단기산업기술개발 유형은 중소기업이 주로 해당하며 성과목표가 잡히면 이를 주기적으로 평가할 필요가 있다.
단기산업기술개발 유형은 수혜대상이 주로 중소기업에 해당되며 중소기업 관련 R&D사업은 중소기업의 중견기업화, 기술혁신, 기술혁신 역량강화, 중견기업의 글로벌화를 주요 정책목표로 하고 있어, 사업의 성과목표 설정 시 이를 반영할 필요가 있다(미래부, 2014). 장기적 관점에 의해 분석되어야만 하는 기초연구 프로그램과 달리, 연구의 질, 부합성, 리더십 등과 더불어 연구목적, 즉 연구가 추구하는 실용적인 결과물과 비교하여 진척된 정도를 측정해야 할 필요가 있다. 단기적으로는 매출 및 수출액, 시제품 제작, 신공정 개발 등이 중장기적으로는 고용유발, 논문·특허의 질적 성과, 기술국산화, 시장점유율 등이 핵심성과에 해당됨을 제시하고 있다.