인 불화 폴리이미드는 국산화가 한창이다.
  불화 폴리이미드는 주로 폴더블 스마트폰이나 롤러블 TV 등 ‘휘어지는’ 디스플레이에 사용한다.
  국내 업체 중에는 코오롱인더스트리가 경북 구미에 생산 설비를 갖추고 지난해부터 양산에 들어갔다.
  SKC도 연간 100만㎡를 생산할 수 있는 대규모 설비를 충북 진천에 갖추고 테스트를 진행하고 있다.
   닛케이 “일 기업 매출·영업이익 감소” 일본 수출규제의 타격은 오히려 자국 업체들을 향했다.
  니혼게이자이신문(닛케이)은 최근 “세계 불화수소 1위 업체인 스텔라케미파의 1분기 매출과 영업이익이 전 분기 대비 각각 12%, 32% 감소했다”고 보도했다.
  이 회사의 고순도 불화수소 출하량은 같은 기간 30%나 감소했다.
  닛케이는 “기업들은 정부에 한국 대기업에 대한 납품 물량을 원상 복귀시켜 달라고 요청 중이지만, 한국 기업들이 다시 일본산 소재를 사용하기 위해 감당해야 할 리스크가 너무 커졌다”고 진단했다.
  국내 반도체업계 관계자는 “공급처를 바꾸기도 어렵지만 다시 일본제로 돌리는 일은 고려하지 않고 있다”고 말했다.
   정부 지원도 한몫 “민·관 협력 계속돼야” 소재 공급 안정화와 국산화가 이뤄질 수 있던 배경에는 정부의 역할도 한몫했다.
  산업부는 불화 폴리이미드는 2010년, 포토레지스트는 2002년부터 기술개발 과제로 지원해왔다.
  일본의 수출규제 직후 기업의 애로사항을 원스톱으로 해결하기 위한 소재부품수급대응지원센터를 운영한 것도 결정적이었다.
 