전제주의 시대에는 형사절차 수행 시의 손해를 보전하는 관념이 형성되지 못했으나 19세기 후반에 산업혁명의 결과로서 이러한 제도 도입이 논의되었다. 국가별로 구체적인 내용은 차이가 있었고, 영국의 경우에는 형사보상 입법이 존재하지 않았지만 국왕의 은사로서 형사보상에 대한 보상금이 지급되었다. 미국에서도 30개 주가 관련 법규를 마련하고 있다. 
전제주의 시대에는 국가가 통치의 객체인 시민에 대하여 형사절차 수행 과정에서 발생한 손해를 보전해준다는 관념이 형성되지 못했다. 이후 계몽적 인도주의가 국가절대주의를 극복해가는 과정에서 형사보상과 관련된 전환점이 생겼는데, 1776년에 프로이센의 프리드리히 대왕(Friedrich der Große)이 발한 ｢소송의 단축에 대한 신법령｣에는 형사보상에 관한 내용이 포함되어 있었다. 19세기 후반에 들어서는 산업혁명의 결과로서 사회적 입법이 이루어지기 시작하였다. 그러한 추세 하에 형사 보상제도의 도입이 논의되었고, 1880년대에 이르러서는 독일, 프랑스, 오스트리아, 스웨덴, 노르웨이, 덴마크, 스페인, 포르투갈 등이 형사보상을 입법하였는데, 보상범위 등의 구체적 내용은 국가별로 차이가 있었다. 19세기까지는 재심에서 무죄판결이 확정된 경우에 보상을 하는 입법례가 많았으나, 20세기에 들어서는 미결구금에 대한 보상도 인정하는 입법례가 나타나기 시작하였다. 반면 영국에서는 형사보상에 대한 입법이 존재하지 않았고, 보통법상의 권리로 형사보상을 청구하는 것도 인정되지 않았으나, 국왕의 은사(恩赦)로서 행정적인 절차에 의해 보상금이 지급되었다. 미국에서도 형사보상청구권은 보통법상의 권리로 인정되지는 않았으나 현재는 연방 및 워싱턴 D.C.를 비롯한 30개 주가 형사보상에 관한 법규를 마련하고 있다.