현대 독일에서 재심을 통해 무죄선고를 받을 경우 소송비용 전액을 보상한다는 형사보상제도를 도입한 것은 19세기이며, 이어 미결구금 무혐의 피고인에 대한 형사보상 규정도 마련했다. 1971에는 재심보상과 미결구금보상에 대해 동일 적용이 가능한 형사보상법을 제정하였다.
프로이센의 계몽적 전제군주로 알려져 있는 프리드리히 대왕(Friedrich der Große)은 1776년 1월 15일에 공포한 ｢소송의 단축에 대한 신법령(Neue Verordnung, um die Prozesse zu verkürzen)｣에서 범죄 혐의로 심문을 받은 자가 그 이후에 무죄로 밝혀진 경우에는 그 자에게 소송비용 전부를 보상해주어야 한다고 밝혔다. 독일에서 현대적 의미의 형사보상제도가 마련된 것은 19세기 후반으로 거슬러 올라가는데, 1898년 독일은 재심 절차에서 무죄선고를 받은 자에 대한 형사보상제도를 도입하였고, 1904년에는 미결구금을 당한 피고인에게 혐의가 없다는 사실이 밝혀진 경우에 이루어지는 형사보상에 관한 규정을 마련하였다. 이후 독일은 1971년 3월 8일에 ｢형사보상법(Gesetz über die Entschädigung für Strafverfolgungsmaßnahmen, StrEG)｣을 제정하였는바, 재심보상과 미결구금보상이 모두 동법을 통해 규정되고 있다.