초기 영향평가는 과학기술기본법에 기초해 KISTEP이 주도해 여러 평가대상의 TA 평가를 수행했는데, 이후 여러주체에 의해 다양한 방식으로 수행, 2010년에는 국가나노기술정책센터 설립으로 한 기관의 주요업무로 수행되었다.
「나노기술개발 촉진법」에서 나노기술 영향평가를 명문화하였지만, 초기의 영향평가는 「과학기술기본법」에 기초하여 KISTEP에서 중심적으로 수행하였다. KISTEP에서 수행하는 TA의 평가대상으로 2003년에는 NBIT, 2005년에는 나노기술 전반, 2006년에는 나노소재가 선정되어 평가된 것이다. 나노기술에 대한 관심이 고조되면서, 이후에는 TA가 여러 주체에 의해 다양한 방식으로 수행되기 시작하였는데, ‘나노소재기술개발 프론티어 사업단’에서 수행한 ELSI(Ethical, Legal, and Society Implication) 연구 및 활동(2008~2012)이 대표적이다(국가나노기술정책센터, 2015, p. 361). 2010년에는 국가나노기술정책센터가 설립되면서 나노기술 분야의 영향평가가 한 기관의 주요업무로 수행되기 시작하였다.