오존 생성 반응은 순차적으로 식을 진행하여 발생한다. RO2로 NO2로 변환시켜 오존 생성 전구물질을 만들고, NO2는 자외선을 통해 분해당해 오존형성 조건에 적합해진다. M을 통해 오존의 안정성을 갖추고 식이 완성된다. 
탄화수소의 산화과정에서 발생한 RO2(peroxyradicals)가 NO를 NO2로 변환시켜 식 (1) 오존생성의 전구물질을 만들게 된다. 식 (2)에서 NO2가 자외선에 의해 분해되어 오존형성에 필요한 조건을 만족시키고, 이어 오존 생성식 (3)에서 산소(O2) 또는 질소(N2) 분자를 나타내는 M이 발생된 오존을 안정화시키는 역할을 하면서 반응식이 완결된다. 오존 생성 반응은 매우 신속히 이루어지므로 (2)번 식과 (3)번 식은 마치 한 번에 이루어지는 것으로 간주할 수 있다(Derwent and Hertel, 1998, p. 139). Seinfeld(1989, p. 745)에 따르면 HC의 화학적 구조가 Peroxy radicals의 수와 형태를 결정짓게 되므로 NO의 NO2 전환은 HC의 산화과정과 긴밀히 연결되어 있다고 할 수 있다.