기존의 제조과정이나 기간시설에 정보통신기술을 적용해 지능화된 스마트공장에 관심이 높아지고 있는데, 이러한 스마트공장은 사이버 물리시스템을 사용하며, 컴퓨터가 통신을 이용해 물리시스템을 제어한다. CPS는 센서와 액츄에이터로 구성되는 물리시스템과 이를 제어하는 컴퓨팅요소가 결합된 네트워크 기반 분산제어 시스템이다.
기존 제조과정이나 기간시설의 통제에 정보통신기술을 적용하여 자동화 ․ 지능화 된 미래 스마트 공장, 스마트 전력망 등이 초미의 관심사가 되고 있다. 이러한 스마트 공장 등은 기존 제조업과는 달리 노동, 자본집약적 성격을 벗어나 정보통신기술 융합이 근간이 된다. 이러한 스마트 전력망이나 스마트 공장은 엄밀히 말해 사이버 물리시스템(Cyber-Physical System, CPS로 약칭)이다. CPS는 사물인터넷이나 빅데이터 기술과 상당 부분 유사하나, 사물인터넷이 정보통신기술을 근간으로 수많은 사물인터넷 객체를 연동하는 기술이라 한다면, CPS는 컴퓨터가 통신을 이용해 물리시스템을 제어하는 통합시스템이라는 점에서 다소 차이가 있다. 즉 센서와 액츄에이터로 구성되는 물리시스템과 이를 제어하는 컴퓨팅요소가 결합된 네트워크 기반 분산제어 시스템이 CPS다. 이러한 CPS의 구체적 구현 모델인 MIT 대학의 Distributed Robot Garden의 경우, 자동로봇기술과 센서를 이용하여 각 식물에 부착된 분산 센서를 통해 물리적 세계의 식물상태를 모니터링하고 상황을 정확히 인지하여 그에 따른 조작을 자동적으로 행하는 수준에 이르렀다. CPS의 전제는 정보통신기술영역 기술과 물리시스템 기술의 융합이다. 그러나 범죄의 양상을 보면 이러한 CPS 대상 범죄는 광의의 사물인터넷 관련 사이버범죄로 보아야 한다.