삼성벤처투자는 심사대상 발굴, 예비심사, 구성원 면담과 사업계획서 평가 등을 통해 투자여부를 결정하고, 투자기업의 현장실사, 세부협상 등의 절차를 거쳐 경영지원활동이 시작된다. 
삼성벤처투자의 투자절차는 일반벤처캐피탈과 유사하다. 1단계에서 심사대상을 발굴하면, 2단계에서 기본 사업능력을 감안하여 예비심사를 실시한다. 3단계에서 투자기업의 경영자와 구성원들을 면담하고 사업계획서를 평가한다. 4단계에서는 기술성, 사업성, 시장성, 제품재무현황 및 경영진 등에 대한 1차평가를 실시한다. 1차평가에서는 투자심의위원회가 조성되는데 대표이사, 경영지원팀장, 투자1~3팀장의 5명으로 구성되며 투자리스크 등을 점검 등을 통해 투자여부를 결정한다. 5단계에서 투자기업에 대한 현장실사가 진행되고, 6단계에서 투자조건 등 세부적인 협상을 진행하고, 7단계에서 투자가 발생하고 경영지원활동이 시작된다.