이 사건 제6항 발명에 대하여 판단해 보면 비교대상발명들의 단순 결합을 통한 효과 달성이 특별히 곤란하거나, 또는 비교대상발명들의 단순결합 효과보다 그 효과가 현저한 점이 없으므로 이 발명은 진보성이 없다.
위와 같이 확정되는 이 사건 제6항 발명의 기술구성을 전제로 기록에 의하여 이 사건 특허청 구범위 제6항과 비교대상발명들을 대비하여 보면, 액체 형태의 처리액의 분리회수를 위한 여러 개의 덕트라는 기술구성 및 캐리어와 원통간의 상대위치 변경장치라는 기술구성은 비교대상발명 1의 상하부 컵 구조 및 승강장치 구조에 개시되어 있거나, 비교대상발명 2의 내외측 컵 구조 및 웨이퍼 척 또는 내측 컵의 상하 이동장치 구조에 개시되어 있고, 기체 형태의 처리액을 외부로 배출하기 위해 덕트를 덕트에 형성된 출구를 통하여 환형공간과 연결하는 기술구성은 비교대상 발명 4의 본체를 본체에 형성된 배기공을 통하여 덕트와 연결하는 구조에 개시되어 있거나, 비교 대상발명 5의 폐액을 배출하는 환형덕트의 구조에 개시되어 있음을 알 수 있는바, 여러 개의 덕트와 상대위치 변경장치라는 기본적 기술구성에 덕트와 연결되는 환형공간이라는 기술구성을 결 합함에 있어 특별한 곤란성이 있다거나, 이를 결합한 구성인 이 사건 제6항 발명의 효과가 비교 대상발명 1 또는 2에 비교대상발명 4 또는 5를 단순 결합한 효과보다 현저하다고 할 수 없으므로, 이 사건 제6항 발명은 진보성이 없다.