다중집단 간 측정동일성을 검증할 때, 형태 동일성, 요인부하량 동일성, 공분산동일성, 요인부하량/공분산동일성, 요인부하량/공분산/오차분산 동일성의 5단계로 한다.
다중집단 분석을 통해 구조방정식 모델을 분석하기 위해서는 사전 단계로 다중집단 확인적 요인분석을 통해 다중집단 간 측정동일성을 검증해야 한다. 측정동일성은 ① 형태 동일성, ② 요인부하량 동일성, ③ 공분산동일성, ④ 요인부하량, 공분산동일성, ⑤ 요인부하량, 공분산, 오차분산 동일성의 5단계로 제약모델을 구성하여 검증한다. 측정 동일성 검증에서 가장 중요한 추가모델은‘요인부하량 동일성’의 제약을 가진 것이며, 비제약모델과의 x²통계량의 차이 검정을 통해 동일성 여부를 판정한다. 이때, x²통계량의 차이가 작을수록 동일성이 높아지게 된다.