마이크로 시뮬레이션 모형은 토지이용 및 교통의 변화에 대한 미시적 예측을 목표로 한다. IRPUD, MUSSA 모형들은 완성도가 높지 않았으나, UrbanSim(Waddell, 2000)의 경우 최근 완성도 높은 모형으로 발전했다.
마이크로 시뮬레이션 모형은 집계화된 자료구조를 활용하지 않고, 개별 행위주체(가구, 기업 등) 및 공간단위를 보다 세밀화하여 토지이용 및 교통의 변화에 대한 미시적인 예측을 목표로 하는 특성을 가지고 있다. 이전에도 IRPUD나 MUSSA와 같은 모형은 특정단계에서 가구유형을 세분화하여 일부 마이크로시뮬레이션이 가능하였지만, 그 완성도가 높지는 않았다. 하지만, 이들과 유사하게 공간경제기반의 토지이용-교통통합모형으로 출발한 UrbanSim(Waddell, 2000)의 경우 최근 들어 완성도 높은 마이크로시뮬레이션 모형으로 발전하였다. UrbanSim 역시 가구의 입지 선택은 다항로짓모형으로 표현되지만, 시장청산(market clearing)을 가정하지 않는 비균형 모형구조를 취하고 있으며, 현재는 활동기반모형이나 행위자기반모형을 다른 하위모형과 연계시키려는 작업을 진행 중이다.