흥법사가 17세기 전반에 폐사된 것은 李敏求의 關東錄과 柳馨遠의 東國輿地志를 통해 확인된다. 두 기록의 내용을 볼 때, 흥법사는 17세기 전반에 폐사되고, 비는 임진왜란 때 옮겨졌다가 17세기 전반에 파손됐음을 알 수 있다.
흥법사가 17세기 전반에 이미 폐사된 상태에 이르게 되었음은 李敏求의 關東錄과 柳馨遠의 東國輿地志을 통하여 확인할 수 있다. 먼저 이민구의 관동록에 실린 興法寺碑歌중에는 비를 관청으로 옮긴 이후 비가 파손되어 일부를 결실하 게 되었고, 화재를 입어 글씨는 겨우 알아볼 수 있는 정도가 되었으며, ‘乙亥年 (1635년 추정)’ 가을 방문하였을 때는 풀이 무성한 채 터만 남아 있었다고 기록되어 있다.이를 통해 볼 때, 흥법사는 분명 1635년 이전에 폐사된 채 파손된 비편만이 전하고 있었음을 알 수 있다. 유형원의 東國輿地志에는 흥법사비가 관청에 옮겨지게 된 경위에 대해 보다 자세한 기술을 하고 있다.1) 이에 따르면 萬曆壬辰年(1592)에 倭人들이 이 비가 천하의 보물임을 알고 수레에 실어 그들의 屯所로 옮겨갔다가, 이후 관청에 옮겨지게 되었고 인조 연간에 비가 여러 편으로 파손되어 지금에 이르고 있다고 한다. 위의 두 기록을 통하여, 흥법사는 17세기 전반에는 이미 폐사된 상태였으며, 비는 임진왜란 시 옮겨졌다가 인조 때인 17세기 전반에 파손되었음을 알 수 있다.