체제적 메타평가 모형은 특정 목적에 따르기보다 평가의 투입-전환-산출-환류와 평가환경에 대해 종합적으로 평가하는 모형을 말한다. 평가 모형의 구성요소를 보면 연구자에 따라 평가가치, 평가투입, 평가방식과과정, 평가활용으로 구분, 평가기조, 평가자원,평가수행, 평가활용으로 구분, 평가자원, 평가수행, 평가결과, 평가활용으로 구분, 평가기획, 평가투입, 평가수행, 평가결과, 평가활용으로 구분, 평가제도, 조직구성, 평가내용, 결과활용 등으로 구분하여 실시하였다.
다음으로 체제적 메타평가 모형은 특정 목적에 따르기보다 평가의 투입-전환-산출-환류와 평가환경에 대해 종합적으로 평가하는 모형을 말한다. Larson & Berliner(1983)는 메타평가의 구성요소로 평가투입, 평가과정, 평가결과로 구분하여 제시하였고, 문영세(1996,1997)는 평가의 투입-전환-산출-환류의 과정을 고려하여 평가가치, 평가투입, 평가방식과과정, 평가활용으로 나누어 제시하였다. 특히, 중앙심사평가제도(1996, 1997)와 정부업무평가 중 국방부 자체평가(2005년)에 대해 메타평가를 실시함으로써 기존의 평가모형을 보다 구체화하였다. 이찬구(1997)는 연구개발사업평가에 대해 평가기조, 평가자원, 평가수행, 평가활용의 4가지 요소로 구분하여 세부 평가항목을 제시하였으며, 김현구․박희정(2003)은 지방자치단체 합동평가에 대해 평가여건 요소 및 평가활동 요소로 구분하여 메타평가를 실시하였다. 임성옥(2003)은 평가자원, 평가수행, 평가결과, 그리고 평가활용의 4가지 영역으로 구분하여 사회복시시설 평가에 대한 발전방안을 제시하였으며, 황병상․강근복(2005)의 경우에는 정부 출연연구기관(과학기술계)에 대한 기관평가제도의 발전방안을 모색하기 위해 평가기획, 평가수행, 평가결과 및 활용 등 3가지 요소로 구분하고, 총 11개의 세부 평가항목을 설정․제시하였다. 류영수․최병대(2007)는 평가기획, 평가투입, 평가수행, 평가결과, 평가활용의 5단계의순환과정으로 기술영향평가의 절차를 구분하고 각 단계별 메타평가 구성요소와 세부 평가항목을 설정하였으며, 제갈돈․송건섭(2008)의 경우 통합평가제도로서 정부업무평가제도에 대해 평가제도, 조직구성, 평가내용, 결과활용의 4가지로 구성요소를 선정하고 메타평가를 실시하였다.