저희가 개발한 마이크로파 유도가열 기술은 이런 코일, 기존의 코일 대신에 '유전체 공진기'라는 것을 사용해서 기존 유도가열과 비슷한 형태의 자기장 패턴을 발생을 시키고 여기에 전도성 박막을 가까이 가져가게 되면 마찬가지로 유도전류를 발생을 시키면서 가열을 시킬 수 있는 기술입니다. 한국전기연구원의 김대호입니다.
1. 모두 발언 안녕하세요? 한국전기연구원의 김대호입니다. 오늘 제가 말씀드릴 내용은 첨단 열 공정에 활용할 수 있는 '마이크로파 유도가열 기술'입니다. 먼저, 기존의 유도가열 기술에 대해서 간략하게 설명을 드리면서 시작하겠습니다. 기존의 유도가열 기술은 전류가 흐르는 코일을 감았을 때 발생하는 자기장을 이용해서 여기에 이 자기장에 금속용기를 가까이 가져가게 되면 금속 표면에 유도전류가 발생이 되는데요. 이 유도전류에 의해서 발생하는 열을 이용하는 가열 기술입니다. 이때 이 유도전류의 표면에 대한 침투 깊이는 약 1㎜ 수준이기 때문에 보통 우리가 산업에서 금속을 열처리한다든지 여러분 가정에서 사용하시는 인덕션 히터 같은 방식으로 많이 활용이 되고 있습니다. 저희가 개발한 마이크로파 유도가열 기술은 이런 코일, 기존의 코일 대신에 '유전체 공진기'라는 것을 사용해서 기존 유도가열과 비슷한 형태의 자기장 패턴을 발생을 시키고 여기에 전도성 박막을 가까이 가져가게 되면 마찬가지로 유도전류를 발생을 시키면서 가열을 시킬 수 있는 기술입니다. 기존 기술과 가장 큰, 중요한 큰 차이점은 뭐냐 하면 기존 기술은 20kHz의 고주파를 쓰는 반면에 저희는 전자레인지에 사용하는 마이크로파와 똑같은 2.45GHz의 마이크로파를 사용합니다. 그래서 주파수가 기존 기술보다 약 1만 배 정도 높기 때문에 유도전류 침투 깊이도 그에 반비례해서 약 1㎛ 수준의 굉장히 얇은 침투 깊이를 가지게 됩니다.