환경요소는 성과감사에 대한 인식과 대상기관의 관심, 기획요소는 감사사항별 방향과 목적 및 역량, 실시요소는 감사초점 및 판단기준과 감사증거를, 결과요소는 감사성과,  환류요소는 사후관리와 결과활용을 측정한다.
분석모형의 구성요소에 따른 측정내용을 살펴보면, 먼저 성과감사의 환경요소는 성과감사 실시를 위한 기반요소로서 감사환경 변화에 대응하는 새로운 감사제도로서의 성과감사에 대한 인식과 대상기관의 관심에 대해 측정하며, 기획요소는 성과감사 실시를 위한 준비단계로서 각 감사사항별 방향과 목적, 그리고 성과감사를 위한 역량(인력)에 대해 측정한다. 또한 실시요소는 실제 성과감사를 실시하는 단계에서 필요한 요소를 말하는 것으로 성과감사의 감사초점 및 판단기준과 감사증거에 대해 측정하고, 결과요소에서는 감사결과의 처리유형 및 결과보고(성과감사보고서)와 결과처리의 효과로서 감사성과에 대해 측정한다. 마지막으로 환류요소는 감사결과의 사후관리와 결과활용에 대해 측정한다. 구체적인 측정항목은 <표 2>와 같다.