MEMS 기술은 센서 및 구동장치 등 정밀화,복합화를 가능하게 하는 기술로 응용분야는 자동차,가전분야 등이 있다. 대규모직접회로가 처리 및 저장기능을 수행하면 MEMS는 외부와의 인터페이스를 담당한다. MEMS는 문제점이 많아 발전이 늦었지만 기술발전 후 성장하고 있다.
각종 센서가 아날로그 기술 기반에서 디지털 기술 기반으로 이전이 본격화된 것도 거대한 데이터 생성을 촉진한다. MEMS(Micro Electro Mechanical System: 미세전자기계시스템) 기술은 센서 및 구동장치 등의 고정밀화·복합화를 가능하게 하는 시스템반도체 기술로서 응용분야는 자동차 및 가전제품(가속도, 자이로, 압력, 온도 센서 등), 정보통신(감광소자, 광신호 분리기, 광단속기, 정보 검출기 등), 의료/환경(초소형 내시경, 혈압센서, 랩온어칩 등) 등 다양하다. 대규모집적회로(Large Scale Integrated Circuit; LSI)가 정보 처리 및 저장 기능을 수행한다면, MEMS는 외부세계와 ‘인터페이스’ 역할을 수행한다. 집적회로와 달리 MEMS 기술은 완성품 형태가 각각 달라 후공정 설비를 표준화하기 어렵고 공정에서 칩 내부의 구조체가 파손될 가능성이 커서 그동안 발전이 늦었지만, 기술발전이 성숙기에 도달한 LSI 기술과 달리 이제부터 본격적 성장기를 구가하고 있다.