ISSN	85	71	107	80	595	842	1
1517-7076	110	71	155	80	595	842	1
artículo	158	71	189	80	595	842	1
e-12127,	192	71	230	80	595	842	1
2018	232	71	253	80	595	842	1
Caracterización	85	111	182	124	595	842	1
del	185	111	204	124	595	842	1
proceso	208	111	258	124	595	842	1
de	262	111	277	124	595	842	1
fabricación	281	111	350	124	595	842	1
de	85	126	100	139	595	842	1
macroporos	104	126	179	139	595	842	1
sobre	183	126	218	139	595	842	1
sustrato	222	126	273	139	595	842	1
de	277	126	292	139	595	842	1
silicio	295	126	332	139	595	842	1
por	85	141	106	154	595	842	1
método	110	141	157	154	595	842	1
electroquímico	160	141	253	154	595	842	1
Characterization	85	172	179	184	595	842	1
of	183	172	194	184	595	842	1
fabrication	198	172	258	184	595	842	1
process	261	172	307	184	595	842	1
of	310	172	321	184	595	842	1
micropores	85	187	149	199	595	842	1
on	153	187	168	199	595	842	1
silicon	171	187	207	199	595	842	1
substrate	211	187	264	199	595	842	1
by	268	187	282	199	595	842	1
electrochemical	85	202	175	214	595	842	1
method	179	202	222	214	595	842	1
Manuel	280	229	310	238	595	842	1
Der	313	229	328	238	595	842	1
1	328	226	331	232	595	842	1
,	331	229	334	238	595	842	1
Carol	336	229	359	238	595	842	1
Olmos	361	229	388	238	595	842	1
2	388	226	391	232	595	842	1
,	391	229	393	238	595	842	1
Gustavo	396	229	429	238	595	842	1
Rosero	432	229	460	238	595	842	1
2	460	226	463	232	595	842	1
,	464	229	466	238	595	842	1
Itzel	469	229	486	238	595	842	1
Santizo	489	229	518	238	595	842	1
2	519	226	522	232	595	842	1
,	522	229	524	238	595	842	1
Tamara	302	241	333	250	595	842	1
Fernandez	335	241	377	250	595	842	1
2	377	238	380	244	595	842	1
,	380	241	383	250	595	842	1
Maria	386	241	409	250	595	842	1
Dieguez	412	241	445	250	595	842	1
3	445	238	448	244	595	842	1
,	448	241	451	250	595	842	1
Francisco	454	241	492	250	595	842	1
Sacco	495	241	518	250	595	842	1
3	519	238	522	244	595	842	1
,	522	241	524	250	595	842	1
Pablo	387	253	410	262	595	842	1
Granell	412	253	442	262	595	842	1
4	442	250	445	256	595	842	1
,	446	253	448	262	595	842	1
Federico	451	253	485	262	595	842	1
Golmar	488	253	518	262	595	842	1
4	519	250	522	256	595	842	1
,	522	253	524	262	595	842	1
Betiana	391	265	422	274	595	842	1
Lerner	424	265	451	274	595	842	1
2	451	262	454	268	595	842	1
,	454	265	457	274	595	842	1
Carlos	459	265	485	274	595	842	1
Lasorsa	488	265	519	274	595	842	1
2	519	262	522	268	595	842	1
,	522	265	525	274	595	842	1
Maximiliano	445	277	496	286	595	842	1
Perez	499	277	521	286	595	842	1
2	521	274	525	280	595	842	1
1	85	327	88	333	595	842	1
Departamento	90	329	141	337	595	842	1
de	143	329	152	337	595	842	1
Física,	154	329	178	337	595	842	1
Facultad	180	329	211	337	595	842	1
de	213	329	222	337	595	842	1
Ciencias	224	329	255	337	595	842	1
Exactas	257	329	285	337	595	842	1
y	287	329	292	337	595	842	1
Naturales,	294	329	331	337	595	842	1
Universidad	333	329	377	337	595	842	1
de	379	329	388	337	595	842	1
Buenos	390	329	417	337	595	842	1
Aires,	419	329	441	337	595	842	1
Cuidad	443	329	469	337	595	842	1
Universitaria,	471	329	520	337	595	842	1
Buenos	85	341	112	349	595	842	1
Aires	114	341	134	349	595	842	1
1428,	136	341	156	349	595	842	1
Buenos	159	341	185	349	595	842	1
Aires,	188	341	209	349	595	842	1
Buenos	212	341	239	349	595	842	1
Aires,	241	341	263	349	595	842	1
Argentina	265	341	301	349	595	842	1
2	85	351	88	357	595	842	1
Universidad	90	353	134	361	595	842	1
Tecnológica	136	353	181	361	595	842	1
Nacional,	183	353	218	361	595	842	1
Facultad	220	353	251	361	595	842	1
Regional	253	353	286	361	595	842	1
Haedo,	288	353	314	361	595	842	1
Grupo	316	353	339	361	595	842	1
de	341	353	350	361	595	842	1
Ingeniería	352	353	389	361	595	842	1
de	391	353	399	361	595	842	1
Recubrimientos	401	353	459	361	595	842	1
especiales	461	353	497	361	595	842	1
y	500	353	504	361	595	842	1
na-	506	353	518	361	595	842	1
notecnología	85	365	131	373	595	842	1
(IREN),	134	365	163	373	595	842	1
Sarmiento,	165	365	204	373	595	842	1
Buenos	207	365	234	373	595	842	1
Aires,	236	365	258	373	595	842	1
Buenos	260	365	287	373	595	842	1
Aires,	289	365	311	373	595	842	1
Argentina.	313	365	351	373	595	842	1
e-mail:	85	377	110	385	595	842	1
carolmaritza1@gmail.com,	113	377	211	385	595	842	1
gustavorosero@gmail.com,	213	377	312	385	595	842	1
itzelsantizo@gmail.com,	315	377	404	385	595	842	1
betianalerner@gmail.com,	406	377	502	385	595	842	1
lasorsa@cnea.gov.ar,	85	389	162	397	595	842	1
max@fullgen.com.ar	164	389	240	397	595	842	1
e-mail:	85	401	110	409	595	842	1
manu.der.93@gmail.com	113	401	204	409	595	842	1
3	85	411	88	417	595	842	1
Instituto	90	411	120	421	595	842	1
de	122	411	131	421	595	842	1
Genética	133	411	165	421	595	842	1
“Ewald	167	411	194	421	595	842	1
A.	197	411	205	421	595	842	1
Favret”	208	411	235	421	595	842	1
CICVyA-INTA	237	411	294	421	595	842	1
CASTELAR,	296	413	345	421	595	842	1
Castelar,	348	413	380	421	595	842	1
Buenos	382	413	409	421	595	842	1
Aires,	411	413	433	421	595	842	1
Buenos	435	413	462	421	595	842	1
Aires,	464	413	486	421	595	842	1
Argentina.	489	413	527	421	595	842	1
e-mail:	85	425	110	433	595	842	1
dieguez.maria@inta.gob.ar,	113	425	212	433	595	842	1
sacco.francisco@inta.gob.ar	215	425	317	433	595	842	1
4	85	435	88	441	595	842	1
Instituto	90	437	120	445	595	842	1
Nacional	122	437	155	445	595	842	1
de	157	437	166	445	595	842	1
Tecnología	168	437	208	445	595	842	1
Industrial,	211	437	247	445	595	842	1
Buenos	250	437	277	445	595	842	1
Aires,	279	437	301	445	595	842	1
Argentina.	303	437	341	445	595	842	1
e-mail:	85	449	110	457	595	842	1
pgranell@inti.gob.ar,	113	449	190	457	595	842	1
fgolmar@inti.gob.ar	192	449	266	457	595	842	1
Palabras	85	603	123	612	595	842	1
clave:	125	603	150	612	595	842	1
macroporos,	153	603	203	612	595	842	1
sensores	205	603	239	612	595	842	1
biológicos,	241	603	286	612	595	842	1
wet	288	603	302	612	595	842	1
etching,	305	603	337	612	595	842	1
silicio.	339	603	366	612	595	842	1
Keywords:macropores,	85	744	188	754	595	842	1
biological	191	745	231	754	595	842	1
sensors,	233	745	265	754	595	842	1
wet	268	745	282	754	595	842	1
etching,	285	745	316	754	595	842	1
silicon.	319	745	348	754	595	842	1
Autor	85	799	103	806	595	842	1
Responsable:	105	799	148	806	595	842	1
Manuel	150	799	175	806	595	842	1
Der	177	799	189	806	595	842	1
10.1590/S1517-707620180002.0461	85	822	202	829	595	842	1
Fecha	255	799	274	806	595	842	1
de	276	799	284	806	595	842	1
envío:	286	799	306	806	595	842	1
01/08/2017	308	799	344	806	595	842	1
Fecha	404	799	423	806	595	842	1
de	425	799	433	806	595	842	1
aprobación:	435	799	472	806	595	842	1
08/02/2018	474	799	511	806	595	842	1
DER,	280	40	298	47	595	842	2
M.;	300	40	312	47	595	842	2
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	2
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	2
et	400	40	406	47	595	842	2
al.	408	40	416	47	595	842	2
revista	418	40	439	47	595	842	2
Matéria,	441	40	469	47	595	842	2
v.	471	40	476	47	595	842	2
23,	478	40	488	47	595	842	2
n.	490	40	496	47	595	842	2
2,	498	40	504	47	595	842	2
2018.	506	40	524	47	595	842	2
1.	85	75	93	84	595	842	2
INTRODUCTION	95	75	164	84	595	842	2
Durante	85	90	117	99	595	842	2
la	121	90	128	99	595	842	2
última	132	90	157	99	595	842	2
década	161	90	188	99	595	842	2
las	192	90	203	99	595	842	2
investigaciones	207	90	269	99	595	842	2
en	272	90	282	99	595	842	2
las	286	90	297	99	595	842	2
áreas	300	90	321	99	595	842	2
de	324	90	334	99	595	842	2
la	338	90	344	99	595	842	2
nanotecnología	348	90	409	99	595	842	2
y	413	90	418	99	595	842	2
la	422	90	429	99	595	842	2
nanobiotecnología	432	90	506	99	595	842	2
han	510	90	525	99	595	842	2
motivado	85	102	123	111	595	842	2
al	126	102	133	111	595	842	2
desarrollo	136	102	176	111	595	842	2
de	179	102	189	111	595	842	2
dispositivos	192	102	240	111	595	842	2
con	243	102	257	111	595	842	2
tamaños	260	102	294	111	595	842	2
en	297	102	306	111	595	842	2
el	309	102	317	111	595	842	2
orden	320	102	343	111	595	842	2
de	346	102	355	111	595	842	2
los	358	102	370	111	595	842	2
nanómetros.	373	102	422	111	595	842	2
Actualmente,	426	102	479	111	595	842	2
uno	482	102	497	111	595	842	2
de	500	102	510	111	595	842	2
los	513	102	524	111	595	842	2
grandes	85	114	116	123	595	842	2
intereses	119	114	154	123	595	842	2
se	156	114	165	123	595	842	2
centra	167	114	192	123	595	842	2
en	195	114	204	123	595	842	2
la	207	114	214	123	595	842	2
fabricación	216	114	261	123	595	842	2
de	264	114	273	123	595	842	2
macroporos	276	114	323	123	595	842	2
y	326	114	331	123	595	842	2
nanoporos	333	114	375	123	595	842	2
que	378	114	392	123	595	842	2
permitan	395	114	430	123	595	842	2
el	433	114	440	123	595	842	2
sensado	443	114	474	123	595	842	2
de	477	114	487	123	595	842	2
células	489	114	517	123	595	842	2
y	520	114	525	123	595	842	2
moléculas	85	126	125	135	595	842	2
como	129	126	151	135	595	842	2
nucleotidos,	154	126	203	135	595	842	2
enantiomeros,	206	126	262	135	595	842	2
polimeros	265	126	305	135	595	842	2
como	308	126	330	135	595	842	2
PEG	334	126	353	135	595	842	2
(polietilengrlicol),	356	126	428	135	595	842	2
RNA,	432	126	455	135	595	842	2
DNA	458	126	480	135	595	842	2
y	483	126	488	135	595	842	2
polipép-	491	126	524	135	595	842	2
tidos.	85	138	107	147	595	842	2
Esta	110	138	128	147	595	842	2
línea	131	138	150	147	595	842	2
de	153	138	162	147	595	842	2
investigación	166	138	219	147	595	842	2
representa	222	138	263	147	595	842	2
perspectivas	266	138	316	147	595	842	2
positivas	319	138	355	147	595	842	2
en	358	138	368	147	595	842	2
cuanto	370	138	397	147	595	842	2
a	401	138	405	147	595	842	2
la	408	138	415	147	595	842	2
secuenciación	418	138	474	147	595	842	2
de	477	138	487	147	595	842	2
ADN	490	138	512	147	595	842	2
de	515	138	524	147	595	842	2
tercera	85	150	112	159	595	842	2
generación	115	150	159	159	595	842	2
y	161	150	166	159	595	842	2
el	168	150	176	159	595	842	2
diagnóstico	178	150	224	159	595	842	2
médico	227	150	256	159	595	842	2
[1].	259	150	273	159	595	842	2
Entre	115	165	137	174	595	842	2
los	140	165	152	174	595	842	2
métodos	156	165	189	174	595	842	2
que	193	165	207	174	595	842	2
reporta	211	165	239	174	595	842	2
la	243	165	249	174	595	842	2
literatura	253	165	289	174	595	842	2
para	293	165	310	174	595	842	2
la	313	165	320	174	595	842	2
fabricación	324	165	369	174	595	842	2
de	372	165	382	174	595	842	2
poros	385	165	408	174	595	842	2
se	411	165	419	174	595	842	2
encuentran	423	165	467	174	595	842	2
metodologías	471	165	524	174	595	842	2
que	85	177	99	186	595	842	2
hacen	103	177	126	186	595	842	2
uso	129	177	143	186	595	842	2
de	147	177	156	186	595	842	2
la	159	177	166	186	595	842	2
microscopía	170	177	218	186	595	842	2
electrónica	222	177	265	186	595	842	2
[2-6],	269	177	291	186	595	842	2
métodos	295	177	329	186	595	842	2
de	332	177	342	186	595	842	2
etching	345	177	374	186	595	842	2
químico	377	177	410	186	595	842	2
[7,8]	413	177	433	186	595	842	2
y	436	177	441	186	595	842	2
métodos	444	177	478	186	595	842	2
electroquí-	481	177	524	186	595	842	2
micos	85	189	109	198	595	842	2
[9-13].	114	189	142	198	595	842	2
La	145	189	155	198	595	842	2
fabricación	158	189	203	198	595	842	2
de	205	189	215	198	595	842	2
nanoporos	218	189	259	198	595	842	2
mediante	262	189	299	198	595	842	2
técnicas	302	189	334	198	595	842	2
de	336	189	346	198	595	842	2
microscopía	349	189	398	198	595	842	2
electrónica	400	189	444	198	595	842	2
resulta	447	189	473	198	595	842	2
ser	476	189	488	198	595	842	2
muy	491	189	508	198	595	842	2
útil	511	189	524	198	595	842	2
y	85	201	90	210	595	842	2
permite	93	201	123	210	595	842	2
tener	126	201	146	210	595	842	2
un	149	201	159	210	595	842	2
gran	162	201	180	210	595	842	2
control	183	201	211	210	595	842	2
en	214	201	224	210	595	842	2
relación	226	201	259	210	595	842	2
al	261	201	269	210	595	842	2
tamaño	272	201	301	210	595	842	2
y	304	201	309	210	595	842	2
localización	312	201	361	210	595	842	2
del	363	201	376	210	595	842	2
poro.	379	201	400	210	595	842	2
No	403	201	415	210	595	842	2
obstante,	418	201	454	210	595	842	2
estas	457	201	476	210	595	842	2
tecnologías	479	201	524	210	595	842	2
son	85	213	99	222	595	842	2
costosas	102	213	136	222	595	842	2
y	139	213	144	222	595	842	2
producen	147	213	185	222	595	842	2
poros	188	213	210	222	595	842	2
de	214	213	223	222	595	842	2
alta	226	213	241	222	595	842	2
fragilidad	244	213	283	222	595	842	2
que	286	213	301	222	595	842	2
presentan	304	213	342	222	595	842	2
complicaciones	345	213	408	222	595	842	2
al	411	213	418	222	595	842	2
momento	422	213	459	222	595	842	2
de	463	213	472	222	595	842	2
adaptarlos	476	213	516	222	595	842	2
a	520	213	524	222	595	842	2
las	85	225	96	234	595	842	2
exigencias	99	225	141	234	595	842	2
masivas	144	225	176	234	595	842	2
de	179	225	189	234	595	842	2
la	192	225	199	234	595	842	2
industria	202	225	237	234	595	842	2
médica	240	225	268	234	595	842	2
y	272	225	277	234	595	842	2
biológica,	280	225	319	234	595	842	2
así	322	225	333	234	595	842	2
como	336	225	358	234	595	842	2
a	362	225	366	234	595	842	2
los	369	225	381	234	595	842	2
sucesivos	384	225	422	234	595	842	2
traslados	425	225	460	234	595	842	2
y	463	225	468	234	595	842	2
manipulacio-	471	225	524	234	595	842	2
nes	85	237	98	246	595	842	2
de	101	237	111	246	595	842	2
los	114	237	126	246	595	842	2
que	129	237	143	246	595	842	2
deberán	146	237	178	246	595	842	2
ser	181	237	193	246	595	842	2
objeto.	196	237	224	246	595	842	2
En	227	237	238	246	595	842	2
cuanto	241	237	268	246	595	842	2
al	271	237	279	246	595	842	2
método	282	237	311	246	595	842	2
electroquímico,	315	237	377	246	595	842	2
este	381	237	396	246	595	842	2
consiste	399	237	431	246	595	842	2
en	434	237	444	246	595	842	2
la	447	237	454	246	595	842	2
aplicación	457	237	499	246	595	842	2
de	502	237	511	246	595	842	2
un	514	237	524	246	595	842	2
voltaje	85	249	112	258	595	842	2
durante	116	249	146	258	595	842	2
el	151	249	158	258	595	842	2
proceso	162	249	193	258	595	842	2
de	197	249	207	258	595	842	2
etching	211	249	240	258	595	842	2
químico	244	249	277	258	595	842	2
controlado,	281	249	326	258	595	842	2
seguido	331	249	361	258	595	842	2
de	366	249	375	258	595	842	2
una	379	249	393	258	595	842	2
neutralización	398	249	454	258	595	842	2
mediada	458	249	492	258	595	842	2
por	496	249	510	258	595	842	2
un	514	249	524	258	595	842	2
agente	85	261	111	270	595	842	2
de	114	261	123	270	595	842	2
frenado.	126	261	159	270	595	842	2
Entre	162	261	184	270	595	842	2
las	187	261	198	270	595	842	2
ventajas	201	261	234	270	595	842	2
de	236	261	246	270	595	842	2
los	249	261	261	270	595	842	2
poros	263	261	286	270	595	842	2
obtenidos	288	261	327	270	595	842	2
mediante	330	261	367	270	595	842	2
la	370	261	377	270	595	842	2
técnica	380	261	408	270	595	842	2
se	411	261	419	270	595	842	2
destacan:	422	261	459	270	595	842	2
alta	462	261	477	270	595	842	2
resistencia,	480	261	524	270	595	842	2
geometría	85	273	125	282	595	842	2
controlada,	128	273	173	282	595	842	2
estabilidad,	176	273	222	282	595	842	2
y	226	273	231	282	595	842	2
control	234	273	262	282	595	842	2
en	265	273	275	282	595	842	2
los	278	273	290	282	595	842	2
tamaños	293	273	327	282	595	842	2
[9-13].	330	273	358	282	595	842	2
Además,	361	273	396	282	595	842	2
la	400	273	407	282	595	842	2
fabricación	410	273	455	282	595	842	2
puede	458	273	482	282	595	842	2
llevarse	485	273	516	282	595	842	2
a	520	273	524	282	595	842	2
cabo	85	285	104	294	595	842	2
en	106	285	116	294	595	842	2
un	118	285	128	294	595	842	2
laboratorio	131	285	175	294	595	842	2
sin	177	285	189	294	595	842	2
instalaciones	191	285	243	294	595	842	2
costosas.	245	285	281	294	595	842	2
Para	113	300	130	309	595	842	2
la	134	300	141	309	595	842	2
fabricación	145	300	190	309	595	842	2
de	194	300	204	309	595	842	2
poros	208	300	230	309	595	842	2
mediante	234	300	271	309	595	842	2
el	275	300	282	309	595	842	2
método	286	300	316	309	595	842	2
electroquímico	320	300	379	309	595	842	2
se	384	300	392	309	595	842	2
usan	396	300	415	309	595	842	2
generalmente	418	300	472	309	595	842	2
sustratos	476	300	511	309	595	842	2
de	515	300	525	309	595	842	2
silicio	85	312	109	321	595	842	2
cristalino.	113	312	153	321	595	842	2
Dicho	157	312	181	321	595	842	2
material	185	312	218	321	595	842	2
se	222	312	230	321	595	842	2
expone	234	312	263	321	595	842	2
localmente	267	312	311	321	595	842	2
a	315	312	319	321	595	842	2
un	323	312	333	321	595	842	2
agente	337	312	363	321	595	842	2
como	367	312	389	321	595	842	2
ácido	393	312	414	321	595	842	2
fluorhídrico,	418	312	469	321	595	842	2
hidróxido	473	312	511	321	595	842	2
de	515	312	525	321	595	842	2
sodio,	85	324	109	333	595	842	2
hidróxido	112	324	151	333	595	842	2
de	154	324	163	333	595	842	2
potasio,	166	324	197	333	595	842	2
tetrametil	200	324	238	333	595	842	2
amonio	241	324	270	333	595	842	2
hidróxido,	274	324	315	333	595	842	2
entre	318	324	338	333	595	842	2
otros,	340	324	363	333	595	842	2
que	366	324	380	333	595	842	2
lo	383	324	390	333	595	842	2
atacan	393	324	419	333	595	842	2
químicamente.	421	324	481	333	595	842	2
El	483	324	492	333	595	842	2
etching	495	324	524	333	595	842	2
químico	85	336	118	345	595	842	2
con	124	336	138	345	595	842	2
KOH	144	336	165	345	595	842	2
ha	171	336	180	345	595	842	2
sido	186	336	203	345	595	842	2
especialmente	209	336	265	345	595	842	2
estudiado	271	336	309	345	595	842	2
debido	315	336	342	345	595	842	2
a	348	336	353	345	595	842	2
su	358	336	367	345	595	842	2
bajo	373	336	390	345	595	842	2
costo,	396	336	419	345	595	842	2
alta	425	336	439	345	595	842	2
relación	445	336	477	345	595	842	2
de	483	336	492	345	595	842	2
ataque	498	336	524	345	595	842	2
(100)/(111)	85	348	131	357	595	842	2
,	135	348	137	357	595	842	2
su	140	348	149	357	595	842	2
naturaleza	153	348	193	357	595	842	2
no	197	348	207	357	595	842	2
tóxica	210	348	235	357	595	842	2
y	238	348	243	357	595	842	2
facilidad	246	348	281	357	595	842	2
de	284	348	294	357	595	842	2
manipulación	298	348	352	357	595	842	2
en	355	348	364	357	595	842	2
laboratorio	368	348	412	357	595	842	2
[7,14].	415	348	442	357	595	842	2
Durante	445	348	477	357	595	842	2
el	481	348	488	357	595	842	2
proceso,	491	348	525	357	595	842	2
átomos	85	360	114	369	595	842	2
de	117	360	126	369	595	842	2
silicio	129	360	153	369	595	842	2
son	156	360	170	369	595	842	2
arrancados	173	360	217	369	595	842	2
de	219	360	229	369	595	842	2
la	232	360	239	369	595	842	2
estructura	242	360	281	369	595	842	2
cristalina	284	360	321	369	595	842	2
al	324	360	331	369	595	842	2
entrar	334	360	358	369	595	842	2
en	361	360	370	369	595	842	2
contacto	373	360	407	369	595	842	2
con	410	360	424	369	595	842	2
los	427	360	438	369	595	842	2
hidróxidos	441	360	484	369	595	842	2
presentes	487	360	524	369	595	842	2
en	85	372	94	381	595	842	2
el	97	372	105	381	595	842	2
medio.	108	372	135	381	595	842	2
De	138	372	150	381	595	842	2
esta	153	372	168	381	595	842	2
manera,	171	372	203	381	595	842	2
cuando	206	372	235	381	595	842	2
se	238	372	246	381	595	842	2
expone	249	372	278	381	595	842	2
al	281	372	288	381	595	842	2
ataque	291	372	317	381	595	842	2
químico	320	372	352	381	595	842	2
una	356	372	370	381	595	842	2
región	373	372	398	381	595	842	2
acotada	401	372	432	381	595	842	2
sobre	435	372	457	381	595	842	2
la	460	372	466	381	595	842	2
superficie	469	372	509	381	595	842	2
del	512	372	525	381	595	842	2
material,	85	384	120	393	595	842	2
se	123	384	131	393	595	842	2
genera	134	384	161	393	595	842	2
un	164	384	174	393	595	842	2
avance	177	384	204	393	595	842	2
de	207	384	217	393	595	842	2
características	220	384	276	393	595	842	2
anisótropas	279	384	325	393	595	842	2
en	328	384	337	393	595	842	2
relación	340	384	372	393	595	842	2
a	375	384	379	393	595	842	2
la	382	384	389	393	595	842	2
reacción	392	384	426	393	595	842	2
sobre	429	384	450	393	595	842	2
cada	453	384	472	393	595	842	2
plano	475	384	497	393	595	842	2
crista-	500	384	525	393	595	842	2
lino.	85	396	103	405	595	842	2
En	107	396	118	405	595	842	2
particular,	121	396	162	405	595	842	2
para	165	396	183	405	595	842	2
el	186	396	193	405	595	842	2
plano	196	396	219	405	595	842	2
<	222	396	228	405	595	842	2
111	231	396	246	405	595	842	2
>	250	396	256	405	595	842	2
se	259	396	267	405	595	842	2
registran	271	396	306	405	595	842	2
velocidades	309	396	356	405	595	842	2
menores	360	396	393	405	595	842	2
en	397	396	406	405	595	842	2
comparación	410	396	461	405	595	842	2
con	465	396	479	405	595	842	2
el	483	396	490	405	595	842	2
plano	493	396	515	405	595	842	2
<	519	396	525	405	595	842	2
100	85	408	100	417	595	842	2
>	103	408	109	417	595	842	2
[15].	112	408	131	417	595	842	2
De	134	408	146	417	595	842	2
este	149	408	165	417	595	842	2
modo,	168	408	193	417	595	842	2
el	196	408	204	417	595	842	2
ataque	206	408	233	417	595	842	2
químico	236	408	268	417	595	842	2
del	272	408	284	417	595	842	2
sustrato	287	408	318	417	595	842	2
resulta	321	408	348	417	595	842	2
en	351	408	361	417	595	842	2
una	364	408	378	417	595	842	2
pirámide	381	408	417	417	595	842	2
de	420	408	429	417	595	842	2
base	433	408	450	417	595	842	2
cuadrada	453	408	489	417	595	842	2
de	493	408	502	417	595	842	2
unos	505	408	524	417	595	842	2
54,74°	85	420	112	429	595	842	2
de	114	420	123	429	595	842	2
inclinación	126	420	170	429	595	842	2
[16].	173	420	192	429	595	842	2
Sobre	115	435	138	444	595	842	2
la	141	435	148	444	595	842	2
base	151	435	169	444	595	842	2
de	172	435	181	444	595	842	2
las	185	435	195	444	595	842	2
características	198	435	255	444	595	842	2
particulares	258	435	305	444	595	842	2
del	307	435	320	444	595	842	2
método	323	435	353	444	595	842	2
electroquímico,	356	435	418	444	595	842	2
este	421	435	437	444	595	842	2
artículo	440	435	470	444	595	842	2
presentará	473	435	514	444	595	842	2
la	518	435	524	444	595	842	2
caracterización	85	447	146	456	595	842	2
de	149	447	158	456	595	842	2
la	162	447	169	456	595	842	2
fabricación	172	447	217	456	595	842	2
de	220	447	230	456	595	842	2
macroporos	233	447	281	456	595	842	2
bajo	284	447	300	456	595	842	2
diferentes	304	447	343	456	595	842	2
condiciones	347	447	394	456	595	842	2
de	398	447	407	456	595	842	2
control.	410	447	441	456	595	842	2
Se	445	447	455	456	595	842	2
indicarán	458	447	495	456	595	842	2
los	499	447	510	456	595	842	2
re-	513	447	525	456	595	842	2
sultados	85	459	118	468	595	842	2
del	121	459	133	468	595	842	2
proceso	136	459	167	468	595	842	2
teniendo	171	459	205	468	595	842	2
en	208	459	218	468	595	842	2
cuenta	221	459	247	468	595	842	2
la	250	459	257	468	595	842	2
incidencia	261	459	301	468	595	842	2
de	305	459	314	468	595	842	2
los	318	459	329	468	595	842	2
siguientes	332	459	372	468	595	842	2
parámetros	375	459	420	468	595	842	2
en	423	459	433	468	595	842	2
cuestiones	436	459	477	468	595	842	2
específicas	480	459	524	468	595	842	2
de	85	471	94	480	595	842	2
la	98	471	105	480	595	842	2
formación;	109	471	153	480	595	842	2
a)	156	471	164	480	595	842	2
potencial	167	471	204	480	595	842	2
(0,1,	207	471	226	480	595	842	2
0,5	229	471	242	480	595	842	2
y	245	471	250	480	595	842	2
1V),	254	471	272	480	595	842	2
b),	275	471	286	480	595	842	2
agente	290	471	316	480	595	842	2
de	319	471	329	480	595	842	2
frenado	332	471	362	480	595	842	2
(ácido	366	471	391	480	595	842	2
clorhídrico,	395	471	441	480	595	842	2
ácido	445	471	466	480	595	842	2
fórmico)	470	471	504	480	595	842	2
y	508	471	513	480	595	842	2
c)	516	471	524	480	595	842	2
temperatura	85	483	133	492	595	842	2
(65	136	483	149	492	595	842	2
°C	152	483	162	492	595	842	2
y	166	483	171	492	595	842	2
84	173	483	183	492	595	842	2
°C).	186	483	202	492	595	842	2
A	205	483	213	492	595	842	2
partir	215	483	237	492	595	842	2
del	240	483	252	492	595	842	2
estudio	255	483	284	492	595	842	2
de	287	483	296	492	595	842	2
cada	299	483	317	492	595	842	2
uno	320	483	335	492	595	842	2
de	338	483	348	492	595	842	2
los	351	483	362	492	595	842	2
parámetros	365	483	410	492	595	842	2
mencionados	413	483	465	492	595	842	2
es	468	483	476	492	595	842	2
posible	479	483	508	492	595	842	2
ob-	511	483	525	492	595	842	2
tener	85	495	105	504	595	842	2
las	108	495	119	504	595	842	2
condiciones	121	495	169	504	595	842	2
óptimas	172	495	203	504	595	842	2
del	206	495	218	504	595	842	2
proceso	221	495	252	504	595	842	2
y	255	495	260	504	595	842	2
al	262	495	270	504	595	842	2
mismo	272	495	299	504	595	842	2
tiempo	302	495	330	504	595	842	2
extraprolar	333	495	376	504	595	842	2
el	379	495	386	504	595	842	2
procedimiento	389	495	446	504	595	842	2
para	449	495	467	504	595	842	2
la	469	495	476	504	595	842	2
fabricación	479	495	524	504	595	842	2
de	85	507	94	516	595	842	2
nanoporos.	98	507	142	516	595	842	2
Cabe	145	507	165	516	595	842	2
resaltar	169	507	198	516	595	842	2
que	201	507	216	516	595	842	2
hasta	219	507	240	516	595	842	2
el	243	507	250	516	595	842	2
momento	253	507	291	516	595	842	2
no	294	507	304	516	595	842	2
se	307	507	316	516	595	842	2
ha	319	507	328	516	595	842	2
reportado	331	507	370	516	595	842	2
la	373	507	380	516	595	842	2
caracterización	383	507	444	516	595	842	2
del	447	507	459	516	595	842	2
proceso	462	507	493	516	595	842	2
de	497	507	506	516	595	842	2
for-	509	507	525	516	595	842	2
mación	85	519	114	528	595	842	2
de	117	519	126	528	595	842	2
poros	129	519	151	528	595	842	2
bajo	154	519	171	528	595	842	2
las	173	519	184	528	595	842	2
condiciones	187	519	234	528	595	842	2
establecidas	237	519	285	528	595	842	2
en	288	519	297	528	595	842	2
este	300	519	315	528	595	842	2
trabajo.	318	519	348	528	595	842	2
2.	85	535	93	543	595	842	2
MATERIALES	95	535	153	543	595	842	2
Y	156	535	162	543	595	842	2
MÉTODOS	165	535	210	543	595	842	2
Para	85	549	103	558	595	842	2
la	106	549	113	558	595	842	2
fabricación	116	549	161	558	595	842	2
de	164	549	174	558	595	842	2
los	177	549	189	558	595	842	2
poros	192	549	214	558	595	842	2
se	217	549	225	558	595	842	2
utilizaron	228	549	267	558	595	842	2
obleas	270	547	295	558	595	842	2
de	298	547	308	558	595	842	2
silicio	311	547	335	558	595	842	2
cristalino	338	547	375	558	595	842	2
de	379	547	388	558	595	842	2
520	391	547	406	558	595	842	2
μm	410	547	423	558	595	842	2
de	426	547	435	558	595	842	2
espesor	438	547	468	558	595	842	2
(Virginia	471	547	508	558	595	842	2
Se-	511	547	525	558	595	842	2
miconductor	85	561	136	570	595	842	2
In.)	139	561	153	570	595	842	2
orientadas	155	561	196	570	595	842	2
según	199	561	223	570	595	842	2
el	225	561	233	570	595	842	2
plano	235	561	258	570	595	842	2
<	261	561	266	570	595	842	2
100	269	561	284	570	595	842	2
>	287	561	293	570	595	842	2
de	296	561	305	570	595	842	2
la	308	561	315	570	595	842	2
estructura	318	561	358	570	595	842	2
cristalográfica.	361	561	420	570	595	842	2
Las	423	561	437	570	595	842	2
obleas	440	561	466	570	595	842	2
de	469	561	478	570	595	842	2
silicio	481	561	505	570	595	842	2
fue-	508	561	524	570	595	842	2
ron	85	573	99	582	595	842	2
recubiertas	102	573	145	582	595	842	2
por	148	573	162	582	595	842	2
una	165	573	179	582	595	842	2
capa	182	573	201	582	595	842	2
de	204	573	213	582	595	842	2
200	216	573	231	582	595	842	2
nm	234	573	247	582	595	842	2
de	250	573	260	582	595	842	2
Si	263	573	271	582	595	842	2
3	271	577	274	583	595	842	2
N	274	573	281	582	595	842	2
4	282	577	285	583	595	842	2
mediante	288	573	325	582	595	842	2
el	328	573	335	582	595	842	2
método	338	573	368	582	595	842	2
de	371	573	381	582	595	842	2
Plasma	384	573	412	582	595	842	2
Enhanced	415	573	455	582	595	842	2
Chemical	458	573	496	582	595	842	2
Vapor	499	573	524	582	595	842	2
Deposition	85	585	129	594	595	842	2
(PECVD)	132	585	171	594	595	842	2
a	175	585	179	594	595	842	2
600	183	585	198	594	595	842	2
°C.	201	585	214	594	595	842	2
Como	217	585	241	594	595	842	2
primera	245	585	276	594	595	842	2
etapa	279	585	300	594	595	842	2
del	303	585	316	594	595	842	2
proceso,	319	585	352	594	595	842	2
se	356	585	364	594	595	842	2
llevó	367	585	387	594	595	842	2
a	390	585	395	594	595	842	2
cabo	398	585	416	594	595	842	2
la	420	585	427	594	595	842	2
remoción	430	585	468	594	595	842	2
localizada	471	585	511	594	595	842	2
de	515	585	524	594	595	842	2
nitruro	85	597	112	606	595	842	2
de	116	597	125	606	595	842	2
silicio	129	597	153	606	595	842	2
(Si	157	597	169	606	595	842	2
3	169	601	172	607	595	842	2
N	172	597	179	606	595	842	2
4	179	601	183	607	595	842	2
)	183	597	186	606	595	842	2
por	190	597	203	606	595	842	2
medio	207	597	231	606	595	842	2
de	235	597	244	606	595	842	2
ablación	248	597	282	606	595	842	2
láser	286	597	304	606	595	842	2
de	308	597	318	606	595	842	2
ventanas	321	597	356	606	595	842	2
cuadradas	360	597	400	606	595	842	2
convenientemente	403	597	476	606	595	842	2
localizadas	480	597	524	606	595	842	2
sobre	85	609	107	618	595	842	2
la	110	609	117	618	595	842	2
superficie	120	609	159	618	595	842	2
de	162	609	171	618	595	842	2
la	175	609	182	618	595	842	2
oblea.	185	609	209	618	595	842	2
El	212	609	221	618	595	842	2
recubrimiento	224	609	280	618	595	842	2
de	283	609	292	618	595	842	2
Si	295	609	304	618	595	842	2
3	303	613	307	619	595	842	2
N	307	609	314	618	595	842	2
4	314	613	317	619	595	842	2
,	317	609	320	618	595	842	2
resistente	323	609	360	618	595	842	2
al	363	609	371	618	595	842	2
wet	373	609	388	618	595	842	2
etching,	391	609	422	618	595	842	2
posibilita	426	609	463	618	595	842	2
la	466	609	473	618	595	842	2
localización	476	609	524	618	595	842	2
precisa	85	621	113	630	595	842	2
de	116	621	125	630	595	842	2
la	128	621	135	630	595	842	2
zona	137	621	156	630	595	842	2
de	159	621	168	630	595	842	2
ataque,	171	621	199	630	595	842	2
y	202	621	207	630	595	842	2
en	209	621	219	630	595	842	2
consecuencia	221	621	274	630	595	842	2
el	277	621	284	630	595	842	2
control	287	621	315	630	595	842	2
de	318	621	327	630	595	842	2
la	330	621	337	630	595	842	2
posición	339	621	373	630	595	842	2
del	376	621	388	630	595	842	2
poro	390	621	409	630	595	842	2
resultante	411	621	450	630	595	842	2
(Figura	452	621	482	630	595	842	2
1)	484	621	493	630	595	842	2
[16].	496	621	515	630	595	842	2
En	113	636	124	645	595	842	2
una	126	636	141	645	595	842	2
segunda	143	636	176	645	595	842	2
etapa	179	636	200	645	595	842	2
se	203	636	211	645	595	842	2
lleva	214	636	233	645	595	842	2
a	236	636	240	645	595	842	2
cabo	243	636	262	645	595	842	2
un	265	636	275	645	595	842	2
proceso	277	636	308	645	595	842	2
de	311	636	320	645	595	842	2
fast	323	636	337	645	595	842	2
wet	340	636	355	645	595	842	2
etching	357	636	386	645	595	842	2
con	389	636	404	645	595	842	2
una	407	636	421	645	595	842	2
solución	424	636	457	645	595	842	2
KOH	460	636	482	645	595	842	2
(aq)	485	636	501	645	595	842	2
7M	504	636	517	645	595	842	2
a	520	636	525	645	595	842	2
80°C	85	648	105	657	595	842	2
sobre	109	648	130	657	595	842	2
ambos	134	648	160	657	595	842	2
lados	163	648	184	657	595	842	2
de	188	648	197	657	595	842	2
la	201	648	207	657	595	842	2
oblea,	211	648	235	657	595	842	2
que	238	648	253	657	595	842	2
finaliza	256	648	286	657	595	842	2
cuando	290	648	318	657	595	842	2
la	322	648	329	657	595	842	2
separación	332	648	375	657	595	842	2
mínima	378	648	409	657	595	842	2
entre	412	648	432	657	595	842	2
los	436	648	447	657	595	842	2
hemisferios	450	648	497	657	595	842	2
se	500	648	509	657	595	842	2
en-	512	648	525	657	595	842	2
cuentra	85	660	114	669	595	842	2
en	117	660	126	669	595	842	2
el	129	660	136	669	595	842	2
orden	138	660	161	669	595	842	2
de	164	660	173	669	595	842	2
100	176	660	191	669	595	842	2
y	193	660	198	669	595	842	2
200	201	660	216	669	595	842	2
µm	218	660	232	669	595	842	2
(figura	234	660	262	669	595	842	2
1.4).	264	660	283	669	595	842	2
DER,	280	40	298	47	595	842	3
M.;	300	40	312	47	595	842	3
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	3
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	3
et	400	40	406	47	595	842	3
al.	408	40	416	47	595	842	3
revista	418	40	439	47	595	842	3
Matéria,	441	40	469	47	595	842	3
v.	471	40	476	47	595	842	3
23,	478	40	488	47	595	842	3
n.	490	40	496	47	595	842	3
2,	498	40	504	47	595	842	3
2018.	506	40	524	47	595	842	3
Figura	85	216	111	224	595	842	3
1:	114	216	122	224	595	842	3
Ilustración	125	216	163	224	595	842	3
esquemática	166	216	210	224	595	842	3
de	214	216	222	224	595	842	3
las	225	216	235	224	595	842	3
etapas	238	216	261	224	595	842	3
iniciales	264	216	293	224	595	842	3
del	296	216	307	224	595	842	3
proceso	310	216	338	224	595	842	3
de	341	216	350	224	595	842	3
formación	353	216	390	224	595	842	3
de	393	216	401	224	595	842	3
poros.	404	216	426	224	595	842	3
1.1)	430	216	444	224	595	842	3
Oblea	447	216	468	224	595	842	3
de	471	216	480	224	595	842	3
silicio,	483	216	507	224	595	842	3
1.2)	510	216	524	224	595	842	3
Oblea	85	228	106	236	595	842	3
de	109	228	117	236	595	842	3
silicio	119	228	141	236	595	842	3
con	144	228	157	236	595	842	3
deposición	159	228	198	236	595	842	3
de	200	228	209	236	595	842	3
nitruro	211	228	235	236	595	842	3
de	238	228	246	236	595	842	3
silicio,	248	228	272	236	595	842	3
1.3)	275	228	289	236	595	842	3
Remoción	292	228	329	236	595	842	3
localizada	331	228	367	236	595	842	3
de	370	228	378	236	595	842	3
nitruro	380	228	405	236	595	842	3
de	407	228	416	236	595	842	3
silicio	418	228	440	236	595	842	3
y	442	228	447	236	595	842	3
1.4)	449	228	463	236	595	842	3
Wet	465	228	480	236	595	842	3
etching	483	228	509	236	595	842	3
con	511	228	524	236	595	842	3
KOH	85	240	104	248	595	842	3
7M.	107	240	121	248	595	842	3
Posteriormente,	113	266	175	275	595	842	3
se	179	266	188	275	595	842	3
realiza	191	266	218	275	595	842	3
un	222	266	232	275	595	842	3
segundo	235	266	269	275	595	842	3
ataque	273	266	299	275	595	842	3
químico	302	266	335	275	595	842	3
en	339	266	348	275	595	842	3
presencia	352	266	390	275	595	842	3
de	393	266	403	275	595	842	3
potencial	406	266	443	275	595	842	3
y	447	266	452	275	595	842	3
temperatura,	456	266	506	275	595	842	3
que	510	266	525	275	595	842	3
culmina	85	278	117	287	595	842	3
con	120	278	134	287	595	842	3
la	137	278	144	287	595	842	3
apertura	147	278	180	287	595	842	3
del	183	278	195	287	595	842	3
poro	197	278	216	287	595	842	3
y	219	278	224	287	595	842	3
el	226	278	233	287	595	842	3
mecanismo	236	278	281	287	595	842	3
de	284	278	294	287	595	842	3
frenado	296	278	327	287	595	842	3
autocontrolado	330	278	389	287	595	842	3
por	392	278	406	287	595	842	3
la	408	278	415	287	595	842	3
neutralización	418	278	475	287	595	842	3
de	477	278	487	287	595	842	3
los	490	278	501	287	595	842	3
reac-	504	278	525	287	595	842	3
tivos.	85	290	107	299	595	842	3
Para	110	290	128	299	595	842	3
ello,	130	290	147	299	595	842	3
como	150	290	173	299	595	842	3
se	176	290	184	299	595	842	3
puede	187	290	210	299	595	842	3
ver	213	290	226	299	595	842	3
en	229	290	238	299	595	842	3
la	241	290	248	299	595	842	3
Figura	251	290	277	299	595	842	3
2	280	290	285	299	595	842	3
se	288	290	296	299	595	842	3
utiliza	299	290	324	299	595	842	3
una	326	290	341	299	595	842	3
celda	343	290	365	299	595	842	3
en	367	290	377	299	595	842	3
la	380	290	387	299	595	842	3
que	390	290	404	299	595	842	3
se	407	290	415	299	595	842	3
ubica	418	290	440	299	595	842	3
en	442	290	452	299	595	842	3
un	455	290	465	299	595	842	3
lado	468	290	485	299	595	842	3
una	487	290	502	299	595	842	3
solu-	504	290	524	299	595	842	3
ción	85	302	102	311	595	842	3
de	105	302	114	311	595	842	3
KOH	117	302	138	311	595	842	3
4	141	302	146	311	595	842	3
M	149	302	158	311	595	842	3
y	161	302	166	311	595	842	3
en	168	302	178	311	595	842	3
el	180	302	188	311	595	842	3
otro	190	302	206	311	595	842	3
lado	209	302	226	311	595	842	3
el	229	302	236	311	595	842	3
agente	239	302	265	311	595	842	3
de	268	302	277	311	595	842	3
frenado	280	302	310	311	595	842	3
(HCl	313	302	333	311	595	842	3
12	336	302	346	311	595	842	3
M	348	302	357	311	595	842	3
ó	360	302	365	311	595	842	3
HCOOH	368	302	403	311	595	842	3
30	406	302	416	311	595	842	3
M	419	302	427	311	595	842	3
según	430	302	453	311	595	842	3
corresponda).	456	302	511	311	595	842	3
En	514	302	525	311	595	842	3
cada	85	314	103	323	595	842	3
compartimiento	107	314	170	323	595	842	3
se	174	314	182	323	595	842	3
introduce	186	314	224	323	595	842	3
un	227	314	237	323	595	842	3
electrodo	241	314	278	323	595	842	3
de	282	314	291	323	595	842	3
platino	295	314	322	323	595	842	3
el	326	314	334	323	595	842	3
cual	337	314	354	323	595	842	3
se	357	314	365	323	595	842	3
conecta	369	314	400	323	595	842	3
a	404	314	408	323	595	842	3
con	412	314	427	323	595	842	3
un	430	314	440	323	595	842	3
dispositivo	444	314	487	323	595	842	3
Keithley	491	314	524	323	595	842	3
2612b	85	326	110	335	595	842	3
Single	114	326	139	335	595	842	3
and	143	326	158	335	595	842	3
dual	161	326	179	335	595	842	3
channel	183	326	214	335	595	842	3
scalable	218	326	251	335	595	842	3
sourcing	255	326	289	335	595	842	3
and	293	326	308	335	595	842	3
measurement	312	326	365	335	595	842	3
(Keithley	368	326	406	335	595	842	3
Instruments),	410	326	463	335	595	842	3
que	467	326	481	335	595	842	3
entrega	485	326	514	335	595	842	3
el	518	326	525	335	595	842	3
voltaje	85	338	112	347	595	842	3
indicado	115	338	149	347	595	842	3
y	155	338	160	347	595	842	3
es	162	338	171	347	595	842	3
capaz	174	338	196	347	595	842	3
de	199	338	208	347	595	842	3
discriminar	211	338	257	347	595	842	3
corrientes	259	338	299	347	595	842	3
del	302	338	314	347	595	842	3
orden	316	338	339	347	595	842	3
de	342	338	351	347	595	842	3
los	354	338	366	347	595	842	3
0,1	368	338	381	347	595	842	3
pA	384	338	396	347	595	842	3
y	399	338	404	347	595	842	3
tensiones	406	338	443	347	595	842	3
de	446	338	456	347	595	842	3
hasta	459	338	479	347	595	842	3
0,1	482	338	494	347	595	842	3
µV.	497	338	512	347	595	842	3
El	515	338	524	347	595	842	3
mismo	85	350	112	359	595	842	3
se	116	350	124	359	595	842	3
controla	128	350	160	359	595	842	3
por	164	350	177	359	595	842	3
medio	181	350	206	359	595	842	3
de	210	350	219	359	595	842	3
conexión	223	350	259	359	595	842	3
USB	263	350	282	359	595	842	3
con	286	350	300	359	595	842	3
el	304	350	311	359	595	842	3
software	315	350	349	359	595	842	3
Test	353	350	370	359	595	842	3
Script	373	350	397	359	595	842	3
Builder	401	350	431	359	595	842	3
(TSB),	435	350	462	359	595	842	3
y	466	350	471	359	595	842	3
se	474	350	482	359	595	842	3
configura	486	350	524	359	595	842	3
para	85	362	102	371	595	842	3
tomar	105	362	128	371	595	842	3
mediciones	132	362	177	371	595	842	3
de	180	362	189	371	595	842	3
corriente	192	362	228	371	595	842	3
en	231	362	240	371	595	842	3
el	243	362	251	371	595	842	3
tiempo	253	362	281	371	595	842	3
con	284	362	299	371	595	842	3
una	302	362	316	371	595	842	3
frecuencia	319	362	360	371	595	842	3
de	363	362	373	371	595	842	3
0,1Hz.	376	362	402	371	595	842	3
En	406	362	417	371	595	842	3
esta	420	362	435	371	595	842	3
etapa	438	362	460	371	595	842	3
el	463	362	470	371	595	842	3
encuentro	473	362	512	371	595	842	3
de	515	362	525	371	595	842	3
ambas	85	374	110	383	595	842	3
pirámides	114	374	153	383	595	842	3
invertidas	156	374	195	383	595	842	3
da	199	374	208	383	595	842	3
lugar	211	374	231	383	595	842	3
a	235	374	239	383	595	842	3
la	242	374	249	383	595	842	3
formación	253	374	294	383	595	842	3
del	297	374	309	383	595	842	3
poro	312	374	330	383	595	842	3
y	334	374	339	383	595	842	3
al	341	374	349	383	595	842	3
frenado	352	374	382	383	595	842	3
químico,	385	374	421	383	595	842	3
que	424	374	438	383	595	842	3
disminuye	441	374	483	383	595	842	3
la	486	374	493	383	595	842	3
veloci-	496	374	524	383	595	842	3
dad	85	386	99	395	595	842	3
del	102	386	114	395	595	842	3
wet	117	386	131	395	595	842	3
etching.	134	386	166	395	595	842	3
Cabe	168	386	189	395	595	842	3
resaltar	191	386	221	395	595	842	3
que	223	386	238	395	595	842	3
previamente	240	386	290	395	595	842	3
nuestro	292	386	322	395	595	842	3
grupo	325	386	348	395	595	842	3
había	351	386	372	395	595	842	3
reportado	375	386	413	395	595	842	3
el	416	386	423	395	595	842	3
proceso	425	386	457	395	595	842	3
de	459	386	469	395	595	842	3
formación	471	386	512	395	595	842	3
de	515	386	524	395	595	842	3
nanoporos	85	398	127	407	595	842	3
bajo	130	398	147	407	595	842	3
condiciones	150	398	198	407	595	842	3
de	201	398	210	407	595	842	3
KOH	213	398	235	407	595	842	3
4M,	238	398	254	407	595	842	3
sin	257	398	269	407	595	842	3
aplicar	272	398	299	407	595	842	3
voltaje	302	398	329	407	595	842	3
al	332	398	340	407	595	842	3
procedimiento	342	398	401	407	595	842	3
[7].	404	398	418	407	595	842	3
Finalmente,	421	398	468	407	595	842	3
para	471	398	489	407	595	842	3
concluir	492	398	524	407	595	842	3
con	85	410	100	419	595	842	3
el	102	410	110	419	595	842	3
proceso,	112	410	146	419	595	842	3
la	149	410	155	419	595	842	3
oblea	158	410	180	419	595	842	3
es	182	410	191	419	595	842	3
sometida	193	410	229	419	595	842	3
a	232	410	237	419	595	842	3
un	239	410	249	419	595	842	3
lavado	252	410	279	419	595	842	3
con	282	410	296	419	595	842	3
solución	299	410	332	419	595	842	3
piraña	335	410	360	419	595	842	3
(mezcla	363	410	394	419	595	842	3
de	397	410	407	419	595	842	3
H	410	410	417	419	595	842	3
2	417	414	420	420	595	842	3
SO	420	410	433	419	595	842	3
4	433	414	436	420	595	842	3
y	439	410	444	419	595	842	3
H	446	410	454	419	595	842	3
2	454	414	457	420	595	842	3
O	457	410	464	419	595	842	3
2	464	414	467	420	595	842	3
en	469	410	479	419	595	842	3
proporción	481	410	525	419	595	842	3
3:1)	85	422	101	431	595	842	3
para	105	422	122	431	595	842	3
remover	126	422	159	431	595	842	3
las	163	422	173	431	595	842	3
sales	177	422	197	431	595	842	3
remanentes	200	422	246	431	595	842	3
que	249	422	264	431	595	842	3
quedan	268	422	296	431	595	842	3
adheridas	300	422	338	431	595	842	3
a	342	422	346	431	595	842	3
la	350	422	357	431	595	842	3
superficie.	361	422	402	431	595	842	3
Las	407	422	421	431	595	842	3
obleas	425	422	450	431	595	842	3
se	454	422	462	431	595	842	3
codificaron	466	422	512	431	595	842	3
de	515	422	525	431	595	842	3
acuerdo	85	434	117	443	595	842	3
al	120	434	128	443	595	842	3
agente	131	434	157	443	595	842	3
de	161	434	170	443	595	842	3
frenado	174	434	204	443	595	842	3
utilizado,	208	434	245	443	595	842	3
la	249	434	256	443	595	842	3
temperatura	259	434	307	443	595	842	3
y	311	434	316	443	595	842	3
las	319	434	330	443	595	842	3
condiciones	334	434	381	443	595	842	3
de	385	434	394	443	595	842	3
voltaje	398	434	425	443	595	842	3
aplicadas	428	434	466	443	595	842	3
en	469	434	479	443	595	842	3
el	482	434	489	443	595	842	3
proceso	493	434	524	443	595	842	3
respectivamente.	85	446	153	455	595	842	3
La	155	446	166	455	595	842	3
nomenclatura	168	446	222	455	595	842	3
corresponde	225	446	274	455	595	842	3
con	276	446	291	455	595	842	3
la	293	446	300	455	595	842	3
codificación	303	446	352	455	595	842	3
presentada	355	446	397	455	595	842	3
en	400	446	409	455	595	842	3
la	412	446	419	455	595	842	3
tabla	422	446	441	455	595	842	3
1.	443	446	451	455	595	842	3
Tabla	85	474	108	482	595	842	3
1:	110	474	117	482	595	842	3
Codificación	120	474	166	482	595	842	3
de	168	474	177	482	595	842	3
las	179	474	189	482	595	842	3
obleas	191	474	214	482	595	842	3
y	217	474	221	482	595	842	3
condiciones	223	474	266	482	595	842	3
de	268	474	277	482	595	842	3
fabricación	279	474	319	482	595	842	3
de	322	474	330	482	595	842	3
poros	332	474	352	482	595	842	3
CODIFICACIÓN	116	497	174	505	595	842	3
TEMPERATURA	195	497	257	505	595	842	3
(°C)	259	497	273	505	595	842	3
AGENTE	281	497	314	505	595	842	3
DE	316	497	328	505	595	842	3
FRENADO	330	497	369	505	595	842	3
VOLTAJE	386	497	422	505	595	842	3
APLICADO	427	497	469	505	595	842	3
(V)	471	497	481	505	595	842	3
C-84-1	116	512	142	520	595	842	3
84±1	195	512	214	520	595	842	3
HCl	281	512	296	520	595	842	3
1	386	512	390	520	595	842	3
C-84-0.5	116	526	148	534	595	842	3
84±1	195	526	214	534	595	842	3
HCl	281	526	296	534	595	842	3
0,5	386	526	397	534	595	842	3
C-84-0.1	116	541	148	549	595	842	3
84±1	195	541	214	549	595	842	3
HCl	281	541	296	549	595	842	3
0,1	386	541	397	549	595	842	3
F-84-1	116	556	141	564	595	842	3
84±1	195	556	214	564	595	842	3
HCOOH	281	556	313	564	595	842	3
1	386	556	390	564	595	842	3
F-84-0.5	116	570	147	578	595	842	3
84±1	195	570	214	578	595	842	3
HCOOH	281	570	313	578	595	842	3
0,5	386	570	397	578	595	842	3
F-84-0.1	116	585	147	593	595	842	3
84±1	195	585	214	593	595	842	3
HCOOH	281	585	313	593	595	842	3
0,1	386	585	397	593	595	842	3
C-65-1	116	600	142	608	595	842	3
65±1	195	600	214	608	595	842	3
HCl	281	600	296	608	595	842	3
1	386	600	390	608	595	842	3
C-65-0.5	116	615	148	623	595	842	3
65±1	195	615	214	623	595	842	3
HCl	281	615	296	623	595	842	3
0,5	386	615	397	623	595	842	3
C-65-0.1	116	629	148	637	595	842	3
65±1	195	629	214	637	595	842	3
HCl	281	629	296	637	595	842	3
0,1	386	629	397	637	595	842	3
F-65-1	116	644	141	652	595	842	3
65±1	195	644	214	652	595	842	3
HCOOH	281	644	313	652	595	842	3
1	386	644	390	652	595	842	3
F-65-0.5	116	659	147	667	595	842	3
65±1	195	659	214	667	595	842	3
HCOOH	281	659	313	667	595	842	3
0,5	386	659	397	667	595	842	3
F-65-0.1	116	673	147	682	595	842	3
65±1	195	673	214	682	595	842	3
HCOOH	281	673	313	682	595	842	3
0,1	386	673	397	682	595	842	3
DER,	280	40	298	47	595	842	4
M.;	300	40	312	47	595	842	4
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	4
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	4
et	400	40	406	47	595	842	4
al.	408	40	416	47	595	842	4
revista	418	40	439	47	595	842	4
Matéria,	441	40	469	47	595	842	4
v.	471	40	476	47	595	842	4
23,	478	40	488	47	595	842	4
n.	490	40	496	47	595	842	4
2,	498	40	504	47	595	842	4
2018.	506	40	524	47	595	842	4
Figura	85	405	111	413	595	842	4
2:	113	405	121	413	595	842	4
Ilustración	123	405	162	413	595	842	4
esquemática:	164	405	211	413	595	842	4
segunda	213	405	243	413	595	842	4
etapa	245	405	264	413	595	842	4
de	266	405	275	413	595	842	4
etching	277	405	304	413	595	842	4
químico.	306	405	337	413	595	842	4
a)	340	405	347	413	595	842	4
Celda	349	405	370	413	595	842	4
con	373	405	386	413	595	842	4
dos	388	405	400	413	595	842	4
compartimientos	403	405	463	413	595	842	4
para	465	405	481	413	595	842	4
solución	483	405	513	413	595	842	4
de	516	405	524	413	595	842	4
etching	85	417	111	425	595	842	4
KOH	114	417	134	425	595	842	4
4M	136	417	149	425	595	842	4
y	152	417	156	425	595	842	4
solución	159	417	189	425	595	842	4
de	192	417	200	425	595	842	4
frenado	203	417	231	425	595	842	4
(HCL	233	417	254	425	595	842	4
12	257	417	266	425	595	842	4
M	269	417	277	425	595	842	4
ó	280	417	284	425	595	842	4
HCOOH	287	417	319	425	595	842	4
30M),	322	417	344	425	595	842	4
b)	347	417	354	425	595	842	4
Conexión	357	417	392	425	595	842	4
de	395	417	403	425	595	842	4
electrodos	406	417	443	425	595	842	4
de	445	417	454	425	595	842	4
platino	457	417	482	425	595	842	4
conectados	484	417	524	425	595	842	4
con	85	429	98	437	595	842	4
un	100	429	109	437	595	842	4
dispositivo	111	429	151	437	595	842	4
Keithley	153	429	184	437	595	842	4
2612b.	186	429	212	437	595	842	4
3.	85	456	93	464	595	842	4
RESULTADOS	95	456	157	464	595	842	4
Se	85	470	95	479	595	842	4
estudió	98	470	127	479	595	842	4
la	130	470	137	479	595	842	4
influencia	140	470	180	479	595	842	4
de	183	470	193	479	595	842	4
factores	196	470	227	479	595	842	4
como	230	470	252	479	595	842	4
la	256	470	262	479	595	842	4
temperatura,	266	470	316	479	595	842	4
el	319	470	326	479	595	842	4
voltaje	330	470	357	479	595	842	4
y	360	470	365	479	595	842	4
el	368	470	375	479	595	842	4
agente	378	470	404	479	595	842	4
de	407	470	417	479	595	842	4
frenado	420	470	450	479	595	842	4
durante	453	470	483	479	595	842	4
el	486	470	493	479	595	842	4
wet	496	470	510	479	595	842	4
et-	514	470	525	479	595	842	4
ching,	85	482	110	491	595	842	4
a	112	482	117	491	595	842	4
fin	120	482	131	491	595	842	4
de	133	482	143	491	595	842	4
caracterizar	146	482	192	491	595	842	4
el	195	482	202	491	595	842	4
proceso	205	482	236	491	595	842	4
de	239	482	248	491	595	842	4
formación	251	482	292	491	595	842	4
de	295	482	304	491	595	842	4
poros.	307	482	332	491	595	842	4
Al	335	482	345	491	595	842	4
respecto,	347	482	383	491	595	842	4
SEIDEL	386	482	421	491	595	842	4
et	423	482	430	491	595	842	4
al.	433	482	443	491	595	842	4
[17],	446	482	465	491	595	842	4
y	468	482	472	491	595	842	4
CHEN	478	482	505	491	595	842	4
et	508	482	515	491	595	842	4
al	518	482	525	491	595	842	4
[8],	85	494	99	504	595	842	4
reportaron	105	494	147	504	595	842	4
que	149	494	164	504	595	842	4
el	166	494	174	504	595	842	4
aumento	176	494	211	504	595	842	4
de	214	494	223	504	595	842	4
la	226	494	233	504	595	842	4
temperatura	236	494	284	504	595	842	4
incrementa	286	494	331	504	595	842	4
la	334	494	340	504	595	842	4
velocidad	343	494	382	504	595	842	4
del	385	494	397	504	595	842	4
ataque	400	494	426	504	595	842	4
químico.	429	494	464	504	595	842	4
Por	467	494	481	504	595	842	4
otra	484	494	499	504	595	842	4
parte,	502	494	524	504	595	842	4
Harrel	85	506	111	516	595	842	4
et	114	506	121	516	595	842	4
al.	124	506	134	516	595	842	4
[18],	137	506	156	516	595	842	4
mostraron	159	506	200	516	595	842	4
que	203	506	217	516	595	842	4
el	220	506	228	516	595	842	4
incremento	231	506	276	516	595	842	4
del	279	506	291	516	595	842	4
voltaje	294	506	321	516	595	842	4
aplicado	324	506	358	516	595	842	4
al	361	506	369	516	595	842	4
proceso	372	506	403	516	595	842	4
electroquimico	406	506	466	516	595	842	4
genera	469	506	496	516	595	842	4
un	499	506	509	516	595	842	4
au-	512	506	524	516	595	842	4
mento	85	518	110	528	595	842	4
del	113	518	126	528	595	842	4
tamaño	128	518	158	528	595	842	4
de	161	518	171	528	595	842	4
poro.	174	518	195	528	595	842	4
Recientemente,	198	518	260	528	595	842	4
APEL	263	518	288	528	595	842	4
et	291	518	298	528	595	842	4
al.	302	518	311	528	595	842	4
[12],	314	518	334	528	595	842	4
reportaron	337	518	378	528	595	842	4
que	381	518	396	528	595	842	4
las	399	518	410	528	595	842	4
características	413	518	470	528	595	842	4
químicas	473	518	509	528	595	842	4
del	512	518	525	528	595	842	4
agente	85	530	111	540	595	842	4
de	114	530	124	540	595	842	4
frenado	127	530	157	540	595	842	4
afecta	161	530	185	540	595	842	4
la	188	530	195	540	595	842	4
geometría	198	530	238	540	595	842	4
del	241	530	254	540	595	842	4
poro.	257	530	278	540	595	842	4
En	281	530	292	540	595	842	4
cuanto	295	530	322	540	595	842	4
a	326	530	330	540	595	842	4
los	333	530	345	540	595	842	4
perfiles	348	530	378	540	595	842	4
de	381	530	390	540	595	842	4
corriente	394	530	429	540	595	842	4
y	433	530	438	540	595	842	4
tiempo,	441	530	471	540	595	842	4
PARK	474	530	501	540	595	842	4
et	504	530	512	540	595	842	4
al.	515	530	524	540	595	842	4
[19],	85	542	104	552	595	842	4
reportaron	110	542	152	552	595	842	4
que	154	542	169	552	595	842	4
antes	171	542	192	552	595	842	4
de	195	542	204	552	595	842	4
la	207	542	214	552	595	842	4
formación	217	542	258	552	595	842	4
del	261	542	273	552	595	842	4
poro,	276	542	297	552	595	842	4
se	299	542	308	552	595	842	4
genera	310	542	337	552	595	842	4
fluido	340	542	364	552	595	842	4
de	367	542	376	552	595	842	4
corriente	379	542	414	552	595	842	4
(“background”)	417	540	480	551	595	842	4
que	483	542	497	552	595	842	4
es	500	542	508	552	595	842	4
po-	511	542	525	552	595	842	4
sible	85	554	104	564	595	842	4
minimizar	107	554	148	564	595	842	4
aplicando	154	554	193	564	595	842	4
un	196	554	206	564	595	842	4
voltaje	209	554	236	564	595	842	4
de	239	554	248	564	595	842	4
800	251	554	266	564	595	842	4
mV.	269	554	287	564	595	842	4
En	293	554	304	564	595	842	4
base	307	554	324	564	595	842	4
a	327	554	332	564	595	842	4
lo	335	554	342	564	595	842	4
anterior,	345	554	379	564	595	842	4
se	382	554	391	564	595	842	4
han	394	554	408	564	595	842	4
variado	411	554	440	564	595	842	4
las	444	554	455	564	595	842	4
temperaturas	457	554	509	564	595	842	4
del	512	554	525	564	595	842	4
proceso	85	566	116	576	595	842	4
(65°C	120	566	144	576	595	842	4
y	148	566	153	576	595	842	4
84°C),	156	566	182	576	595	842	4
y	186	566	191	576	595	842	4
se	195	566	203	576	595	842	4
han	207	566	221	576	595	842	4
establecido	225	566	270	576	595	842	4
voltajes	274	566	305	576	595	842	4
de	308	566	318	576	595	842	4
0,1V,	321	566	344	576	595	842	4
0,5V	348	566	368	576	595	842	4
y	371	566	376	576	595	842	4
1V	379	566	392	576	595	842	4
respectivamente.	395	566	463	576	595	842	4
En	467	566	478	576	595	842	4
relación	481	566	513	576	595	842	4
al	517	566	525	576	595	842	4
agente	85	578	111	588	595	842	4
de	114	578	123	588	595	842	4
frenado,	126	578	158	588	595	842	4
se	161	578	169	588	595	842	4
han	172	578	186	588	595	842	4
realizado	189	578	225	588	595	842	4
experimentos	228	578	282	588	595	842	4
con	284	578	299	588	595	842	4
HCl	301	578	318	588	595	842	4
12	320	578	330	588	595	842	4
M	333	578	342	588	595	842	4
y	344	578	349	588	595	842	4
HCOOH	352	578	387	588	595	842	4
30	390	578	400	588	595	842	4
M.	402	578	413	588	595	842	4
3.1	85	606	98	614	595	842	4
Caracterización	100	606	167	614	595	842	4
del	169	606	182	614	595	842	4
proceso	185	606	220	614	595	842	4
de	222	606	233	614	595	842	4
fabricación	235	606	283	614	595	842	4
de	286	606	297	614	595	842	4
poros:	299	606	327	614	595	842	4
HCl,	329	606	347	614	595	842	4
KOH	350	606	370	614	595	842	4
4M,	372	606	387	614	595	842	4
84	390	606	400	614	595	842	4
°C	403	606	413	614	595	842	4
La	85	621	95	630	595	842	4
figura	100	621	124	630	595	842	4
3	129	621	134	630	595	842	4
muestra	139	621	170	630	595	842	4
los	175	621	187	630	595	842	4
resultados	191	621	232	630	595	842	4
de	237	621	246	630	595	842	4
la	251	621	258	630	595	842	4
evolución	263	621	302	630	595	842	4
de	307	621	316	630	595	842	4
las	321	621	332	630	595	842	4
corrientes	337	621	376	630	595	842	4
registradas	381	621	424	630	595	842	4
durante	429	621	459	630	595	842	4
el	464	621	471	630	595	842	4
wet	476	621	490	630	595	842	4
etching	495	621	524	630	595	842	4
obtenido	85	633	120	642	595	842	4
bajo	123	633	140	642	595	842	4
las	144	633	154	642	595	842	4
siguientes	158	633	198	642	595	842	4
condiciones:	201	633	251	642	595	842	4
84	254	633	264	642	595	842	4
°C,	268	633	281	642	595	842	4
1V	284	633	296	642	595	842	4
y	300	633	305	642	595	842	4
HCl	307	633	324	642	595	842	4
12	327	633	337	642	595	842	4
M	340	633	349	642	595	842	4
como	352	633	375	642	595	842	4
agente	378	633	404	642	595	842	4
de	407	633	417	642	595	842	4
frenado	420	633	450	642	595	842	4
(C-84-1,	454	633	488	642	595	842	4
según	491	633	514	642	595	842	4
la	517	633	524	642	595	842	4
tabla	85	645	104	654	595	842	4
1).	107	645	118	654	595	842	4
Como	121	645	145	654	595	842	4
es	148	645	156	654	595	842	4
evidente,	159	645	195	654	595	842	4
en	198	645	208	654	595	842	4
la	210	645	218	654	595	842	4
gráfica	220	645	248	654	595	842	4
se	251	645	259	654	595	842	4
pueden	262	645	291	654	595	842	4
reconocer,	294	645	336	654	595	842	4
posterior	339	645	374	654	595	842	4
a	377	645	382	654	595	842	4
la	384	645	391	654	595	842	4
estabilización	394	645	449	654	595	842	4
inicial,	452	645	479	654	595	842	4
tres	482	645	497	654	595	842	4
etapas	500	645	525	654	595	842	4
compatibles	85	657	133	666	595	842	4
con	136	657	150	666	595	842	4
los	153	657	164	666	595	842	4
fenómenos	167	657	211	666	595	842	4
de	213	657	223	666	595	842	4
movimiento	225	657	274	666	595	842	4
iónico	276	657	301	666	595	842	4
predominantes	304	657	363	666	595	842	4
durante	365	657	395	666	595	842	4
el	398	657	405	666	595	842	4
ataque	407	657	434	666	595	842	4
químico;	436	657	472	666	595	842	4
la	475	657	482	666	595	842	4
apertura	484	657	517	666	595	842	4
y	520	657	525	666	595	842	4
la	85	669	92	678	595	842	4
neutralización.	95	669	154	678	595	842	4
En	113	684	124	693	595	842	4
una	130	684	144	693	595	842	4
primera	150	684	181	693	595	842	4
instancia,	187	684	225	693	595	842	4
previa	231	684	256	693	595	842	4
a	262	684	266	693	595	842	4
las	272	684	283	693	595	842	4
2	289	684	294	693	595	842	4
h	300	684	305	693	595	842	4
de	311	684	320	693	595	842	4
medición,	326	684	366	693	595	842	4
se	372	684	380	693	595	842	4
observa	386	684	417	693	595	842	4
un	423	684	433	693	595	842	4
ascenso	439	684	470	693	595	842	4
sostenido	476	684	513	693	595	842	4
y	520	684	525	693	595	842	4
relativamente	85	696	139	705	595	842	4
ordenado	142	696	179	705	595	842	4
de	182	696	191	705	595	842	4
la	194	696	201	705	595	842	4
corriente	203	696	239	705	595	842	4
eléctrica,	241	696	278	705	595	842	4
compatible	280	696	324	705	595	842	4
con	327	696	342	705	595	842	4
la	344	696	351	705	595	842	4
etapa	354	696	375	705	595	842	4
de	378	696	387	705	595	842	4
ataque	390	696	417	705	595	842	4
químico	420	696	452	705	595	842	4
esperada	455	696	489	705	595	842	4
antes	492	696	512	705	595	842	4
de	515	696	524	705	595	842	4
apertura	85	708	118	717	595	842	4
del	122	708	134	717	595	842	4
poro.	137	708	158	717	595	842	4
Durante	162	708	194	717	595	842	4
este	198	708	213	717	595	842	4
lapso,	217	708	240	717	595	842	4
el	244	708	251	717	595	842	4
comportamiento	254	708	320	717	595	842	4
de	324	708	333	717	595	842	4
la	337	708	344	717	595	842	4
corriente	347	708	383	717	595	842	4
se	387	708	395	717	595	842	4
relaciona	398	708	435	717	595	842	4
con	438	708	453	717	595	842	4
la	457	708	464	717	595	842	4
generación	467	708	511	717	595	842	4
de	515	708	524	717	595	842	4
electrones	85	720	125	729	595	842	4
debidos	128	720	159	729	595	842	4
a	162	720	167	729	595	842	4
la	170	720	177	729	595	842	4
reacción	180	720	214	729	595	842	4
química	216	720	249	729	595	842	4
entre	251	720	272	729	595	842	4
el	275	720	282	729	595	842	4
silicio	284	720	309	729	595	842	4
y	312	720	317	729	595	842	4
el	320	720	327	729	595	842	4
KOH	330	720	351	729	595	842	4
[15,18].	355	720	386	729	595	842	4
Alrededor	392	720	433	729	595	842	4
de	436	720	445	729	595	842	4
1,76	448	720	466	729	595	842	4
horas	468	720	490	729	595	842	4
después	493	720	524	729	595	842	4
del	85	732	97	741	595	842	4
inicio	102	732	124	741	595	842	4
del	129	732	141	741	595	842	4
proceso	146	732	177	741	595	842	4
se	182	732	190	741	595	842	4
observa	194	732	225	741	595	842	4
un	230	732	240	741	595	842	4
cambio	244	732	274	741	595	842	4
en	278	732	288	741	595	842	4
el	292	732	300	741	595	842	4
comportamiento	304	732	370	741	595	842	4
del	374	732	387	741	595	842	4
gráfico:	391	732	422	741	595	842	4
un	426	732	436	741	595	842	4
nuevo	441	732	465	741	595	842	4
ascenso,	470	732	504	741	595	842	4
más	508	732	524	741	595	842	4
desordenado	85	744	135	753	595	842	4
y	138	744	143	753	595	842	4
con	145	744	160	753	595	842	4
menor	163	744	188	753	595	842	4
rapidez.	191	744	222	753	595	842	4
Al	225	744	235	753	595	842	4
momento	237	744	275	753	595	842	4
en	278	744	287	753	595	842	4
que	289	744	304	753	595	842	4
ocurre	306	744	332	753	595	842	4
este	335	744	350	753	595	842	4
primer	353	744	379	753	595	842	4
cambio	382	744	411	753	595	842	4
se	413	744	422	753	595	842	4
le	424	744	431	753	595	842	4
ha	434	744	443	753	595	842	4
denominado	446	744	495	753	595	842	4
T	498	744	504	753	595	842	4
1	504	747	508	753	595	842	4
.	508	744	510	753	595	842	4
Se	113	759	123	768	595	842	4
encontró	125	759	160	768	595	842	4
que	163	759	178	768	595	842	4
el	180	759	187	768	595	842	4
momento	190	759	228	768	595	842	4
en	231	759	240	768	595	842	4
que	243	759	257	768	595	842	4
finaliza	260	759	290	768	595	842	4
esta	293	759	308	768	595	842	4
primera	311	759	342	768	595	842	4
etapa,	345	759	368	768	595	842	4
T	371	759	377	768	595	842	4
1	377	762	380	768	595	842	4
,	381	759	383	768	595	842	4
donde	386	759	410	768	595	842	4
se	413	759	421	768	595	842	4
encuentran	424	759	468	768	595	842	4
las	471	759	481	768	595	842	4
etapas	484	759	509	768	595	842	4
1	512	759	517	768	595	842	4
y	520	759	525	768	595	842	4
DER,	280	40	298	47	595	842	5
M.;	300	40	312	47	595	842	5
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	5
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	5
et	400	40	406	47	595	842	5
al.	408	40	416	47	595	842	5
revista	418	40	439	47	595	842	5
Matéria,	441	40	469	47	595	842	5
v.	471	40	476	47	595	842	5
23,	478	40	488	47	595	842	5
n.	490	40	496	47	595	842	5
2,	498	40	504	47	595	842	5
2018.	506	40	524	47	595	842	5
2,	85	74	93	83	595	842	5
es	95	74	104	83	595	842	5
comparable	106	74	152	83	595	842	5
el	155	74	162	83	595	842	5
tiempo	164	74	192	83	595	842	5
teórico	195	74	222	83	595	842	5
correspondiente	225	74	289	83	595	842	5
a	291	74	296	83	595	842	5
la	298	74	305	83	595	842	5
apertura	308	74	341	83	595	842	5
del	343	74	356	83	595	842	5
poro	358	74	376	83	595	842	5
,	379	74	382	83	595	842	5
según	384	74	408	83	595	842	5
la	410	74	417	83	595	842	5
ecuación	420	74	455	83	595	842	5
1	457	74	462	83	595	842	5
(tabla	465	74	488	83	595	842	5
2).	490	74	501	83	595	842	5
[	159	104	161	112	595	842	5
]	183	104	186	112	595	842	5
(1)	509	110	520	119	595	842	5
Donde	113	146	139	155	595	842	5
es	201	146	209	155	595	842	5
el	212	146	219	155	595	842	5
espesor	222	146	252	155	595	842	5
de	255	146	264	155	595	842	5
oblea,	267	146	291	155	595	842	5
es	307	146	316	155	595	842	5
la	319	146	326	155	595	842	5
profundidad	328	146	377	155	595	842	5
alcanzada	380	146	420	155	595	842	5
durante	423	146	453	155	595	842	5
el	456	146	463	155	595	842	5
primer	465	146	492	155	595	842	5
etching	495	146	524	155	595	842	5
y	85	158	90	167	595	842	5
es	173	158	181	167	595	842	5
la	184	158	191	167	595	842	5
velocidad	194	158	233	167	595	842	5
de	236	158	246	167	595	842	5
etching	249	158	278	167	595	842	5
químico	281	158	314	167	595	842	5
a	318	158	322	167	595	842	5
84	325	158	335	167	595	842	5
°C	338	158	349	167	595	842	5
con	352	158	367	167	595	842	5
KOH	370	158	391	167	595	842	5
4M	394	158	408	167	595	842	5
[17].	411	158	430	167	595	842	5
Es	434	158	444	167	595	842	5
por	447	158	460	167	595	842	5
esta	463	158	479	167	595	842	5
correspon-	482	158	525	167	595	842	5
dencia	85	170	111	179	595	842	5
que	113	170	128	179	595	842	5
la	131	170	138	179	595	842	5
etapa	140	170	161	179	595	842	5
2,	164	170	172	179	595	842	5
relativa	174	170	204	179	595	842	5
a	206	170	211	179	595	842	5
t	213	170	216	179	595	842	5
>	219	170	224	179	595	842	5
T	227	170	233	179	595	842	5
1	233	174	236	179	595	842	5
,	236	170	239	179	595	842	5
se	241	170	250	179	595	842	5
ha	252	170	261	179	595	842	5
denominado	264	170	313	179	595	842	5
apertura	316	170	351	179	595	842	5
del	353	170	365	179	595	842	5
poro.	368	170	389	179	595	842	5
Figura	85	409	111	417	595	842	5
3:	114	409	121	417	595	842	5
Evolución	124	409	161	417	595	842	5
de	164	409	172	417	595	842	5
la	175	409	181	417	595	842	5
corriente	184	409	216	417	595	842	5
para	218	409	234	417	595	842	5
la	236	409	243	417	595	842	5
condición	246	409	281	417	595	842	5
C-84-1I.	283	409	314	417	595	842	5
T	319	409	325	417	595	842	5
1	325	413	328	418	595	842	5
,	328	409	330	417	595	842	5
T	333	409	338	417	595	842	5
2	338	413	342	418	595	842	5
y	344	409	349	417	595	842	5
T	351	409	356	417	595	842	5
3	357	413	360	418	595	842	5
corresponden	362	409	411	417	595	842	5
con	413	409	426	417	595	842	5
los	429	409	439	417	595	842	5
tiempos	442	409	470	417	595	842	5
característicos	473	409	524	417	595	842	5
del	85	421	96	429	595	842	5
proceso.	98	421	128	429	595	842	5
La	113	447	123	456	595	842	5
figura	127	447	150	456	595	842	5
4	154	447	159	456	595	842	5
muestra	162	447	194	456	595	842	5
de	197	447	207	456	595	842	5
forma	210	447	234	456	595	842	5
más	237	447	253	456	595	842	5
detallada	256	447	293	456	595	842	5
las	296	447	307	456	595	842	5
etapas	311	447	336	456	595	842	5
del	339	447	351	456	595	842	5
proceso.	354	447	388	456	595	842	5
Previo	392	447	417	456	595	842	5
a	421	447	426	456	595	842	5
las	429	447	440	456	595	842	5
2	443	447	448	456	595	842	5
h	452	447	457	456	595	842	5
de	460	447	469	456	595	842	5
medición,	473	447	512	456	595	842	5
se	516	447	524	456	595	842	5
observa	85	459	116	468	595	842	5
un	119	459	129	468	595	842	5
ascenso	132	459	163	468	595	842	5
sostenido	166	459	204	468	595	842	5
y	207	459	212	468	595	842	5
relativamente	215	459	269	468	595	842	5
ordenado	272	459	309	468	595	842	5
de	313	459	322	468	595	842	5
la	325	459	332	468	595	842	5
corriente	335	459	371	468	595	842	5
eléctrica	374	459	408	468	595	842	5
que	411	459	425	468	595	842	5
corresponde	428	459	477	468	595	842	5
con	480	459	495	468	595	842	5
el	498	459	505	468	595	842	5
ata-	508	459	524	468	595	842	5
que	85	471	99	480	595	842	5
químico	102	471	135	480	595	842	5
(Figura	138	471	167	480	595	842	5
4a).	170	471	185	480	595	842	5
Durante	188	471	220	480	595	842	5
el	223	471	231	480	595	842	5
inicio	234	471	256	480	595	842	5
de	259	471	268	480	595	842	5
apertura	271	471	305	480	595	842	5
del	307	471	320	480	595	842	5
poro	322	471	341	480	595	842	5
la	344	471	351	480	595	842	5
corriente	354	471	389	480	595	842	5
sufre	392	471	412	480	595	842	5
un	415	471	425	480	595	842	5
incremento	428	471	473	480	595	842	5
exponencial	476	471	524	480	595	842	5
debido	85	483	112	492	595	842	5
al	116	483	123	492	595	842	5
flujo	126	483	145	492	595	842	5
adicional	148	483	185	492	595	842	5
de	188	483	198	492	595	842	5
iones	201	483	222	492	595	842	5
por	225	483	239	492	595	842	5
el	242	483	249	492	595	842	5
poro,	252	483	273	492	595	842	5
como	277	483	299	492	595	842	5
se	302	483	311	492	595	842	5
puede	314	483	338	492	595	842	5
observar	341	483	375	492	595	842	5
figuras	379	483	407	492	595	842	5
4b	410	483	420	492	595	842	5
y	424	483	429	492	595	842	5
4c	432	483	441	492	595	842	5
(este	444	483	463	492	595	842	5
último	467	483	493	492	595	842	5
gráfico	496	483	524	492	595	842	5
corresponde	85	495	134	504	595	842	5
a	137	495	141	504	595	842	5
una	144	495	158	504	595	842	5
linealización	161	495	212	504	595	842	5
de	215	495	224	504	595	842	5
la	228	495	234	504	595	842	5
dependencia).	237	495	293	504	595	842	5
Para	296	495	314	504	595	842	5
finalizar,	317	495	352	504	595	842	5
una	355	495	370	504	595	842	5
vez	373	495	386	504	595	842	5
que	389	495	404	504	595	842	5
la	407	495	414	504	595	842	5
neutralización	417	495	473	504	595	842	5
y	476	495	481	504	595	842	5
el	484	495	491	504	595	842	5
frenado	494	495	524	504	595	842	5
del	85	507	97	516	595	842	5
wet	101	507	116	516	595	842	5
etching	120	507	149	516	595	842	5
son	153	507	167	516	595	842	5
suficientemente	171	507	235	516	595	842	5
importantes	239	507	286	516	595	842	5
(	290	507	294	516	595	842	5
),	322	507	328	516	595	842	5
la	332	507	339	516	595	842	5
corriente	343	507	379	516	595	842	5
presenta	383	507	416	516	595	842	5
un	420	507	430	516	595	842	5
marcado	435	507	469	516	595	842	5
decaimiento,	473	507	524	516	595	842	5
dando	85	519	109	528	595	842	5
por	112	519	126	528	595	842	5
finalizado	129	519	168	528	595	842	5
el	171	519	178	528	595	842	5
proceso	181	519	212	528	595	842	5
y	215	519	220	528	595	842	5
deteniendo	222	519	266	528	595	842	5
la	269	519	276	528	595	842	5
apertura	279	519	312	528	595	842	5
del	315	519	327	528	595	842	5
macroporo,	330	519	376	528	595	842	5
como	379	519	400	528	595	842	5
se	403	519	412	528	595	842	5
puede	414	519	438	528	595	842	5
observar	441	519	475	528	595	842	5
en	478	519	488	528	595	842	5
la	491	519	498	528	595	842	5
figura	501	519	524	528	595	842	5
4d,	85	531	98	540	595	842	5
que	100	531	115	540	595	842	5
resalta	117	531	143	540	595	842	5
la	146	531	153	540	595	842	5
etapa	156	531	177	540	595	842	5
final	180	531	198	540	595	842	5
del	200	531	212	540	595	842	5
mismo.	215	531	245	540	595	842	5
Es	248	531	258	540	595	842	5
importante	260	531	304	540	595	842	5
indicar	306	531	334	540	595	842	5
que	337	531	351	540	595	842	5
se	354	531	362	540	595	842	5
ha	365	531	374	540	595	842	5
denominado	377	531	426	540	595	842	5
como	429	531	451	540	595	842	5
etapa	454	531	475	540	595	842	5
de	478	531	487	540	595	842	5
neutrali-	490	531	525	540	595	842	5
zación	85	543	111	552	595	842	5
y	114	543	118	552	595	842	5
frenado	121	543	152	552	595	842	5
del	155	543	167	552	595	842	5
wet	170	543	184	552	595	842	5
etching	187	543	216	552	595	842	5
al	219	543	226	552	595	842	5
momento	229	543	267	552	595	842	5
que,	270	543	287	552	595	842	5
para	289	543	307	552	595	842	5
el	309	543	317	552	595	842	5
experimento	319	543	369	552	595	842	5
C-84-1,	372	543	403	552	595	842	5
comienza	406	543	444	552	595	842	5
a	446	543	451	552	595	842	5
las	454	543	465	552	595	842	5
4,74	468	543	485	552	595	842	5
horas	488	543	510	552	595	842	5
del	513	543	525	552	595	842	5
proceso	85	555	116	564	595	842	5
y	119	555	124	564	595	842	5
para	127	555	144	564	595	842	5
el	147	555	154	564	595	842	5
cual	157	555	174	564	595	842	5
el	177	555	184	564	595	842	5
ácido	187	555	209	564	595	842	5
clorhídrico	212	555	255	564	595	842	5
12	259	555	269	564	595	842	5
M	272	555	281	564	595	842	5
y	284	555	289	564	595	842	5
el	291	555	299	564	595	842	5
KOH	302	555	323	564	595	842	5
4	326	555	331	564	595	842	5
M	334	555	343	564	595	842	5
han	346	555	360	564	595	842	5
estado	363	555	389	564	595	842	5
en	392	555	401	564	595	842	5
contacto	404	555	438	564	595	842	5
durante	441	555	471	564	595	842	5
aproximada-	474	555	525	564	595	842	5
mente	85	567	109	576	595	842	5
3	113	567	118	576	595	842	5
horas.	121	567	145	576	595	842	5
Debido	148	567	177	576	595	842	5
a	180	567	185	576	595	842	5
este	188	567	204	576	595	842	5
fenómeno,	207	567	249	576	595	842	5
dichos	252	567	278	576	595	842	5
compuestos	281	567	329	576	595	842	5
reaccionan	332	567	375	576	595	842	5
dando	378	567	402	576	595	842	5
lugar	406	567	426	576	595	842	5
a	429	567	433	576	595	842	5
sales	437	567	456	576	595	842	5
de	459	567	468	576	595	842	5
KCl.	472	567	491	576	595	842	5
Adicio-	494	567	524	576	595	842	5
nalmente,	85	579	124	588	595	842	5
la	127	579	134	588	595	842	5
concentración	137	579	193	588	595	842	5
de	196	579	206	588	595	842	5
KOH	209	579	230	588	595	842	5
disminuye	233	579	275	588	595	842	5
y	278	579	283	588	595	842	5
por	286	579	300	588	595	842	5
tanto	303	579	323	588	595	842	5
el	326	579	333	588	595	842	5
ataque	336	579	362	588	595	842	5
a	365	579	369	588	595	842	5
la	372	579	379	588	595	842	5
superficie	382	579	422	588	595	842	5
del	425	579	437	588	595	842	5
silicio	440	579	464	588	595	842	5
es	467	579	476	588	595	842	5
mucho	479	579	506	588	595	842	5
me-	509	579	525	588	595	842	5
nor	85	591	98	600	595	842	5
en	101	591	110	600	595	842	5
comparación	113	591	164	600	595	842	5
con	167	591	181	600	595	842	5
las	184	591	195	600	595	842	5
condiciones	197	591	245	600	595	842	5
iniciales	248	591	281	600	595	842	5
del	283	591	296	600	595	842	5
experimento.	298	591	351	600	595	842	5
DER,	280	40	298	47	595	842	6
M.;	300	40	312	47	595	842	6
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	6
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	6
et	400	40	406	47	595	842	6
al.	408	40	416	47	595	842	6
revista	418	40	439	47	595	842	6
Matéria,	441	40	469	47	595	842	6
v.	471	40	476	47	595	842	6
23,	478	40	488	47	595	842	6
n.	490	40	496	47	595	842	6
2,	498	40	504	47	595	842	6
2018.	506	40	524	47	595	842	6
a)	164	77	169	84	595	842	6
c)	164	199	169	206	595	842	6
b)	304	77	310	84	595	842	6
d)	307	199	313	206	595	842	6
Figura	85	330	111	338	595	842	6
4:	114	330	122	338	595	842	6
Descripción	125	330	168	338	595	842	6
de	171	330	180	338	595	842	6
las	183	330	193	338	595	842	6
etapas	196	330	218	338	595	842	6
del	221	330	232	338	595	842	6
proceso	235	330	263	338	595	842	6
de	266	330	275	338	595	842	6
fabricación	277	330	318	338	595	842	6
de	321	330	329	338	595	842	6
poros.	332	330	355	338	595	842	6
a)	358	330	365	338	595	842	6
Comportamiento	368	330	428	338	595	842	6
inicial	431	330	454	338	595	842	6
correspondiente	457	330	514	338	595	842	6
al	517	330	524	338	595	842	6
ataque	85	342	109	350	595	842	6
químico,	111	342	143	350	595	842	6
b)	145	342	153	350	595	842	6
Dependencia	156	342	202	350	595	842	6
exponencial	205	342	249	350	595	842	6
luego	251	342	271	350	595	842	6
de	274	342	282	350	595	842	6
apertura	285	342	314	350	595	842	6
de	317	342	326	350	595	842	6
poro,	328	342	347	350	595	842	6
c)	350	342	356	350	595	842	6
Trasformación	359	342	412	350	595	842	6
exponencial	415	342	459	350	595	842	6
del	461	342	472	350	595	842	6
grafico	475	342	500	350	595	842	6
4b,	503	342	514	350	595	842	6
d)	517	342	524	350	595	842	6
Etapa	85	354	106	362	595	842	6
de	108	354	116	362	595	842	6
neutralización.	118	354	172	362	595	842	6
A	113	380	120	389	595	842	6
partir	123	380	144	389	595	842	6
de	148	380	157	389	595	842	6
las	160	380	171	389	595	842	6
anteriores	174	380	214	389	595	842	6
consideraciones,	217	380	283	389	595	842	6
se	286	380	294	389	595	842	6
realizó	298	380	325	389	595	842	6
una	328	380	342	389	595	842	6
comparación	345	380	397	389	595	842	6
del	401	380	413	389	595	842	6
comportamiento	416	380	481	389	595	842	6
de	485	380	494	389	595	842	6
los	497	380	509	389	595	842	6
ex-	512	380	525	389	595	842	6
perimentos	85	392	130	401	595	842	6
realizados	132	392	173	401	595	842	6
a	176	392	180	401	595	842	6
84	183	392	193	401	595	842	6
°C	196	392	207	401	595	842	6
bajo	209	392	226	401	595	842	6
diferentes	229	392	269	401	595	842	6
voltajes,	272	392	305	401	595	842	6
y	309	392	314	401	595	842	6
con	316	392	331	401	595	842	6
HCl	334	392	350	401	595	842	6
como	353	392	375	401	595	842	6
agente	378	392	404	401	595	842	6
de	407	392	417	401	595	842	6
frenado	420	392	450	401	595	842	6
(Figura	453	392	482	401	595	842	6
5).	485	392	496	401	595	842	6
En	499	392	510	401	595	842	6
los	513	392	525	401	595	842	6
gráficos	85	404	117	413	595	842	6
de	120	404	129	413	595	842	6
evolución	132	404	172	413	595	842	6
de	174	404	184	413	595	842	6
corrientes	187	404	226	413	595	842	6
para	229	404	246	413	595	842	6
las	249	404	260	413	595	842	6
tres	262	404	277	413	595	842	6
condiciones	280	404	328	413	595	842	6
(0,1	331	404	347	413	595	842	6
V,	349	404	359	413	595	842	6
0,5V	362	404	382	413	595	842	6
y	385	404	390	413	595	842	6
1	392	404	397	413	595	842	6
V)	400	404	411	413	595	842	6
se	414	404	422	413	595	842	6
observan	424	404	461	413	595	842	6
comportamien-	464	404	525	413	595	842	6
tos	85	416	97	425	595	842	6
similares,	100	416	138	425	595	842	6
en	141	416	150	425	595	842	6
donde	153	416	177	425	595	842	6
se	180	416	188	425	595	842	6
pueden	191	416	220	425	595	842	6
diferenciar	223	416	266	425	595	842	6
las	269	416	280	425	595	842	6
3	283	416	288	425	595	842	6
etapas	291	416	316	425	595	842	6
discutidas	318	416	358	425	595	842	6
previamente,	361	416	413	425	595	842	6
y	416	416	421	425	595	842	6
además,	423	416	456	425	595	842	6
las	459	416	470	425	595	842	6
corrientes	473	416	512	425	595	842	6
de	515	416	525	425	595	842	6
las	85	428	96	437	595	842	6
3	99	428	104	437	595	842	6
curvas	107	428	133	437	595	842	6
resultan	136	428	167	437	595	842	6
razonablemente	170	428	234	437	595	842	6
proporcionales	236	428	296	437	595	842	6
al	299	428	306	437	595	842	6
voltaje	309	428	336	437	595	842	6
utilizado	339	428	374	437	595	842	6
para	377	428	394	437	595	842	6
cada	397	428	415	437	595	842	6
experiencia.	418	428	467	437	595	842	6
En	470	428	481	437	595	842	6
particular,	484	428	524	437	595	842	6
las	85	440	96	449	595	842	6
estabilizaciones	99	440	162	449	595	842	6
intermedias	166	440	212	449	595	842	6
de	215	440	225	449	595	842	6
cada	228	440	246	449	595	842	6
experimento	249	440	299	449	595	842	6
en	302	440	311	449	595	842	6
torno	314	440	335	449	595	842	6
a	339	440	343	449	595	842	6
55	346	440	356	449	595	842	6
µA,	359	440	375	449	595	842	6
25	378	440	388	449	595	842	6
µA	391	440	404	449	595	842	6
y	407	440	412	449	595	842	6
5	415	440	420	449	595	842	6
µA	423	440	436	449	595	842	6
respectivamente	439	440	504	449	595	842	6
con-	507	440	525	449	595	842	6
firman	85	452	112	461	595	842	6
esta	114	452	130	461	595	842	6
suposición.	133	452	177	461	595	842	6
Además,	180	452	215	461	595	842	6
al	218	452	226	461	595	842	6
igual	228	452	248	461	595	842	6
que	250	452	265	461	595	842	6
en	268	452	277	461	595	842	6
la	280	452	287	461	595	842	6
condición	290	452	329	461	595	842	6
C-84-1,	332	452	362	461	595	842	6
se	365	452	373	461	595	842	6
encontró	376	452	411	461	595	842	6
que	414	452	428	461	595	842	6
para	431	452	448	461	595	842	6
las	450	452	461	461	595	842	6
condiciones	464	452	512	461	595	842	6
C-	515	452	524	461	595	842	6
84-0.5	85	464	111	473	595	842	6
y	114	464	119	473	595	842	6
C-84-0.1,	121	464	160	473	595	842	6
el	163	464	170	473	595	842	6
instante	173	464	204	473	595	842	6
T	207	464	213	473	595	842	6
1	213	468	216	474	595	842	6
es	219	464	228	473	595	842	6
comparable	230	464	277	473	595	842	6
con	280	464	294	473	595	842	6
el	297	464	304	473	595	842	6
tiempo	307	464	335	473	595	842	6
teórico	338	464	365	473	595	842	6
de	368	464	378	473	595	842	6
apertura	381	464	414	473	595	842	6
de	416	464	426	473	595	842	6
poro	429	464	447	473	595	842	6
calculado	450	464	488	473	595	842	6
según	491	464	515	473	595	842	6
la	518	464	524	473	595	842	6
ecuación	85	476	121	485	595	842	6
1	124	476	129	485	595	842	6
(tabla	133	476	155	485	595	842	6
2).	159	476	170	485	595	842	6
Por	173	476	187	485	595	842	6
otro	190	476	206	485	595	842	6
lado,	210	476	230	485	595	842	6
en	233	476	243	485	595	842	6
el	246	476	253	485	595	842	6
grafico	257	476	285	485	595	842	6
obtenido	288	476	323	485	595	842	6
para	327	476	344	485	595	842	6
la	348	476	354	485	595	842	6
oblea	358	476	379	485	595	842	6
C-84-0.5,	383	476	422	485	595	842	6
se	425	476	434	485	595	842	6
observa	437	476	468	485	595	842	6
que	471	476	486	485	595	842	6
a	489	476	494	485	595	842	6
las	497	476	508	485	595	842	6
3,5	512	476	524	485	595	842	6
horas	85	488	107	497	595	842	6
ocurre	110	488	136	497	595	842	6
una	139	488	154	497	595	842	6
disminución	157	488	206	497	595	842	6
drástica	210	488	241	497	595	842	6
de	244	488	254	497	595	842	6
la	257	488	264	497	595	842	6
corriente.	268	488	306	497	595	842	6
Este	310	488	327	497	595	842	6
comportamiento	331	488	396	497	595	842	6
coincide	400	488	433	497	595	842	6
con	437	488	451	497	595	842	6
la	455	488	462	497	595	842	6
apertura	465	488	498	497	595	842	6
de	502	488	511	497	595	842	6
un	515	488	525	497	595	842	6
segundo	85	500	118	509	595	842	6
poro	121	500	139	509	595	842	6
en	142	500	151	509	595	842	6
la	154	500	161	509	595	842	6
misma	163	500	190	509	595	842	6
oblea,	192	500	216	509	595	842	6
lo	219	500	227	509	595	842	6
que	230	500	244	509	595	842	6
incrementa	247	500	291	509	595	842	6
la	294	500	301	509	595	842	6
velocidad	303	500	342	509	595	842	6
de	344	500	354	509	595	842	6
neutralización.	356	500	415	509	595	842	6
Figura	85	729	111	737	595	842	6
5:	114	729	121	737	595	842	6
Comparación	124	729	173	737	595	842	6
de	175	729	184	737	595	842	6
las	186	729	196	737	595	842	6
curvas	199	729	222	737	595	842	6
de	225	729	233	737	595	842	6
evolución	236	729	271	737	595	842	6
de	273	729	282	737	595	842	6
la	284	729	291	737	595	842	6
corriente,	294	729	328	737	595	842	6
condiciones:	330	729	376	737	595	842	6
HCl,	378	729	395	737	595	842	6
84	398	729	407	737	595	842	6
°C.	410	729	422	737	595	842	6
a)	424	729	431	737	595	842	6
Línea	434	729	454	737	595	842	6
negra:	457	729	479	737	595	842	6
condición	482	729	517	737	595	842	6
1	520	729	524	737	595	842	6
V,	85	741	94	749	595	842	6
Línea	96	741	116	749	595	842	6
roja:	119	741	135	749	595	842	6
condición	137	741	173	749	595	842	6
0,5	175	741	186	749	595	842	6
V	189	741	195	749	595	842	6
y	197	741	202	749	595	842	6
Línea	204	741	225	749	595	842	6
azul:	227	741	244	749	595	842	6
condición	247	741	282	749	595	842	6
0,1	284	741	296	749	595	842	6
V,	298	741	307	749	595	842	6
b)	309	741	316	749	595	842	6
Imágenes	319	741	353	749	595	842	6
de	355	741	364	749	595	842	6
los	366	741	377	749	595	842	6
macroporos	379	741	421	749	595	842	6
obtenidos.	424	741	461	749	595	842	6
DER,	280	40	298	47	595	842	7
M.;	300	40	312	47	595	842	7
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	7
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	7
et	400	40	406	47	595	842	7
al.	408	40	416	47	595	842	7
revista	418	40	439	47	595	842	7
Matéria,	441	40	469	47	595	842	7
v.	471	40	476	47	595	842	7
23,	478	40	488	47	595	842	7
n.	490	40	496	47	595	842	7
2,	498	40	504	47	595	842	7
2018.	506	40	524	47	595	842	7
APEL	113	74	138	83	595	842	7
etal.	140	74	157	83	595	842	7
[19]	159	74	176	83	595	842	7
indicaron	179	74	216	83	595	842	7
que	219	74	233	83	595	842	7
aplicando	236	74	274	83	595	842	7
voltajes	277	74	308	83	595	842	7
mayores	311	74	344	83	595	842	7
a	347	74	351	83	595	842	7
0,1	354	74	367	83	595	842	7
V,	369	74	379	83	595	842	7
la	382	74	389	83	595	842	7
electromigración	391	74	459	83	595	842	7
es	461	74	470	83	595	842	7
por	472	74	486	83	595	842	7
lo	488	74	496	83	595	842	7
menos	499	74	525	83	595	842	7
4	85	86	90	95	595	842	7
veces	93	86	115	95	595	842	7
mayor	117	86	143	95	595	842	7
que	145	86	160	95	595	842	7
la	163	86	169	95	595	842	7
difusión	172	86	205	95	595	842	7
(este	207	86	226	95	595	842	7
número	229	86	259	95	595	842	7
asciende	262	86	296	95	595	842	7
a	299	86	303	95	595	842	7
35	306	86	316	95	595	842	7
si	319	86	325	95	595	842	7
se	328	86	336	95	595	842	7
utiliza	338	86	363	95	595	842	7
1V	366	86	378	95	595	842	7
de	381	86	390	95	595	842	7
potencial).	393	86	435	95	595	842	7
El	438	86	447	95	595	842	7
aumento	449	86	484	95	595	842	7
del	487	86	499	95	595	842	7
volta-	501	86	525	95	595	842	7
je	85	98	92	107	595	842	7
genera	95	98	122	107	595	842	7
por	125	98	138	107	595	842	7
tanto	141	98	161	107	595	842	7
un	164	98	174	107	595	842	7
aumento	177	98	211	107	595	842	7
en	214	98	224	107	595	842	7
la	226	98	233	107	595	842	7
importancia	237	98	284	107	595	842	7
de	287	98	297	107	595	842	7
electromigración	300	98	367	107	595	842	7
de	370	98	380	107	595	842	7
iones	383	98	404	107	595	842	7
OH-	407	98	424	107	595	842	7
frente	428	98	451	107	595	842	7
a	454	98	458	107	595	842	7
mecanismos	461	98	510	107	595	842	7
di-	513	98	524	107	595	842	7
fusivos.	85	110	116	119	595	842	7
Por	119	110	134	119	595	842	7
esta	137	110	152	119	595	842	7
razón,	155	110	180	119	595	842	7
tanto	183	110	203	119	595	842	7
los	206	110	218	119	595	842	7
valores	221	110	250	119	595	842	7
de	253	110	262	119	595	842	7
corrientes	265	110	305	119	595	842	7
obtenidos	308	110	347	119	595	842	7
como	350	110	372	119	595	842	7
las	376	110	386	119	595	842	7
dependencias	389	110	443	119	595	842	7
específicas	446	110	490	119	595	842	7
de	494	110	503	119	595	842	7
cada	506	110	525	119	595	842	7
etapa	85	122	106	131	595	842	7
son	109	122	123	131	595	842	7
más	125	122	141	131	595	842	7
visibles	144	122	175	131	595	842	7
con	177	122	192	131	595	842	7
el	194	122	202	131	595	842	7
aumento	204	122	239	131	595	842	7
del	242	122	254	131	595	842	7
voltaje	256	122	283	131	595	842	7
aplicado.	286	122	322	131	595	842	7
A	326	122	333	131	595	842	7
voltajes	335	122	366	131	595	842	7
altos,	369	122	390	131	595	842	7
entonces,	393	122	430	131	595	842	7
este	433	122	449	131	595	842	7
fenómeno	451	122	491	131	595	842	7
permite	494	122	524	131	595	842	7
distinguir	85	134	123	143	595	842	7
con	127	134	142	143	595	842	7
claridad	145	134	177	143	595	842	7
las	181	134	192	143	595	842	7
regiones	196	134	229	143	595	842	7
mencionadas,	233	134	288	143	595	842	7
y	292	134	297	143	595	842	7
realizar	300	134	330	143	595	842	7
análisis	334	134	364	143	595	842	7
e	367	134	372	143	595	842	7
hipótesis	375	134	411	143	595	842	7
a	414	134	419	143	595	842	7
partir	423	134	444	143	595	842	7
de	448	134	457	143	595	842	7
supuestos	461	134	500	143	595	842	7
pura-	504	134	525	143	595	842	7
mente	85	146	109	155	595	842	7
eléctricos.	112	146	153	155	595	842	7
Tabla	85	173	108	181	595	842	7
2:	110	173	117	181	595	842	7
Tiempo	120	173	147	181	595	842	7
de	150	173	158	181	595	842	7
apertura	160	173	190	181	595	842	7
de	192	173	201	181	595	842	7
poro	203	173	219	181	595	842	7
teórico	222	173	247	181	595	842	7
y	249	173	254	181	595	842	7
experimental	256	173	303	181	595	842	7
para	305	173	320	181	595	842	7
tres	325	173	338	181	595	842	7
obleas	340	173	363	181	595	842	7
tratadas	365	173	393	181	595	842	7
a	396	173	400	181	595	842	7
distintas	402	173	432	181	595	842	7
condiciones.	434	173	479	181	595	842	7
OBLEA	117	197	146	204	595	842	7
PROFUNDIDAD	197	197	256	204	595	842	7
TOTAL	258	197	284	204	595	842	7
OBTENIDO	287	197	329	204	595	842	7
DEL	197	211	213	219	595	842	7
PRIMER	215	211	246	219	595	842	7
ETCHING	248	211	284	219	595	842	7
C-84-1	117	225	146	234	595	842	7
365	197	225	210	233	595	842	7
C-84-0.5	117	239	153	248	595	842	7
315	197	240	210	248	595	842	7
C-84-0.1	117	254	153	263	595	842	7
310	197	255	210	263	595	842	7
1.	85	265	90	271	595	842	7
Valor	93	267	115	276	595	842	7
determinado	118	267	167	276	595	842	7
según	170	267	193	276	595	842	7
ecuación	196	267	231	276	595	842	7
1.	234	267	241	276	595	842	7
2.	85	280	90	286	595	842	7
TIEMPO	338	197	369	204	595	842	7
DE	371	197	382	204	595	842	7
TIEMPO	434	197	465	204	595	842	7
DE	467	197	478	204	595	842	7
1	385	209	388	214	595	842	7
APERTURA	341	211	385	219	595	842	7
APERTURA	434	211	479	219	595	842	7
2	479	209	481	214	595	842	7
1,84	338	225	354	233	595	842	7
horas	357	225	376	233	595	842	7
1,8	434	225	446	233	595	842	7
horas	448	225	467	233	595	842	7
2,44	338	240	354	248	595	842	7
horas	356	240	376	248	595	842	7
2,4	434	240	446	248	595	842	7
horas	448	240	467	248	595	842	7
2,5	338	255	350	263	595	842	7
horas	352	255	371	263	595	842	7
2,8	434	255	446	263	595	842	7
horas	448	255	467	263	595	842	7
Dato	93	282	112	291	595	842	7
obtenido	114	282	149	291	595	842	7
de	152	282	161	291	595	842	7
la	164	282	171	291	595	842	7
curva	173	282	195	291	595	842	7
de	198	282	207	291	595	842	7
evolución	210	282	249	291	595	842	7
de	252	282	261	291	595	842	7
corrientes,	264	282	306	291	595	842	7
figura	308	282	332	291	595	842	7
5.	335	282	342	291	595	842	7
Para	113	312	130	321	595	842	7
determinar	133	312	176	321	595	842	7
la	179	312	186	321	595	842	7
reproducibilidad	189	312	255	321	595	842	7
de	257	312	267	321	595	842	7
los	270	312	281	321	595	842	7
experimentos	284	312	338	321	595	842	7
se	341	312	349	321	595	842	7
han	352	312	366	321	595	842	7
llevado	369	312	398	321	595	842	7
a	401	312	406	321	595	842	7
cabo	408	312	427	321	595	842	7
2	430	312	435	321	595	842	7
fabricaciones	438	312	491	321	595	842	7
bajo	494	312	511	321	595	842	7
las	514	312	525	321	595	842	7
condiciones	85	324	133	333	595	842	7
de	136	324	145	333	595	842	7
HCl,	149	324	168	333	595	842	7
84	171	324	181	333	595	842	7
°C,	185	324	197	333	595	842	7
0,5	201	324	213	333	595	842	7
V.	216	324	226	333	595	842	7
La	229	324	240	333	595	842	7
figura	243	324	267	333	595	842	7
6	270	324	275	333	595	842	7
muestra	279	324	311	333	595	842	7
los	314	324	325	333	595	842	7
gráficos	329	324	361	333	595	842	7
de	364	324	373	333	595	842	7
corriente	377	324	412	333	595	842	7
eléctrica	415	324	449	333	595	842	7
obtenidos	452	324	491	333	595	842	7
durante	494	324	524	333	595	842	7
proceso.	85	336	119	345	595	842	7
Se	121	336	131	345	595	842	7
encontró	134	336	169	345	595	842	7
que,	172	336	189	345	595	842	7
bajo	192	336	208	345	595	842	7
estas	211	336	231	345	595	842	7
condiciones,	234	336	284	345	595	842	7
el	286	336	294	345	595	842	7
instante	296	336	328	345	595	842	7
T	330	336	336	345	595	842	7
1	336	340	340	346	595	842	7
(tiempo	342	336	373	345	595	842	7
de	376	336	386	345	595	842	7
apertura	388	336	421	345	595	842	7
de	424	336	433	345	595	842	7
poro)	436	336	458	345	595	842	7
coincidió	460	336	497	345	595	842	7
con	500	336	515	345	595	842	7
el	517	336	524	345	595	842	7
tiempo	85	348	113	357	595	842	7
de	116	348	125	357	595	842	7
apertura	129	348	161	357	595	842	7
obtenido	164	348	199	357	595	842	7
a	202	348	207	357	595	842	7
partir	210	348	231	357	595	842	7
de	234	348	244	357	595	842	7
la	247	348	254	357	595	842	7
ecuación	257	348	292	357	595	842	7
1.	295	348	303	357	595	842	7
Para	306	348	324	357	595	842	7
la	327	348	334	357	595	842	7
oblea	337	348	359	357	595	842	7
C-84-0.5	362	348	398	357	595	842	7
replica	401	348	428	357	595	842	7
1	431	348	436	357	595	842	7
correspondió	439	348	491	357	595	842	7
con	495	348	509	357	595	842	7
2,9	512	348	525	357	595	842	7
horas	85	360	107	369	595	842	7
y	109	360	114	369	595	842	7
para	117	360	134	369	595	842	7
C-84-0.5	136	360	172	369	595	842	7
replica	175	360	202	369	595	842	7
2	204	360	209	369	595	842	7
correspondió	212	360	264	369	595	842	7
con	267	360	281	369	595	842	7
2,7	284	360	296	369	595	842	7
horas.	299	360	323	369	595	842	7
Figura	85	589	111	597	595	842	7
6:	113	589	121	597	595	842	7
Comparación	123	589	172	597	595	842	7
de	174	589	183	597	595	842	7
las	185	589	195	597	595	842	7
curvas	197	589	221	597	595	842	7
de	223	589	232	597	595	842	7
evolución	234	589	269	597	595	842	7
de	272	589	280	597	595	842	7
la	282	589	288	597	595	842	7
corriente,	291	589	325	597	595	842	7
condiciones:	327	589	373	597	595	842	7
HCl,	375	589	392	597	595	842	7
84	394	589	403	597	595	842	7
°C.	406	589	418	597	595	842	7
Línea	420	589	440	597	595	842	7
negra:	443	589	466	597	595	842	7
0,5	468	589	479	597	595	842	7
V-replica	481	589	515	597	595	842	7
1,	518	589	524	597	595	842	7
Línea	85	601	105	609	595	842	7
roja:	108	601	124	609	595	842	7
0,5	126	601	138	609	595	842	7
V-replica	140	601	174	609	595	842	7
2.	176	601	183	609	595	842	7
Tabla	85	628	108	636	595	842	7
3:	110	628	117	636	595	842	7
Tiempo	120	628	147	636	595	842	7
de	150	628	158	636	595	842	7
apertura	160	628	190	636	595	842	7
de	192	628	201	636	595	842	7
poro	203	628	219	636	595	842	7
teórico	222	628	247	636	595	842	7
y	249	628	253	636	595	842	7
experimental	255	628	303	636	595	842	7
para	305	628	320	636	595	842	7
tres	325	628	338	636	595	842	7
obleas	340	628	363	636	595	842	7
tratadas	365	628	393	636	595	842	7
a	395	628	399	636	595	842	7
distintas	402	628	432	636	595	842	7
condiciones.	434	628	479	636	595	842	7
OBLEA	117	651	146	658	595	842	7
PROFUNDIDAD	197	651	256	658	595	842	7
TOTAL	258	651	284	658	595	842	7
OBTENIDA	287	651	329	658	595	842	7
TIEMPO	338	651	369	658	595	842	7
DE	371	651	382	658	595	842	7
TIEMPO	434	651	465	658	595	842	7
DE	467	651	478	658	595	842	7
DEL	197	665	213	673	595	842	7
PRIMER	215	665	246	673	595	842	7
ETCHING	248	665	284	673	595	842	7
APERTURA	341	665	385	673	595	842	7
1	385	663	388	668	595	842	7
APERTURA	434	665	479	673	595	842	7
2	479	663	481	668	595	842	7
2,85	338	680	354	688	595	842	7
horas	357	680	376	688	595	842	7
2,9	434	680	446	688	595	842	7
horas	448	680	467	688	595	842	7
2,85	338	694	354	702	595	842	7
horas	357	694	376	702	595	842	7
2,7	434	694	446	702	595	842	7
horas	448	694	467	702	595	842	7
C-84-0.5	117	679	153	688	595	842	7
replica	156	679	183	688	595	842	7
1	185	679	190	688	595	842	7
280	197	680	210	688	595	842	7
C-84-0.5	117	694	153	703	595	842	7
replica	156	694	183	703	595	842	7
2	185	694	190	703	595	842	7
280	197	694	210	702	595	842	7
1.	85	704	90	710	595	842	7
Valor	93	707	115	716	595	842	7
determinado	118	707	167	716	595	842	7
según	170	707	193	716	595	842	7
ecuación	196	707	231	716	595	842	7
1.	234	707	241	716	595	842	7
2.	85	719	90	725	595	842	7
Dato	93	722	112	731	595	842	7
obtenido	114	722	149	731	595	842	7
de	152	722	161	731	595	842	7
la	164	722	171	731	595	842	7
curva	173	722	195	731	595	842	7
de	198	722	207	731	595	842	7
evolución	210	722	249	731	595	842	7
de	252	722	261	731	595	842	7
corrientes,	264	722	306	731	595	842	7
figura	308	722	332	731	595	842	7
6.	335	722	342	731	595	842	7
DER,	280	40	298	47	595	842	8
M.;	300	40	312	47	595	842	8
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	8
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	8
et	400	40	406	47	595	842	8
al.	408	40	416	47	595	842	8
revista	418	40	439	47	595	842	8
Matéria,	441	40	469	47	595	842	8
v.	471	40	476	47	595	842	8
23,	478	40	488	47	595	842	8
n.	490	40	496	47	595	842	8
2,	498	40	504	47	595	842	8
2018.	506	40	524	47	595	842	8
3.2	85	74	98	82	595	842	8
Caracterización	100	74	167	82	595	842	8
del	169	74	182	82	595	842	8
proceso	185	74	220	82	595	842	8
de	222	74	233	82	595	842	8
fabricación	235	74	283	82	595	842	8
de	286	74	296	82	595	842	8
poros:	299	74	327	82	595	842	8
HCOOH,	329	74	365	82	595	842	8
KOH	368	74	388	82	595	842	8
4M,	390	74	405	82	595	842	8
84	408	74	418	82	595	842	8
°C	420	74	431	82	595	842	8
En	85	89	96	98	595	842	8
la	100	89	106	98	595	842	8
figura	110	89	134	98	595	842	8
7	137	89	142	98	595	842	8
se	145	89	154	98	595	842	8
muestran	157	89	194	98	595	842	8
los	197	89	208	98	595	842	8
resultados	212	89	253	98	595	842	8
obtenidos	256	89	295	98	595	842	8
para	298	89	315	98	595	842	8
los	318	89	330	98	595	842	8
experimentos	333	89	387	98	595	842	8
F-84-1,	390	89	420	98	595	842	8
F-84-0.5	424	89	458	98	595	842	8
y	465	89	470	98	595	842	8
F-84-0.1.	473	89	510	98	595	842	8
En	514	89	525	98	595	842	8
este	85	101	101	110	595	842	8
caso,	104	101	124	110	595	842	8
el	127	101	134	110	595	842	8
proceso	137	101	168	110	595	842	8
de	171	101	180	110	595	842	8
fabricación	183	101	228	110	595	842	8
de	231	101	240	110	595	842	8
poros	243	101	266	110	595	842	8
se	268	101	277	110	595	842	8
llevó	279	101	299	110	595	842	8
a	302	101	307	110	595	842	8
cabo	310	101	328	110	595	842	8
siguiendo	332	101	370	110	595	842	8
el	373	101	380	110	595	842	8
procedimiento	383	101	441	110	595	842	8
utilizado	444	101	478	110	595	842	8
en	482	101	491	110	595	842	8
el	494	101	501	110	595	842	8
apar-	504	101	525	110	595	842	8
tado	85	113	102	122	595	842	8
3.1,	105	113	120	122	595	842	8
con	123	113	138	122	595	842	8
ácido	141	113	162	122	595	842	8
fórmico	165	113	197	122	595	842	8
como	200	113	222	122	595	842	8
agente	225	113	251	122	595	842	8
de	254	113	263	122	595	842	8
frenado.	266	113	299	122	595	842	8
En	302	113	314	122	595	842	8
todos	316	113	338	122	595	842	8
los	341	113	353	122	595	842	8
casos	355	113	377	122	595	842	8
de	380	113	390	122	595	842	8
la	393	113	400	122	595	842	8
figura	403	113	427	122	595	842	8
se	429	113	438	122	595	842	8
observan	441	113	477	122	595	842	8
valores	480	113	508	122	595	842	8
co-	511	113	524	122	595	842	8
rrespondientes	85	125	143	134	595	842	8
a	146	125	151	134	595	842	8
tres	154	125	168	134	595	842	8
etapas	171	125	196	134	595	842	8
bien	199	125	216	134	595	842	8
definidas.	219	125	258	134	595	842	8
En	261	125	272	134	595	842	8
primer	275	125	302	134	595	842	8
lugar,	305	125	328	134	595	842	8
una	331	125	345	134	595	842	8
evolución	348	125	388	134	595	842	8
ordenada	391	125	427	134	595	842	8
de	430	125	440	134	595	842	8
la	443	125	450	134	595	842	8
corriente,	453	125	491	134	595	842	8
relacio-	494	125	524	134	595	842	8
nada	85	137	104	146	595	842	8
con	106	137	121	146	595	842	8
la	124	137	131	146	595	842	8
reacción	133	137	167	146	595	842	8
química	170	137	202	146	595	842	8
entre	205	137	225	146	595	842	8
el	228	137	235	146	595	842	8
silicio	237	137	261	146	595	842	8
y	264	137	269	146	595	842	8
el	272	137	279	146	595	842	8
KOH	282	137	303	146	595	842	8
[17,20].	306	137	338	146	595	842	8
Luego	341	137	366	146	595	842	8
se	369	137	377	146	595	842	8
registra	380	137	410	146	595	842	8
una	413	137	427	146	595	842	8
fuerte	430	137	453	146	595	842	8
fluctuación,	456	137	503	146	595	842	8
cuya	506	137	524	146	595	842	8
magnitud	85	149	123	158	595	842	8
media	126	149	150	158	595	842	8
resulta	153	149	180	158	595	842	8
directamente	183	149	235	158	595	842	8
proporcional	238	149	289	158	595	842	8
al	292	149	299	158	595	842	8
voltaje	302	149	329	158	595	842	8
aplicado.	332	149	369	158	595	842	8
Y	372	149	379	158	595	842	8
finalmente	382	149	425	158	595	842	8
una	428	149	442	158	595	842	8
estabilización	445	149	501	158	595	842	8
final,	504	149	524	158	595	842	8
que	85	161	99	170	595	842	8
concluye	102	161	138	170	595	842	8
con	140	161	155	170	595	842	8
el	157	161	165	170	595	842	8
proceso.	167	161	201	170	595	842	8
Figura	85	389	111	397	595	842	8
7:	114	389	121	397	595	842	8
Comparación	124	389	173	397	595	842	8
de	175	389	184	397	595	842	8
las	186	389	196	397	595	842	8
curvas	199	389	222	397	595	842	8
de	225	389	233	397	595	842	8
evolución	236	389	271	397	595	842	8
de	273	389	282	397	595	842	8
la	284	389	291	397	595	842	8
corriente,	294	389	328	397	595	842	8
condiciones:	330	389	376	397	595	842	8
HCOOH,	378	389	413	397	595	842	8
84	415	389	424	397	595	842	8
°C.	427	389	439	397	595	842	8
a)	444	389	451	397	595	842	8
Línea	453	389	474	397	595	842	8
negra:	476	389	499	397	595	842	8
condi-	501	389	524	397	595	842	8
ción	85	401	100	409	595	842	8
1	103	401	107	409	595	842	8
V,	109	401	118	409	595	842	8
Línea	120	401	141	409	595	842	8
roja:	143	401	160	409	595	842	8
condición	162	401	197	409	595	842	8
0,5	199	401	211	409	595	842	8
V	213	401	220	409	595	842	8
y	222	401	226	409	595	842	8
Línea	228	401	249	409	595	842	8
azul:	251	401	269	409	595	842	8
condición	271	401	306	409	595	842	8
0,1	308	401	320	409	595	842	8
V.	322	401	331	409	595	842	8
La	113	427	123	436	595	842	8
tabla	127	427	146	436	595	842	8
4	151	427	156	436	595	842	8
muestra	160	427	191	436	595	842	8
los	196	427	207	436	595	842	8
valores	211	427	240	436	595	842	8
de	244	427	254	436	595	842	8
profundidad	258	427	306	436	595	842	8
total	311	427	328	436	595	842	8
obtenidos	332	427	371	436	595	842	8
después	375	427	407	436	595	842	8
del	411	427	423	436	595	842	8
primer	427	427	454	436	595	842	8
etching	458	427	487	436	595	842	8
para	492	427	509	436	595	842	8
las	513	427	524	436	595	842	8
obleas	85	439	110	448	595	842	8
F-84-1,	114	439	143	448	595	842	8
F-84-0.5	147	439	181	448	595	842	8
y	184	439	189	448	595	842	8
F-84-0.1.	192	439	229	448	595	842	8
De	233	439	244	448	595	842	8
acuerdo	247	439	279	448	595	842	8
a	282	439	286	448	595	842	8
estos	289	439	309	448	595	842	8
valores,	312	439	343	448	595	842	8
los	347	439	358	448	595	842	8
tiempos	361	439	393	448	595	842	8
de	396	439	406	448	595	842	8
apertura	409	439	441	448	595	842	8
según	445	439	468	448	595	842	8
la	471	439	478	448	595	842	8
ecuación	481	439	517	448	595	842	8
1	520	439	525	448	595	842	8
deberían	85	451	119	460	595	842	8
ser	123	451	135	460	595	842	8
inferiores	139	451	177	460	595	842	8
a	181	451	185	460	595	842	8
2	189	451	194	460	595	842	8
horas.	198	451	223	460	595	842	8
No	227	451	239	460	595	842	8
obstante,	243	451	279	460	595	842	8
para	283	451	300	460	595	842	8
las	304	451	315	460	595	842	8
obleas	318	451	344	460	595	842	8
F-84-1,	348	451	378	460	595	842	8
F-84-0.5	382	451	417	460	595	842	8
y	421	451	426	460	595	842	8
F-84-0.1	429	451	464	460	595	842	8
se	468	451	476	460	595	842	8
observaron	480	451	525	460	595	842	8
cambios	85	463	118	472	595	842	8
de	121	463	131	472	595	842	8
magnitud	134	463	171	472	595	842	8
de	174	463	184	472	595	842	8
la	187	463	194	472	595	842	8
corriente	197	463	232	472	595	842	8
cerca	235	463	256	472	595	842	8
de	259	463	269	472	595	842	8
las	272	463	282	472	595	842	8
2,8	286	463	298	472	595	842	8
horas,	301	463	325	472	595	842	8
3,4	328	463	341	472	595	842	8
y	343	463	348	472	595	842	8
2,9	351	463	364	472	595	842	8
horas	367	463	388	472	595	842	8
respectivamente.	391	463	459	472	595	842	8
Para	462	463	480	472	595	842	8
el	482	463	489	472	595	842	8
caso	492	463	510	472	595	842	8
es-	513	463	525	472	595	842	8
pecífico	85	475	117	484	595	842	8
de	120	475	129	484	595	842	8
las	132	475	143	484	595	842	8
obleas	146	475	171	484	595	842	8
F-84-0.5	174	475	209	484	595	842	8
y	212	475	217	484	595	842	8
F-84-0.1,	219	475	257	484	595	842	8
además,	260	475	292	484	595	842	8
el	295	475	302	484	595	842	8
proceso	304	475	336	484	595	842	8
no	339	475	348	484	595	842	8
se	351	475	360	484	595	842	8
frenó	362	475	383	484	595	842	8
y	386	475	391	484	595	842	8
la	394	475	401	484	595	842	8
superficie	404	475	443	484	595	842	8
de	446	475	455	484	595	842	8
silicio	458	475	482	484	595	842	8
fue	485	475	498	484	595	842	8
ataca-	500	475	525	484	595	842	8
da	85	487	94	496	595	842	8
completamente.	98	487	161	496	595	842	8
Dado	164	487	186	496	595	842	8
que	189	487	203	496	595	842	8
el	207	487	214	496	595	842	8
experimento,	217	487	269	496	595	842	8
por	272	487	286	496	595	842	8
el	288	487	296	496	595	842	8
contrario,	299	487	337	496	595	842	8
se	341	487	349	496	595	842	8
llevó	352	487	371	496	595	842	8
a	375	487	379	496	595	842	8
cabo	382	487	401	496	595	842	8
durante	404	487	434	496	595	842	8
aproximadamente	437	487	509	496	595	842	8
5,5	512	487	525	496	595	842	8
horas,	85	499	109	508	595	842	8
un	112	499	122	508	595	842	8
lapso	126	499	146	508	595	842	8
suficiente	150	499	188	508	595	842	8
para	192	499	209	508	595	842	8
el	212	499	219	508	595	842	8
desarrollo	222	499	262	508	595	842	8
de	265	499	275	508	595	842	8
las	278	499	289	508	595	842	8
etapas	292	499	317	508	595	842	8
de	320	499	329	508	595	842	8
ataque,	333	499	361	508	595	842	8
se	365	499	373	508	595	842	8
puede	376	499	400	508	595	842	8
atribuir	403	499	432	508	595	842	8
a	435	499	440	508	595	842	8
las	443	499	454	508	595	842	8
propiedades	457	499	505	508	595	842	8
quí-	508	499	524	508	595	842	8
micas	85	511	108	520	595	842	8
del	111	511	123	520	595	842	8
ácido	125	511	147	520	595	842	8
fórmico	150	511	181	520	595	842	8
la	184	511	191	520	595	842	8
ineficiencia	194	511	240	520	595	842	8
del	245	511	258	520	595	842	8
proceso	260	511	291	520	595	842	8
de	294	511	303	520	595	842	8
frenado.	306	511	338	520	595	842	8
Tabla	85	539	108	547	595	842	8
4:	110	539	117	547	595	842	8
Tiempo	120	539	147	547	595	842	8
de	150	539	158	547	595	842	8
apertura	160	539	190	547	595	842	8
de	192	539	201	547	595	842	8
poro	203	539	219	547	595	842	8
teórico	222	539	247	547	595	842	8
y	249	539	253	547	595	842	8
experimental	255	539	303	547	595	842	8
para	305	539	320	547	595	842	8
tres	322	539	335	547	595	842	8
obleas	338	539	360	547	595	842	8
tratadas	363	539	391	547	595	842	8
a	394	539	398	547	595	842	8
distintas	400	539	430	547	595	842	8
condiciones.	432	539	477	547	595	842	8
OBLEA	135	562	163	570	595	842	8
PROFUNDIDAD	214	562	273	570	595	842	8
TOTAL	275	562	302	570	595	842	8
OBTENIDA	216	576	258	584	595	842	8
DEL	260	576	276	584	595	842	8
PRIMER	278	576	310	584	595	842	8
TIEMPO	336	562	367	570	595	842	8
DE	369	562	380	570	595	842	8
APERTURA	336	576	381	584	595	842	8
TIEMPO	421	562	452	570	595	842	8
DE	454	562	465	570	595	842	8
1	383	575	385	579	595	842	8
APERTURA	421	576	466	584	595	842	8
2	468	575	470	579	595	842	8
ETCHING	214	591	250	598	595	842	8
F-84-1	135	604	162	613	595	842	8
420	214	605	228	613	595	842	8
1,19	336	605	352	613	595	842	8
horas	354	605	374	613	595	842	8
F-84-0.5	135	619	170	628	595	842	8
420	214	620	228	628	595	842	8
1,19	336	620	352	628	595	842	8
horas	354	620	374	628	595	842	8
F-84-0.1	135	634	170	643	595	842	8
355	214	634	228	642	595	842	8
1,96	336	634	352	642	595	842	8
horas	356	634	376	642	595	842	8
1.	85	644	90	650	595	842	8
Valor	93	647	115	656	595	842	8
determinado	118	647	167	656	595	842	8
según	170	647	193	656	595	842	8
ecuación	196	647	231	656	595	842	8
1.	234	647	241	656	595	842	8
2.	85	659	90	665	595	842	8
Dato	93	662	112	671	595	842	8
obtenido	114	662	149	671	595	842	8
de	152	662	161	671	595	842	8
la	164	662	171	671	595	842	8
curva	173	662	195	671	595	842	8
de	198	662	207	671	595	842	8
evolución	210	662	249	671	595	842	8
de	252	662	261	671	595	842	8
corrientes,	264	662	306	671	595	842	8
figura	308	662	332	671	595	842	8
7.	334	662	342	671	595	842	8
2,8	421	605	432	613	595	842	8
horas	435	605	454	613	595	842	8
3,4	421	620	432	628	595	842	8
horas	435	620	454	628	595	842	8
2,9	421	634	432	642	595	842	8
horas	435	634	454	642	595	842	8
La	113	692	123	701	595	842	8
figura	127	692	150	701	595	842	8
8	154	692	159	701	595	842	8
muestra	163	692	194	701	595	842	8
imágenes	198	692	236	701	595	842	8
de	239	692	249	701	595	842	8
macroporos	252	692	300	701	595	842	8
tomadas	303	692	336	701	595	842	8
mediante	340	692	377	701	595	842	8
microscopía	380	692	429	701	595	842	8
electrónica	433	692	476	701	595	842	8
de	480	692	489	701	595	842	8
barrido,	493	692	524	701	595	842	8
obtenidas	85	704	123	713	595	842	8
bajo	127	704	144	713	595	842	8
las	149	704	160	713	595	842	8
mismas	164	704	194	713	595	842	8
condiciones	198	704	246	713	595	842	8
experimentales	250	704	311	713	595	842	8
anteriormente	315	704	370	713	595	842	8
descriptas:	374	704	417	713	595	842	8
HCOOH,	421	704	459	713	595	842	8
84	463	704	473	713	595	842	8
°C	477	704	488	713	595	842	8
1	492	704	497	713	595	842	8
V.	501	704	511	713	595	842	8
Se	515	704	525	713	595	842	8
puede	85	716	109	725	595	842	8
observar	113	716	147	725	595	842	8
que	151	716	165	725	595	842	8
cuando	169	716	197	725	595	842	8
la	201	716	208	725	595	842	8
ablación	212	716	246	725	595	842	8
del	249	716	262	725	595	842	8
nitruro	265	716	292	725	595	842	8
de	296	716	306	725	595	842	8
silicio	309	716	333	725	595	842	8
coincide	337	716	371	725	595	842	8
con	375	716	389	725	595	842	8
la	393	716	400	725	595	842	8
parte	404	716	424	725	595	842	8
lateral	427	716	452	725	595	842	8
de	456	716	465	725	595	842	8
la	469	716	476	725	595	842	8
ventana,	480	716	513	725	595	842	8
la	518	716	524	725	595	842	8
forma	85	728	109	737	595	842	8
del	112	728	124	737	595	842	8
poro	127	728	146	737	595	842	8
obtenido	149	728	184	737	595	842	8
es	187	728	196	737	595	842	8
irregular,	199	728	236	737	595	842	8
mientras	239	728	273	737	595	842	8
que	276	728	291	737	595	842	8
cuando	294	728	323	737	595	842	8
la	326	728	333	737	595	842	8
ablación	336	728	370	737	595	842	8
del	373	728	386	737	595	842	8
nitruro	389	728	416	737	595	842	8
del	419	728	432	737	595	842	8
silicio	435	728	459	737	595	842	8
coincide	462	728	496	737	595	842	8
con	499	728	514	737	595	842	8
la	517	728	524	737	595	842	8
parte	85	740	105	749	595	842	8
interna	108	740	135	749	595	842	8
de	138	740	147	749	595	842	8
la	150	740	157	749	595	842	8
ventana,	159	740	193	749	595	842	8
éste	195	740	211	749	595	842	8
toma	214	740	234	749	595	842	8
forma	236	740	260	749	595	842	8
cuadrada.	262	740	301	749	595	842	8
DER,	280	40	298	47	595	842	9
M.;	300	40	312	47	595	842	9
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	9
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	9
et	400	40	406	47	595	842	9
al.	408	40	416	47	595	842	9
revista	418	40	439	47	595	842	9
Matéria,	441	40	469	47	595	842	9
v.	471	40	476	47	595	842	9
23,	478	40	488	47	595	842	9
n.	490	40	496	47	595	842	9
2,	498	40	504	47	595	842	9
2018.	506	40	524	47	595	842	9
a	127	74	130	81	595	842	9
)	131	74	133	81	595	842	9
b)	312	74	318	81	595	842	9
c)	127	207	131	214	595	842	9
d)	312	207	317	214	595	842	9
Figura	85	326	111	334	595	842	9
8:	114	326	122	334	595	842	9
Imágenes	125	326	159	334	595	842	9
de	162	326	170	334	595	842	9
poros	173	326	193	334	595	842	9
obtenidas	196	326	230	334	595	842	9
mediante	233	326	266	334	595	842	9
microscopia	269	326	312	334	595	842	9
electrónica	315	326	355	334	595	842	9
de	358	326	366	334	595	842	9
barrido.	369	326	397	334	595	842	9
a	400	326	404	334	595	842	9
y	407	326	411	334	595	842	9
b)	414	326	421	334	595	842	9
macroporos	424	326	467	334	595	842	9
formados	469	326	503	334	595	842	9
en	506	326	515	334	595	842	9
la	517	326	524	334	595	842	9
parte	85	338	103	346	595	842	9
lateral	105	338	128	346	595	842	9
de	130	338	138	346	595	842	9
la	141	338	147	346	595	842	9
ventana,	149	338	179	346	595	842	9
c	182	338	186	346	595	842	9
y	188	338	193	346	595	842	9
d)	195	338	202	346	595	842	9
macroporos	205	338	247	346	595	842	9
formados	249	338	283	346	595	842	9
dentro	286	338	309	346	595	842	9
de	311	338	319	346	595	842	9
la	321	338	328	346	595	842	9
ventana.	330	338	361	346	595	842	9
Condiciones	363	338	408	346	595	842	9
a:	410	338	417	346	595	842	9
HCOOH,	419	338	453	346	595	842	9
84	455	338	464	346	595	842	9
°C,	467	338	479	346	595	842	9
1	481	338	485	346	595	842	9
V.	487	338	496	346	595	842	9
3.3	85	365	98	373	595	842	9
Caracterización	100	365	167	373	595	842	9
del	169	365	182	373	595	842	9
proceso	185	365	220	373	595	842	9
de	222	365	233	373	595	842	9
fabricación	235	365	283	373	595	842	9
de	286	365	296	373	595	842	9
poros:	299	365	327	373	595	842	9
HCOOH,	329	365	365	373	595	842	9
HCl,	368	365	386	373	595	842	9
KOH	388	365	408	373	595	842	9
4M,	411	365	426	373	595	842	9
65	428	365	438	373	595	842	9
°C	441	365	451	373	595	842	9
SEIDEL	85	380	120	389	595	842	9
et	122	380	129	389	595	842	9
al.[17]	133	380	159	389	595	842	9
indicaron	162	380	199	389	595	842	9
que	202	380	217	389	595	842	9
la	220	380	227	389	595	842	9
velocidad	230	380	268	389	595	842	9
de	271	380	281	389	595	842	9
ataque	284	380	310	389	595	842	9
químico	313	380	345	389	595	842	9
es	348	380	356	389	595	842	9
influenciada	359	380	409	389	595	842	9
por	412	380	425	389	595	842	9
la	428	380	435	389	595	842	9
temperatura	438	380	486	389	595	842	9
aplicada;	489	380	525	389	595	842	9
Una	85	392	101	401	595	842	9
menor	104	392	130	401	595	842	9
temperatura	133	392	180	401	595	842	9
genera	183	392	210	401	595	842	9
menor	212	392	238	401	595	842	9
velocidad,	241	392	282	401	595	842	9
y	285	392	290	401	595	842	9
a	292	392	297	401	595	842	9
su	300	392	308	401	595	842	9
vez	311	392	325	401	595	842	9
la	328	392	335	401	595	842	9
disminución	337	392	387	401	595	842	9
de	389	392	399	401	595	842	9
la	402	392	408	401	595	842	9
velocidad	411	392	450	401	595	842	9
permite	453	392	483	401	595	842	9
un	486	392	496	401	595	842	9
mayor	499	392	524	401	595	842	9
control	85	404	114	413	595	842	9
sobre	116	404	138	413	595	842	9
el	141	404	148	413	595	842	9
tamaño	151	404	180	413	595	842	9
del	183	404	196	413	595	842	9
poro	198	404	217	413	595	842	9
obtenido.	219	404	257	413	595	842	9
Por	263	404	277	413	595	842	9
este	280	404	296	413	595	842	9
motivo,	299	404	329	413	595	842	9
la	332	404	339	413	595	842	9
caracterización	342	404	403	413	595	842	9
del	406	404	418	413	595	842	9
proceso	420	404	452	413	595	842	9
de	455	404	464	413	595	842	9
fabricación	467	404	512	413	595	842	9
de	515	404	524	413	595	842	9
poros	85	416	107	425	595	842	9
también	110	416	142	425	595	842	9
se	144	416	153	425	595	842	9
llevó	155	416	175	425	595	842	9
a	178	416	182	425	595	842	9
cabo	185	416	203	425	595	842	9
a	206	416	211	425	595	842	9
65	213	416	223	425	595	842	9
°C.	226	416	239	425	595	842	9
La	113	431	123	440	595	842	9
figura	126	431	149	440	595	842	9
9	152	431	157	440	595	842	9
exhibe	159	431	186	440	595	842	9
las	189	431	200	440	595	842	9
superficies	202	431	245	440	595	842	9
de	248	431	257	440	595	842	9
las	260	431	271	440	595	842	9
obleas	273	431	299	440	595	842	9
C-65-1,	302	431	333	440	595	842	9
F-65-1,	335	431	365	440	595	842	9
C-65-0.5,	368	431	406	440	595	842	9
F-65-0.5,	408	431	445	440	595	842	9
C-65-0.1	448	431	484	440	595	842	9
y	486	431	491	440	595	842	9
F-65-	494	431	516	440	595	842	9
0.1	85	443	98	452	595	842	9
obtenidas	100	443	138	452	595	842	9
después	141	443	172	452	595	842	9
del	175	443	187	452	595	842	9
etching	190	443	219	452	595	842	9
electroquímico.	222	443	284	452	595	842	9
Aunque	287	443	318	452	595	842	9
las	321	443	332	452	595	842	9
obleas	334	443	360	452	595	842	9
se	362	443	371	452	595	842	9
expusieron	373	443	417	452	595	842	9
entre	420	443	440	452	595	842	9
13	442	443	452	452	595	842	9
y	455	443	460	452	595	842	9
16	462	443	472	452	595	842	9
horas	475	443	496	452	595	842	9
al	499	443	506	452	595	842	9
ataque	85	455	111	464	595	842	9
químico	114	455	146	464	595	842	9
con	149	455	164	464	595	842	9
KOH,	166	455	190	464	595	842	9
aplicando	193	455	231	464	595	842	9
voltajes	234	455	265	464	595	842	9
de	267	455	277	464	595	842	9
1	279	455	284	464	595	842	9
V,	287	455	297	464	595	842	9
0,5	299	455	312	464	595	842	9
V	314	455	322	464	595	842	9
y	324	455	329	464	595	842	9
0,1	331	455	344	464	595	842	9
V	346	455	354	464	595	842	9
respectivamente,	356	455	423	464	595	842	9
no	426	455	436	464	595	842	9
se	439	455	447	464	595	842	9
obtuvieron	449	455	493	464	595	842	9
poros	495	455	518	464	595	842	9
en	85	467	94	476	595	842	9
ninguno	97	467	130	476	595	842	9
de	132	467	142	476	595	842	9
los	144	467	156	476	595	842	9
casos.	158	467	182	476	595	842	9
De	188	467	199	476	595	842	9
acuerdo	202	467	233	476	595	842	9
con	236	467	250	476	595	842	9
la	253	467	260	476	595	842	9
velocidad	262	467	301	476	595	842	9
de	304	467	313	476	595	842	9
ataque	316	467	342	476	595	842	9
del	344	467	356	476	595	842	9
KOH	359	467	380	476	595	842	9
a	383	467	387	476	595	842	9
65	390	467	400	476	595	842	9
°C,	402	467	415	476	595	842	9
se	418	467	426	476	595	842	9
debería	429	467	459	476	595	842	9
alcanzar	461	467	494	476	595	842	9
una	497	467	511	476	595	842	9
profundidad	85	479	134	488	595	842	9
entre	136	479	156	488	595	842	9
400	159	479	174	488	595	842	9
y	177	479	182	488	595	842	9
500	184	479	199	488	595	842	9
µm,	201	479	217	488	595	842	9
lo	220	479	227	488	595	842	9
cual	230	479	247	488	595	842	9
corresponde	249	479	298	488	595	842	9
a	301	479	305	488	595	842	9
una	308	479	322	488	595	842	9
profundidad	324	479	373	488	595	842	9
en	376	479	385	488	595	842	9
exceso	388	479	415	488	595	842	9
para	417	479	435	488	595	842	9
todas	437	479	458	488	595	842	9
las	461	479	472	488	595	842	9
obleas.	474	479	502	488	595	842	9
En	505	479	517	488	595	842	9
la	85	491	92	500	595	842	9
tabla	95	491	114	500	595	842	9
5	117	491	122	500	595	842	9
se	124	491	132	500	595	842	9
indican	135	491	164	500	595	842	9
las	167	491	178	500	595	842	9
profundidades	180	491	238	500	595	842	9
finales	240	491	267	500	595	842	9
obtenidas	269	491	308	500	595	842	9
posteriores	310	491	354	500	595	842	9
al	356	491	364	500	595	842	9
ataque	366	491	392	500	595	842	9
químico,	395	491	430	500	595	842	9
se	433	491	441	500	595	842	9
puede	443	491	467	500	595	842	9
observar	470	491	504	500	595	842	9
que	507	491	521	500	595	842	9
la	85	503	92	512	595	842	9
profundidad	95	503	143	512	595	842	9
de	146	503	155	512	595	842	9
ataque	158	503	184	512	595	842	9
se	187	503	195	512	595	842	9
encuentra	198	503	236	512	595	842	9
entre	239	503	259	512	595	842	9
20	262	503	272	512	595	842	9
µm	274	503	288	512	595	842	9
y	290	503	295	512	595	842	9
100	297	503	312	512	595	842	9
µm.	315	503	331	512	595	842	9
Estos	334	503	355	512	595	842	9
resultados	358	503	398	512	595	842	9
indican	401	503	430	512	595	842	9
que	432	503	447	512	595	842	9
posiblemente	449	503	503	512	595	842	9
a	505	503	510	512	595	842	9
la	512	503	519	512	595	842	9
temperatura	85	515	133	524	595	842	9
de	135	515	145	524	595	842	9
65	150	515	160	524	595	842	9
°C	162	515	173	524	595	842	9
se	175	515	184	524	595	842	9
genera	186	515	213	524	595	842	9
un	215	515	225	524	595	842	9
alto	228	515	243	524	595	842	9
grado	246	515	268	524	595	842	9
de	271	515	280	524	595	842	9
burbujas	283	515	317	524	595	842	9
de	319	515	329	524	595	842	9
hidrógeno	331	515	372	524	595	842	9
producidas	374	515	418	524	595	842	9
en	421	515	431	524	595	842	9
la	433	515	440	524	595	842	9
reacción	443	515	476	524	595	842	9
(Si	479	515	491	524	595	842	9
+	493	515	499	524	595	842	9
2(OH)	85	527	111	536	595	842	9
-	111	524	113	530	595	842	9
+	116	527	121	536	595	842	9
4H	124	527	136	536	595	842	9
2	136	531	140	537	595	842	9
O	140	525	147	536	595	842	9
→	149	525	159	536	595	842	9
Si(OH)	162	525	191	536	595	842	9
6-	191	524	197	537	595	842	9
+	202	527	207	536	595	842	9
2H	210	527	222	536	595	842	9
2	222	531	225	537	595	842	9
)	225	527	229	536	595	842	9
,	231	527	234	536	595	842	9
que	236	527	251	536	595	842	9
enmascaran	253	527	300	536	595	842	9
la	303	527	309	536	595	842	9
superficie	312	527	351	536	595	842	9
y	354	527	359	536	595	842	9
que	362	527	376	536	595	842	9
da	379	527	388	536	595	842	9
lugar	391	527	411	536	595	842	9
a	414	527	418	536	595	842	9
la	421	527	428	536	595	842	9
disminución	430	527	480	536	595	842	9
de	482	527	491	536	595	842	9
la	494	527	501	536	595	842	9
ve-	504	527	516	536	595	842	9
locidad	85	539	114	548	595	842	9
de	117	539	126	548	595	842	9
ataque	129	539	155	548	595	842	9
químico	158	539	190	548	595	842	9
[17,20].	193	539	225	548	595	842	9
Por	113	554	127	563	595	842	9
otro	129	554	145	563	595	842	9
lado,	149	554	168	563	595	842	9
en	171	554	181	563	595	842	9
las	184	554	194	563	595	842	9
imágenes	198	554	235	563	595	842	9
también	238	554	270	563	595	842	9
se	273	554	281	563	595	842	9
observa	285	554	315	563	595	842	9
que	318	554	333	563	595	842	9
la	336	554	343	563	595	842	9
mayoría	346	554	379	563	595	842	9
de	382	554	391	563	595	842	9
las	394	554	405	563	595	842	9
superficies	408	554	452	563	595	842	9
presentan	454	554	493	563	595	842	9
rugosi-	496	554	525	563	595	842	9
dad,	85	566	102	575	595	842	9
lo	105	566	112	575	595	842	9
que	115	566	130	575	595	842	9
es	132	566	141	575	595	842	9
congruente	143	566	187	575	595	842	9
con	190	566	205	575	595	842	9
los	207	566	219	575	595	842	9
resultados	222	566	262	575	595	842	9
obtenidos	265	566	304	575	595	842	9
por	306	566	319	575	595	842	9
PALIK	322	566	352	575	595	842	9
et	354	566	361	575	595	842	9
al.	364	566	374	575	595	842	9
[20],	377	566	396	575	595	842	9
quienes	399	566	429	575	595	842	9
indicaron	432	566	469	575	595	842	9
que	472	566	486	575	595	842	9
la	489	566	496	575	595	842	9
dismi-	499	566	524	575	595	842	9
nución	85	578	112	587	595	842	9
de	115	578	125	587	595	842	9
la	128	578	135	587	595	842	9
temperatura	138	578	186	587	595	842	9
de	189	578	198	587	595	842	9
ataque	202	578	228	587	595	842	9
químico	231	578	263	587	595	842	9
se	266	578	275	587	595	842	9
genera	278	578	304	587	595	842	9
un	307	578	317	587	595	842	9
mayor	321	578	346	587	595	842	9
grado	349	578	372	587	595	842	9
de	375	578	385	587	595	842	9
rugosidad	388	578	427	587	595	842	9
por	430	578	443	587	595	842	9
un	447	578	457	587	595	842	9
aumento	460	578	494	587	595	842	9
de	497	578	506	587	595	842	9
for-	510	578	525	587	595	842	9
mación	85	590	114	599	595	842	9
de	117	590	126	599	595	842	9
silicatos.	129	590	164	599	595	842	9
DER,	280	40	298	47	595	842	10
M.;	300	40	312	47	595	842	10
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	10
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	10
et	400	40	406	47	595	842	10
al.	408	40	416	47	595	842	10
revista	418	40	439	47	595	842	10
Matéria,	441	40	469	47	595	842	10
v.	471	40	476	47	595	842	10
23,	478	40	488	47	595	842	10
n.	490	40	496	47	595	842	10
2,	498	40	504	47	595	842	10
2018.	506	40	524	47	595	842	10
Figura	85	283	111	291	595	842	10
9:	116	283	123	291	595	842	10
Superficie	128	283	165	291	595	842	10
obtenida	169	283	200	291	595	842	10
posterior	205	283	237	291	595	842	10
al	241	283	248	291	595	842	10
proceso	252	283	280	291	595	842	10
electroquímico	285	283	339	291	595	842	10
de	343	283	352	291	595	842	10
formación	356	283	393	291	595	842	10
de	398	283	407	291	595	842	10
poros.	411	283	433	291	595	842	10
Condiciones:KOH	438	283	505	291	595	842	10
4M,	509	283	524	291	595	842	10
HCOOH	85	295	117	303	595	842	10
30M,	119	295	139	303	595	842	10
Temperatura:65°C.	141	295	210	303	595	842	10
Tabla	85	322	108	330	595	842	10
5:	110	322	117	330	595	842	10
Tiempo	120	322	147	330	595	842	10
de	150	322	158	330	595	842	10
apertura	160	322	190	330	595	842	10
de	192	322	201	330	595	842	10
poro	203	322	219	330	595	842	10
OBLEA	119	346	148	353	595	842	10
1.	85	472	90	478	595	842	10
PROFUNDIDAD	193	346	252	353	595	842	10
TOTAL	254	346	281	353	595	842	10
PROFUNDIDAD	295	346	354	353	595	842	10
TOTAL	356	346	383	353	595	842	10
TIEMPO	407	346	438	353	595	842	10
OBTENIDA	193	360	235	368	595	842	10
DEL	237	360	253	368	595	842	10
OBTENIDA	295	360	337	368	595	842	10
DEL	339	360	355	368	595	842	10
SEGUNDO	357	360	398	368	595	842	10
APROXIMADO	407	360	462	368	595	842	10
DE	464	360	476	368	595	842	10
PRIMER	193	374	224	382	595	842	10
ETCHING	226	374	262	382	595	842	10
ETCHING	295	374	331	382	595	842	10
APERTURA	407	374	452	382	595	842	10
F-65-1	119	389	144	397	595	842	10
400	193	389	207	397	595	842	10
500	295	389	309	397	595	842	10
4	407	389	412	397	595	842	10
horas	414	389	433	397	595	842	10
F-65-0.5	119	403	151	411	595	842	10
400	193	403	207	411	595	842	10
490	295	403	309	411	595	842	10
4	407	403	412	411	595	842	10
horas	414	403	433	411	595	842	10
F-65-0.1	119	418	151	426	595	842	10
360	193	418	207	426	595	842	10
400	295	418	309	426	595	842	10
5.3	407	418	419	426	595	842	10
horas	421	418	440	426	595	842	10
C-65-1	119	433	145	441	595	842	10
480	193	433	207	441	595	842	10
500	295	433	309	441	595	842	10
1.3	407	433	419	441	595	842	10
horas	421	433	440	441	595	842	10
C-65-0.5	119	447	152	455	595	842	10
440	193	447	207	455	595	842	10
500	295	447	309	455	595	842	10
2.7	407	447	419	455	595	842	10
horas	421	447	440	455	595	842	10
C-65-0.1	119	462	152	470	595	842	10
420	193	462	207	470	595	842	10
500	295	462	309	470	595	842	10
3.3	407	462	419	470	595	842	10
horas	421	462	440	470	595	842	10
1	452	372	454	377	595	842	10
Valor	93	474	115	483	595	842	10
determinado	118	474	167	483	595	842	10
según	170	474	193	483	595	842	10
ecuación	196	474	231	483	595	842	10
1.	234	474	241	483	595	842	10
4.	85	505	93	513	595	842	10
DISCUSIÓN	95	505	145	513	595	842	10
De	85	520	97	528	595	842	10
acuerdo	100	520	131	528	595	842	10
con	134	520	149	528	595	842	10
los	152	520	163	528	595	842	10
resultados	166	520	207	528	595	842	10
de	209	520	219	528	595	842	10
la	222	520	229	528	595	842	10
literatura,	232	520	270	528	595	842	10
la	273	520	280	528	595	842	10
velocidad	283	520	322	528	595	842	10
de	325	520	334	528	595	842	10
ataque	337	520	363	528	595	842	10
está	366	520	382	528	595	842	10
relacionada	385	520	430	528	595	842	10
con	433	520	448	528	595	842	10
la	451	520	458	528	595	842	10
variación	461	520	498	528	595	842	10
de	501	520	511	528	595	842	10
las	513	520	524	528	595	842	10
condiciones	85	532	133	540	595	842	10
de	135	532	145	540	595	842	10
fabricación,	147	532	194	540	595	842	10
tales	197	532	215	540	595	842	10
como	218	532	240	540	595	842	10
el	243	532	250	540	595	842	10
voltaje	252	532	279	540	595	842	10
[18],	282	532	302	540	595	842	10
la	304	532	311	540	595	842	10
temperatura	314	532	362	540	595	842	10
[17,20]	365	532	394	540	595	842	10
y	399	532	404	540	595	842	10
la	406	532	413	540	595	842	10
concentración	416	532	472	540	595	842	10
de	474	532	484	540	595	842	10
agente	487	532	513	540	595	842	10
de	515	532	525	540	595	842	10
ataque	85	544	111	552	595	842	10
químico	114	544	146	552	595	842	10
[17,20].	149	544	181	552	595	842	10
SEIDEL	183	544	218	552	595	842	10
et	220	544	227	552	595	842	10
al.	230	544	240	552	595	842	10
[17]	242	544	259	552	595	842	10
reportaron	262	544	303	552	595	842	10
el	306	544	313	552	595	842	10
efecto	315	544	340	552	595	842	10
de	343	544	352	552	595	842	10
la	355	544	362	552	595	842	10
temperatura	364	544	412	552	595	842	10
y	415	544	420	552	595	842	10
la	422	544	429	552	595	842	10
concentración	432	544	488	552	595	842	10
de	490	544	500	552	595	842	10
KOH	502	544	524	552	595	842	10
en	85	556	94	564	595	842	10
la	97	556	104	564	595	842	10
velocidad	107	556	146	564	595	842	10
del	149	556	161	564	595	842	10
ataque	164	556	190	564	595	842	10
químico.	193	556	228	564	595	842	10
La	231	556	241	564	595	842	10
velocidad	244	556	282	564	595	842	10
de	285	556	295	564	595	842	10
ataque	298	556	324	564	595	842	10
aumenta	327	556	360	564	595	842	10
antes	363	556	383	564	595	842	10
de	386	556	396	564	595	842	10
una	399	556	413	564	595	842	10
concentración	416	556	472	564	595	842	10
de	474	556	484	564	595	842	10
KOH	487	556	508	564	595	842	10
20-	511	556	524	564	595	842	10
30%,	85	568	106	576	595	842	10
luego	109	568	131	576	595	842	10
disminuye;	134	568	178	576	595	842	10
También	181	568	217	576	595	842	10
reportó	219	568	248	576	595	842	10
que	251	568	266	576	595	842	10
el	269	568	276	576	595	842	10
aumento	279	568	313	576	595	842	10
de	316	568	326	576	595	842	10
la	329	568	335	576	595	842	10
temperatura	338	568	386	576	595	842	10
produce	389	568	421	576	595	842	10
un	425	568	435	576	595	842	10
aumento	437	568	471	576	595	842	10
en	475	568	484	576	595	842	10
la	487	568	494	576	595	842	10
veloci-	497	568	524	576	595	842	10
dad	85	580	99	588	595	842	10
de	103	580	112	588	595	842	10
ataque	115	580	141	588	595	842	10
químico.	144	580	179	588	595	842	10
Adicionalmente,	183	580	249	588	595	842	10
HARREL	252	580	292	588	595	842	10
et	295	580	302	588	595	842	10
al.	305	580	315	588	595	842	10
[18]	318	580	335	588	595	842	10
mostraron	338	580	378	588	595	842	10
una	381	580	396	588	595	842	10
relación	399	580	431	588	595	842	10
directa	434	580	461	588	595	842	10
entre	464	580	484	588	595	842	10
el	487	580	494	588	595	842	10
voltaje	497	580	524	588	595	842	10
aplicado	85	591	119	600	595	842	10
y	122	591	127	600	595	842	10
el	130	591	138	600	595	842	10
tamaño	141	591	170	600	595	842	10
del	174	591	186	600	595	842	10
poro.	189	591	210	600	595	842	10
En	213	591	224	600	595	842	10
relación	228	591	260	600	595	842	10
con	263	591	277	600	595	842	10
el	281	591	288	600	595	842	10
proceso	291	591	322	600	595	842	10
de	326	591	335	600	595	842	10
caracterización,	338	591	401	600	595	842	10
se	405	591	413	600	595	842	10
ha	416	591	425	600	595	842	10
reportado	429	591	467	600	595	842	10
que	470	591	485	600	595	842	10
no	488	591	498	600	595	842	10
existe	501	591	525	600	595	842	10
corriente	85	604	121	612	595	842	10
de	124	604	133	612	595	842	10
fondo	136	604	159	612	595	842	10
cuando	163	604	191	612	595	842	10
el	195	604	202	612	595	842	10
ataque	205	604	231	612	595	842	10
químico	234	604	266	612	595	842	10
se	270	604	278	612	595	842	10
hace	281	604	299	612	595	842	10
sobre	303	604	324	612	595	842	10
materiales	328	604	369	612	595	842	10
como	372	604	394	612	595	842	10
politereftalato	400	604	456	612	595	842	10
de	460	604	469	612	595	842	10
etileno	472	604	499	612	595	842	10
[21]	502	604	519	612	595	842	10
,	522	604	525	612	595	842	10
polimida	85	616	120	625	595	842	10
[23],	123	616	142	625	595	842	10
policarbonato	145	616	200	625	595	842	10
[24].	202	616	222	625	595	842	10
En	113	631	124	640	595	842	10
contraste,	126	631	165	640	595	842	10
cuando	168	631	197	640	595	842	10
el	200	631	207	640	595	842	10
material	209	631	242	640	595	842	10
es	245	631	253	640	595	842	10
silicio,	256	631	283	640	595	842	10
se	286	631	294	640	595	842	10
genera	297	631	323	640	595	842	10
corriente	326	631	362	640	595	842	10
de	365	631	374	640	595	842	10
fondo	377	631	400	640	595	842	10
por	403	631	416	640	595	842	10
efecto	419	631	443	640	595	842	10
de	446	631	456	640	595	842	10
la	458	631	465	640	595	842	10
generación	468	631	512	640	595	842	10
de	515	631	524	640	595	842	10
electrones	85	643	125	652	595	842	10
que	128	643	142	652	595	842	10
se	145	643	153	652	595	842	10
producen	156	643	193	652	595	842	10
en	196	643	205	652	595	842	10
la	208	640	215	652	595	842	10
reacción	217	640	251	652	595	842	10
entre	254	640	274	652	595	842	10
el	276	640	284	652	595	842	10
KOH	286	640	308	652	595	842	10
y	310	640	315	652	595	842	10
el	318	640	325	652	595	842	10
silicio	328	640	352	652	595	842	10
(Si	354	640	366	652	595	842	10
+	369	640	374	652	595	842	10
4OH	377	640	396	652	595	842	10
→	399	640	409	652	595	842	10
Si	411	640	420	652	595	842	10
(OH)	422	640	443	652	595	842	10
4	446	640	451	652	595	842	10
+	454	640	459	652	595	842	10
4e-).	462	640	481	652	595	842	10
Al	483	643	493	652	595	842	10
respec-	496	643	524	652	595	842	10
to,	85	655	95	664	595	842	10
PARK	98	655	125	664	595	842	10
etal.	128	655	145	664	595	842	10
[19]	148	655	164	664	595	842	10
reportaron	167	655	209	664	595	842	10
que	212	655	226	664	595	842	10
en	229	655	239	664	595	842	10
sus	241	655	254	664	595	842	10
ensayos	257	655	289	664	595	842	10
se	292	655	300	664	595	842	10
minimizó	303	655	341	664	595	842	10
este	344	655	360	664	595	842	10
fondo	363	655	386	664	595	842	10
de	389	655	398	664	595	842	10
corriente	401	655	436	664	595	842	10
aplicando	440	655	478	664	595	842	10
voltajes	481	655	512	664	595	842	10
de	515	655	525	664	595	842	10
800	85	667	100	676	595	842	10
mV,	103	667	120	676	595	842	10
por	123	667	137	676	595	842	10
efecto	140	667	164	676	595	842	10
la	167	667	174	676	595	842	10
diferencia	177	667	217	676	595	842	10
de	220	667	230	676	595	842	10
potencial	232	667	269	676	595	842	10
electroquímico	272	667	332	676	595	842	10
entre	335	667	355	676	595	842	10
las	358	667	369	676	595	842	10
interfaces	372	667	411	676	595	842	10
KCl/	414	667	433	676	595	842	10
Si	436	667	445	676	595	842	10
y	448	667	453	676	595	842	10
KOH/Si	456	667	489	676	595	842	10
[17].	491	667	511	676	595	842	10
En	514	667	525	676	595	842	10
general,	85	679	117	688	595	842	10
los	120	679	131	688	595	842	10
estudios	134	679	167	688	595	842	10
anteriores	169	679	209	688	595	842	10
indicaron	212	679	249	688	595	842	10
que	252	679	266	688	595	842	10
el	269	679	276	688	595	842	10
voltaje,	279	679	308	688	595	842	10
la	311	679	318	688	595	842	10
temperatura	321	679	369	688	595	842	10
y	372	679	377	688	595	842	10
la	379	679	386	688	595	842	10
concentración	389	679	445	688	595	842	10
de	448	679	457	688	595	842	10
KOH	460	679	481	688	595	842	10
son	484	679	498	688	595	842	10
facto-	501	679	525	688	595	842	10
res	85	691	97	700	595	842	10
clave	100	691	120	700	595	842	10
en	123	691	133	700	595	842	10
el	136	691	143	700	595	842	10
tamaño	146	691	175	700	595	842	10
del	178	691	190	700	595	842	10
poro	193	691	211	700	595	842	10
y	214	691	219	700	595	842	10
en	222	691	231	700	595	842	10
la	234	691	241	700	595	842	10
caracterización	244	691	305	700	595	842	10
del	307	691	320	700	595	842	10
proceso	322	691	354	700	595	842	10
de	357	691	366	700	595	842	10
fabricación.	369	691	416	700	595	842	10
En	419	691	430	700	595	842	10
cuanto	433	691	459	700	595	842	10
a	462	691	467	700	595	842	10
los	470	691	481	700	595	842	10
resultados	484	691	525	700	595	842	10
obtenidos	85	703	124	712	595	842	10
en	127	703	136	712	595	842	10
el	139	703	146	712	595	842	10
presente	148	703	182	712	595	842	10
trabajo,	184	703	215	712	595	842	10
se	218	703	226	712	595	842	10
pudo	229	703	248	712	595	842	10
observar	251	703	285	712	595	842	10
que	288	703	303	712	595	842	10
bajo	305	703	322	712	595	842	10
las	325	703	336	712	595	842	10
condiciones	339	703	387	712	595	842	10
estudiadas	389	703	431	712	595	842	10
los	434	703	445	712	595	842	10
perfiles	448	703	478	712	595	842	10
de	481	703	490	712	595	842	10
corrien-	493	703	525	712	595	842	10
te	85	715	92	724	595	842	10
en	95	715	104	724	595	842	10
función	107	715	137	724	595	842	10
del	140	715	152	724	595	842	10
tiempo	155	715	182	724	595	842	10
presentan	185	715	223	724	595	842	10
valores	226	715	255	724	595	842	10
de	257	715	267	724	595	842	10
fondo	269	715	293	724	595	842	10
que	296	715	310	724	595	842	10
se	313	715	321	724	595	842	10
minimizan	323	715	366	724	595	842	10
cuando	368	715	397	724	595	842	10
se	400	715	409	724	595	842	10
aplica	411	715	435	724	595	842	10
voltajes	438	715	469	724	595	842	10
de	471	715	480	724	595	842	10
0,1	483	715	496	724	595	842	10
V.	498	715	508	724	595	842	10
Por	511	715	525	724	595	842	10
otra	85	727	101	736	595	842	10
parte,	104	727	126	736	595	842	10
las	129	727	140	736	595	842	10
dependencias	143	727	197	736	595	842	10
relativas	200	727	234	736	595	842	10
a	237	727	242	736	595	842	10
la	245	727	252	736	595	842	10
caracterización	255	727	315	736	595	842	10
de	318	727	328	736	595	842	10
la	331	727	338	736	595	842	10
fabricación	342	727	386	736	595	842	10
de	389	727	399	736	595	842	10
macroporos	402	727	449	736	595	842	10
bajo	452	727	469	736	595	842	10
las	473	727	484	736	595	842	10
condicio-	487	727	524	736	595	842	10
nes	85	739	98	748	595	842	10
de	101	739	110	748	595	842	10
HCl,	113	739	132	748	595	842	10
84	135	739	145	748	595	842	10
°C	148	739	158	748	595	842	10
y	161	739	166	748	595	842	10
voltajes	169	739	200	748	595	842	10
de	203	739	212	748	595	842	10
1V,	215	739	230	748	595	842	10
0,5V	233	739	252	748	595	842	10
y	255	739	260	748	595	842	10
0,1	263	739	275	748	595	842	10
V,	278	739	288	748	595	842	10
permiten	290	739	326	748	595	842	10
diferenciar	328	739	372	748	595	842	10
3	375	739	380	748	595	842	10
tiempos	382	739	414	748	595	842	10
característicos	417	739	474	748	595	842	10
en	477	739	486	748	595	842	10
el	489	739	496	748	595	842	10
proce-	499	739	525	748	595	842	10
so,	85	751	97	760	595	842	10
correspondientes	99	751	167	760	595	842	10
a	169	751	174	760	595	842	10
las	176	751	187	760	595	842	10
etapas	190	751	215	760	595	842	10
de	217	751	227	760	595	842	10
ataque	229	751	256	760	595	842	10
químico,	258	751	294	760	595	842	10
apertura	296	751	329	760	595	842	10
y	332	751	337	760	595	842	10
neutralización,	339	751	398	760	595	842	10
que	401	751	415	760	595	842	10
pueden	418	751	447	760	595	842	10
ser	449	751	461	760	595	842	10
determinados	463	751	517	760	595	842	10
a	520	751	524	760	595	842	10
DER,	280	40	298	47	595	842	11
M.;	300	40	312	47	595	842	11
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	11
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	11
et	400	40	406	47	595	842	11
al.	408	40	416	47	595	842	11
revista	418	40	439	47	595	842	11
Matéria,	441	40	469	47	595	842	11
v.	471	40	476	47	595	842	11
23,	478	40	488	47	595	842	11
n.	490	40	496	47	595	842	11
2,	498	40	504	47	595	842	11
2018.	506	40	524	47	595	842	11
partir	85	74	107	83	595	842	11
de	110	74	119	83	595	842	11
las	123	74	134	83	595	842	11
curvas	137	74	163	83	595	842	11
de	167	74	176	83	595	842	11
evolución	179	74	219	83	595	842	11
de	222	74	231	83	595	842	11
corrientes.	235	74	277	83	595	842	11
En	280	74	291	83	595	842	11
este	294	74	310	83	595	842	11
sentido,	313	74	345	83	595	842	11
la	348	74	355	83	595	842	11
comparación	359	74	410	83	595	842	11
entre	413	74	434	83	595	842	11
el	437	74	444	83	595	842	11
tiempo	447	74	475	83	595	842	11
de	479	74	488	83	595	842	11
apertura	491	74	524	83	595	842	11
teórico	85	86	113	95	595	842	11
y	117	86	122	95	595	842	11
el	125	86	133	95	595	842	11
tiempo	136	86	164	95	595	842	11
de	168	86	177	95	595	842	11
apertura	181	86	214	95	595	842	11
experimental	217	86	270	95	595	842	11
pone	273	86	293	95	595	842	11
de	297	86	306	95	595	842	11
manifiesto	310	86	352	95	595	842	11
que	356	86	370	95	595	842	11
es	374	86	382	95	595	842	11
posible	386	86	415	95	595	842	11
caracterizar	419	86	465	95	595	842	11
el	469	86	476	95	595	842	11
proceso	480	86	511	95	595	842	11
de	515	86	524	95	595	842	11
fabricación	85	98	130	107	595	842	11
de	133	98	143	107	595	842	11
poros	146	98	168	107	595	842	11
sobre	172	98	193	107	595	842	11
este	197	98	212	107	595	842	11
sustrato.	216	98	249	107	595	842	11
Por	253	98	267	107	595	842	11
otra	270	98	285	107	595	842	11
parte,	289	98	311	107	595	842	11
el	315	98	322	107	595	842	11
conocimiento	325	98	379	107	595	842	11
de	383	98	393	107	595	842	11
cada	396	98	414	107	595	842	11
una	418	98	432	107	595	842	11
de	435	98	445	107	595	842	11
las	448	98	459	107	595	842	11
etapas	462	98	487	107	595	842	11
permitió	491	98	524	107	595	842	11
determinar	85	110	128	119	595	842	11
el	131	110	138	119	595	842	11
momento	141	110	179	119	595	842	11
de	182	110	191	119	595	842	11
apertura	194	110	227	119	595	842	11
del	229	110	242	119	595	842	11
poro,	244	110	265	119	595	842	11
lo	268	110	275	119	595	842	11
que	278	110	293	119	595	842	11
resulta	295	110	322	119	595	842	11
de	325	110	334	119	595	842	11
gran	337	110	355	119	595	842	11
utilidad	357	110	388	119	595	842	11
para	390	110	408	119	595	842	11
la	411	110	417	119	595	842	11
fabricación	420	110	465	119	595	842	11
de	468	110	477	119	595	842	11
nanoporos,	480	110	525	119	595	842	11
ya	85	122	94	131	595	842	11
que	97	122	111	131	595	842	11
el	114	122	121	131	595	842	11
proceso	123	122	155	131	595	842	11
se	157	122	166	131	595	842	11
detendría	168	122	205	131	595	842	11
al	208	122	215	131	595	842	11
instante	217	122	248	131	595	842	11
denominado	251	122	300	131	595	842	11
como	303	122	325	131	595	842	11
T	328	122	334	131	595	842	11
1	334	126	337	131	595	842	11
.	337	122	340	131	595	842	11
Por	113	137	127	146	595	842	11
otro	130	137	146	146	595	842	11
lado,	149	137	169	146	595	842	11
mediante	172	137	209	146	595	842	11
la	212	137	219	146	595	842	11
metodología	223	137	272	146	595	842	11
utilizada	276	137	310	146	595	842	11
es	314	137	322	146	595	842	11
posible	326	137	354	146	595	842	11
obtener	358	137	388	146	595	842	11
poros	395	137	417	146	595	842	11
de	420	137	430	146	595	842	11
diferentes	433	137	473	146	595	842	11
tamaños,	476	137	512	146	595	842	11
ya	515	137	524	146	595	842	11
que	85	149	99	158	595	842	11
el	103	149	110	158	595	842	11
proceso	114	149	145	158	595	842	11
modula	148	149	178	158	595	842	11
dicho	182	149	204	158	595	842	11
parámetro	208	149	248	158	595	842	11
en	252	149	261	158	595	842	11
función	265	149	295	158	595	842	11
del	299	149	311	158	595	842	11
tiempo	314	149	342	158	595	842	11
en	346	149	355	158	595	842	11
que	358	149	373	158	595	842	11
el	376	149	384	158	595	842	11
KOH	387	149	409	158	595	842	11
4M	412	149	426	158	595	842	11
está	430	149	445	158	595	842	11
en	449	149	458	158	595	842	11
contacto	462	149	496	158	595	842	11
con	499	149	514	158	595	842	11
la	517	149	524	158	595	842	11
superficie	85	161	124	170	595	842	11
del	127	161	139	170	595	842	11
silicio.	142	161	169	170	595	842	11
En	172	161	183	170	595	842	11
lo	185	161	193	170	595	842	11
relacionado	196	161	242	170	595	842	11
con	245	161	260	170	595	842	11
los	262	161	274	170	595	842	11
experimentos	276	161	330	170	595	842	11
a	333	161	337	170	595	842	11
84	340	161	350	170	595	842	11
°C	353	161	363	170	595	842	11
con	366	161	381	170	595	842	11
HCOOH,	383	161	421	170	595	842	11
los	424	161	436	170	595	842	11
perfiles	438	161	468	170	595	842	11
de	471	161	480	170	595	842	11
corriente	483	161	518	170	595	842	11
-	521	161	524	170	595	842	11
tiempo	85	173	113	182	595	842	11
no	116	173	126	182	595	842	11
permitieron	129	173	175	182	595	842	11
determinar	178	173	221	182	595	842	11
el	224	173	232	182	595	842	11
momento	235	173	272	182	595	842	11
de	275	173	285	182	595	842	11
formación	288	173	329	182	595	842	11
del	331	173	344	182	595	842	11
poro.	347	173	368	182	595	842	11
Además,	370	173	406	182	595	842	11
cabe	409	173	427	182	595	842	11
destacar	430	173	463	182	595	842	11
que	466	173	480	182	595	842	11
caracterís-	483	173	525	182	595	842	11
ticas	85	185	103	194	595	842	11
particulares	106	185	153	194	595	842	11
de	156	185	165	194	595	842	11
este	168	185	184	194	595	842	11
ácido,	187	185	211	194	595	842	11
como	214	185	236	194	595	842	11
su	239	185	248	194	595	842	11
dificultad	251	185	289	194	595	842	11
para	292	185	309	194	595	842	11
disociarse,	312	185	354	194	595	842	11
vuelven	357	185	389	194	595	842	11
menos	392	185	418	194	595	842	11
efectivo	421	185	453	194	595	842	11
el	456	185	463	194	595	842	11
mecanismo	466	185	511	194	595	842	11
de	514	185	524	194	595	842	11
frenado,	85	197	118	206	595	842	11
dando	121	197	145	206	595	842	11
lugar	148	197	168	206	595	842	11
a	171	197	175	206	595	842	11
1)	178	197	186	206	595	842	11
ataques	189	197	219	206	595	842	11
químicos	222	197	258	206	595	842	11
en	261	197	270	206	595	842	11
toda	273	197	290	206	595	842	11
la	293	197	300	206	595	842	11
superficie	303	197	342	206	595	842	11
de	345	197	354	206	595	842	11
silicio	357	197	381	206	595	842	11
de	384	197	393	206	595	842	11
la	396	197	403	206	595	842	11
oblea,	406	197	430	206	595	842	11
lo	433	197	440	206	595	842	11
que	443	197	458	206	595	842	11
genera	460	197	487	206	595	842	11
una	489	197	504	206	595	842	11
ven-	506	197	525	206	595	842	11
tana	85	209	102	218	595	842	11
de	104	209	114	218	595	842	11
características	117	209	173	218	595	842	11
macroscópicas,	176	209	237	218	595	842	11
y	240	209	245	218	595	842	11
por	247	209	261	218	595	842	11
tanto	263	209	283	218	595	842	11
2)	286	209	294	218	595	842	11
No	297	209	309	218	595	842	11
es	312	209	320	218	595	842	11
posible	323	209	352	218	595	842	11
tener	354	209	374	218	595	842	11
un	377	209	387	218	595	842	11
control	390	209	418	218	595	842	11
del	421	209	433	218	595	842	11
tamaño	435	209	465	218	595	842	11
del	468	209	480	218	595	842	11
poro.	482	209	503	218	595	842	11
Res-	506	209	525	218	595	842	11
pecto	85	221	107	230	595	842	11
a	109	221	114	230	595	842	11
los	117	221	128	230	595	842	11
resultados	131	221	171	230	595	842	11
obtenidos	174	221	213	230	595	842	11
bajo	215	221	232	230	595	842	11
las	235	221	246	230	595	842	11
condiciones	249	221	296	230	595	842	11
de	299	221	308	230	595	842	11
65	311	221	321	230	595	842	11
°C,	324	221	337	230	595	842	11
con	340	221	354	230	595	842	11
HCOOH	357	221	392	230	595	842	11
y	397	221	402	230	595	842	11
HCl	405	221	421	230	595	842	11
como	424	221	446	230	595	842	11
agentes	449	221	479	230	595	842	11
de	482	221	492	230	595	842	11
frenado,	494	221	527	230	595	842	11
se	85	233	93	242	595	842	11
puede	96	233	120	242	595	842	11
indicar	123	233	150	242	595	842	11
que	153	233	167	242	595	842	11
en	170	233	180	242	595	842	11
estos	182	233	203	242	595	842	11
casos	205	233	227	242	595	842	11
no	230	233	240	242	595	842	11
fue	242	233	255	242	595	842	11
posible	258	233	286	242	595	842	11
un	290	233	300	242	595	842	11
eficiente	302	233	336	242	595	842	11
ataque	339	233	365	242	595	842	11
químico	368	233	401	242	595	842	11
al	404	233	411	242	595	842	11
silicio	413	233	438	242	595	842	11
cristalino	441	233	478	242	595	842	11
y	481	233	486	242	595	842	11
por	488	233	502	242	595	842	11
tanto	505	233	524	242	595	842	11
obtener	85	245	115	254	595	842	11
poros	118	245	140	254	595	842	11
ni	142	245	150	254	595	842	11
caracterizar	152	245	199	254	595	842	11
el	202	245	209	254	595	842	11
proceso	211	245	242	254	595	842	11
bajo	245	245	262	254	595	842	11
estas	265	245	284	254	595	842	11
condiciones.	287	245	337	254	595	842	11
5.	85	272	93	280	595	842	11
CONCLUSIONES	95	272	167	280	595	842	11
El	85	287	94	296	595	842	11
estudio	97	287	126	296	595	842	11
de	129	287	138	296	595	842	11
los	142	287	153	296	595	842	11
perfiles	156	287	186	296	595	842	11
de	189	287	198	296	595	842	11
evolución	202	287	241	296	595	842	11
de	244	287	253	296	595	842	11
las	257	287	268	296	595	842	11
corrientes	271	287	310	296	595	842	11
ha	313	287	322	296	595	842	11
puesto	326	287	352	296	595	842	11
en	355	287	364	296	595	842	11
evidencia	367	287	405	296	595	842	11
que	408	287	423	296	595	842	11
es	426	287	434	296	595	842	11
posible	437	287	466	296	595	842	11
la	469	287	476	296	595	842	11
fabricación	480	287	525	296	595	842	11
de	85	299	94	308	595	842	11
poros	97	299	120	308	595	842	11
de	123	299	132	308	595	842	11
forma	135	299	158	308	595	842	11
controlada.	161	299	206	308	595	842	11
Se	209	299	219	308	595	842	11
encontró	222	299	256	308	595	842	11
que	259	299	274	308	595	842	11
las	277	299	288	308	595	842	11
condiciones	291	299	338	308	595	842	11
de	341	299	350	308	595	842	11
voltaje,	353	299	383	308	595	842	11
reactivos	386	299	422	308	595	842	11
y	425	299	430	308	595	842	11
temperaturas	433	299	485	308	595	842	11
aplicadas	487	299	524	308	595	842	11
durante	85	311	115	320	595	842	11
el	119	311	126	320	595	842	11
proceso	129	311	160	320	595	842	11
de	164	311	173	320	595	842	11
formación	177	311	217	320	595	842	11
influyen	221	311	254	320	595	842	11
sobre	258	311	279	320	595	842	11
características	283	311	339	320	595	842	11
relevantes	343	311	383	320	595	842	11
de	387	311	396	320	595	842	11
la	400	311	407	320	595	842	11
fabricación,	411	311	458	320	595	842	11
determinándose	461	311	524	320	595	842	11
las	85	323	96	332	595	842	11
condiciones	99	323	146	332	595	842	11
óptimas	149	323	181	332	595	842	11
para	184	323	201	332	595	842	11
una	204	323	218	332	595	842	11
temperatura	221	323	269	332	595	842	11
de	272	323	281	332	595	842	11
84	284	323	294	332	595	842	11
ºC	297	323	307	332	595	842	11
y	310	323	315	332	595	842	11
HCl	317	323	334	332	595	842	11
como	337	323	359	332	595	842	11
agente	362	323	388	332	595	842	11
de	391	323	401	332	595	842	11
frenado.	403	323	436	332	595	842	11
Por	439	323	453	332	595	842	11
el	456	323	463	332	595	842	11
contrario,	466	323	505	332	595	842	11
bajo	508	323	524	332	595	842	11
condiciones	85	335	133	344	595	842	11
de	135	335	145	344	595	842	11
temperatura	148	335	195	344	595	842	11
a	198	335	203	344	595	842	11
65	205	335	215	344	595	842	11
ºC	218	335	228	344	595	842	11
no	230	335	240	344	595	842	11
se	243	335	252	344	595	842	11
genera	254	335	281	344	595	842	11
un	283	335	293	344	595	842	11
ataque	296	335	322	344	595	842	11
eficiente	325	335	359	344	595	842	11
de	362	335	371	344	595	842	11
la	374	335	381	344	595	842	11
superficie	384	335	423	344	595	842	11
del	426	335	438	344	595	842	11
silicio	440	335	465	344	595	842	11
y	468	335	473	344	595	842	11
por	475	335	489	344	595	842	11
tanto	491	335	511	344	595	842	11
no	514	335	524	344	595	842	11
es	85	347	93	356	595	842	11
posible	96	347	125	356	595	842	11
obtener	128	347	158	356	595	842	11
poros	161	347	183	356	595	842	11
en	186	347	195	356	595	842	11
esta	198	347	214	356	595	842	11
situación.	217	347	255	356	595	842	11
Finalmente,	258	347	305	356	595	842	11
el	308	347	315	356	595	842	11
análisis	318	347	348	356	595	842	11
de	351	347	360	356	595	842	11
la	363	347	370	356	595	842	11
evolución	373	347	413	356	595	842	11
de	415	347	425	356	595	842	11
las	428	347	439	356	595	842	11
corrientes	442	347	481	356	595	842	11
del	484	347	496	356	595	842	11
proce-	499	347	525	356	595	842	11
so	85	359	94	368	595	842	11
para	97	359	114	368	595	842	11
condiciones	117	359	165	368	595	842	11
óptimas	168	359	199	368	595	842	11
de	202	359	212	368	595	842	11
la	215	359	222	368	595	842	11
fabricación	225	359	270	368	595	842	11
permite	273	359	303	368	595	842	11
caracterizar	306	359	353	368	595	842	11
la	356	359	363	368	595	842	11
formación	366	359	407	368	595	842	11
macroporos	410	359	457	368	595	842	11
y	460	359	465	368	595	842	11
ofrece	468	359	493	368	595	842	11
un	496	359	506	368	595	842	11
me-	509	359	524	368	595	842	11
canismo	85	371	118	380	595	842	11
altamente	121	371	160	380	595	842	11
funcional	162	371	200	380	595	842	11
para	202	371	219	380	595	842	11
el	222	371	229	380	595	842	11
control	232	371	260	380	595	842	11
de	262	371	272	380	595	842	11
su	274	371	283	380	595	842	11
tamaño.	286	371	318	380	595	842	11
En	85	386	96	395	595	842	11
general	99	386	128	395	595	842	11
el	130	386	138	395	595	842	11
trabajo	140	386	168	395	595	842	11
ofrece	170	386	195	395	595	842	11
las	198	386	209	395	595	842	11
siguientes	211	386	251	395	595	842	11
posibilidades:	254	386	309	395	595	842	11
1.	121	401	129	410	595	842	11
Caracterizar	139	401	188	410	595	842	11
el	190	401	198	410	595	842	11
proceso	200	401	231	410	595	842	11
de	234	401	243	410	595	842	11
fabricación	246	401	290	410	595	842	11
de	293	401	302	410	595	842	11
macroporos	305	401	352	410	595	842	11
bajo	355	401	372	410	595	842	11
las	374	401	385	410	595	842	11
condiciones	388	401	435	410	595	842	11
establecidas	438	401	486	410	595	842	11
2.	121	416	129	425	595	842	11
Determinar	139	416	184	425	595	842	11
condiciones	187	416	235	425	595	842	11
óptimas	237	416	269	425	595	842	11
de	271	416	281	425	595	842	11
fabricación	284	416	328	425	595	842	11
de	331	416	340	425	595	842	11
macroporos	343	416	390	425	595	842	11
3.	121	431	129	440	595	842	11
Provee	139	431	167	440	595	842	11
una	169	431	184	440	595	842	11
metodología	186	431	236	440	595	842	11
económica,	239	431	284	440	595	842	11
fácil	287	431	305	440	595	842	11
y	307	431	312	440	595	842	11
versátil	315	431	344	440	595	842	11
para	346	431	364	440	595	842	11
la	366	431	373	440	595	842	11
fabricación	376	431	421	440	595	842	11
de	423	431	433	440	595	842	11
macroporos	435	431	483	440	595	842	11
4.	121	446	129	455	595	842	11
Lo	139	446	150	455	595	842	11
anterior	153	446	184	455	595	842	11
da	187	446	196	455	595	842	11
lugar	199	446	219	455	595	842	11
a	222	446	227	455	595	842	11
la	230	446	237	455	595	842	11
extrapolación	239	446	294	455	595	842	11
y	297	446	302	455	595	842	11
adecuación	304	446	350	455	595	842	11
del	352	446	364	455	595	842	11
procedimiento	367	446	425	455	595	842	11
en	428	446	437	455	595	842	11
una	440	446	454	455	595	842	11
metodología	457	446	507	455	595	842	11
que	510	446	524	455	595	842	11
permite	139	458	169	467	595	842	11
la	173	458	179	467	595	842	11
fabricación	183	458	227	467	595	842	11
de	230	458	240	467	595	842	11
nanoporos,	243	458	287	467	595	842	11
generando	290	458	331	467	595	842	11
así	334	458	345	467	595	842	11
una	348	458	362	467	595	842	11
herramienta	365	458	413	467	595	842	11
de	416	458	425	467	595	842	11
utilidad	428	458	458	467	595	842	11
para	461	458	479	467	595	842	11
el	482	458	489	467	595	842	11
desarro-	491	458	525	467	595	842	11
llo	139	470	149	479	595	842	11
tecnológico,	152	470	201	479	595	842	11
tanto	204	470	224	479	595	842	11
de	226	470	236	479	595	842	11
la	238	470	245	479	595	842	11
medicina	248	470	284	479	595	842	11
como	287	470	309	479	595	842	11
de	312	470	321	479	595	842	11
la	324	470	330	479	595	842	11
biología.	333	470	368	479	595	842	11
6.	85	512	93	520	595	842	11
AGRADECIMIENTOS	95	512	184	520	595	842	11
Este	85	527	102	536	595	842	11
trabajo	105	527	132	536	595	842	11
ha	135	527	145	536	595	842	11
sido	147	527	164	536	595	842	11
financiado	167	527	209	536	595	842	11
por	212	527	225	536	595	842	11
CONICET-YPF	228	527	293	536	595	842	11
(PIO-2014),	295	527	344	536	595	842	11
ANPCyT	347	527	384	536	595	842	11
(PICT2012-575/PICT2013-	387	527	498	536	595	842	11
0840)	501	527	525	536	595	842	11
y	85	539	90	548	595	842	11
FAN	92	539	112	548	595	842	11
2014,	115	539	138	548	595	842	11
Argentina.	140	539	182	548	595	842	11
7.	85	569	93	577	595	842	11
BIBLIOGRAFÍA	95	569	160	577	595	842	11
[1]	85	584	97	593	595	842	11
HAQUE,	100	584	137	593	595	842	11
F.,	140	584	150	593	595	842	11
LI,	153	584	165	593	595	842	11
J.,	168	584	176	593	595	842	11
WU,	179	584	198	593	595	842	11
H.-C.,	201	584	226	593	595	842	11
et	229	584	236	593	595	842	11
al.,	239	584	251	593	595	842	11
“Solid-state	254	582	301	593	595	842	11
and	304	584	318	593	595	842	11
biological	321	584	361	593	595	842	11
nanopore	364	584	401	593	595	842	11
for	404	584	415	593	595	842	11
real-time	418	584	454	593	595	842	11
sensing	457	584	487	593	595	842	11
of	490	584	498	593	595	842	11
single	500	584	524	593	595	842	11
chemical	85	596	121	604	595	842	11
and	123	596	138	604	595	842	11
sequencing	140	593	185	604	595	842	11
of	188	593	197	604	595	842	11
DNA”,	199	593	227	604	595	842	11
Nano	230	596	252	604	595	842	11
Today,	254	596	282	604	595	842	11
v.	284	596	292	604	595	842	11
8,	294	596	302	604	595	842	11
pp.	304	596	317	604	595	842	11
56–74,	319	596	347	604	595	842	11
Feb.2013.	349	596	389	604	595	842	11
[2]	85	611	97	620	595	842	11
LIU,	99	612	116	620	595	842	11
S	119	612	124	620	595	842	11
.	124	611	126	620	595	842	11
,	126	612	129	620	595	842	11
ZHAO,	131	612	158	620	595	842	11
Q	160	612	167	620	595	842	11
.	167	611	170	620	595	842	11
,	170	612	172	620	595	842	11
LI,	175	612	185	620	595	842	11
Q	187	612	194	620	595	842	11
.	194	611	197	620	595	842	11
,	197	612	199	620	595	842	11
ZHANG.,	202	612	238	620	595	842	11
H,	240	612	249	620	595	842	11
et	252	611	259	620	595	842	11
al.,	262	611	274	620	595	842	11
“Controlled	277	609	324	620	595	842	11
deformation	327	611	376	620	595	842	11
of	378	611	387	620	595	842	11
Si	389	611	398	620	595	842	11
3	400	611	405	620	595	842	11
N	408	611	415	620	595	842	11
4	418	611	423	620	595	842	11
nanopores	426	611	466	620	595	842	11
using	469	611	490	620	595	842	11
focused	493	611	524	620	595	842	11
electron	85	621	117	632	595	842	11
beam	120	621	142	632	595	842	11
in	145	621	152	632	595	842	11
a	155	621	159	632	595	842	11
transmission	162	621	213	632	595	842	11
electron	216	621	248	632	595	842	11
microscope”,	251	621	304	632	595	842	11
Nanotechnology,	307	623	375	632	595	842	11
v.	378	623	385	632	595	842	11
22,	389	623	401	632	595	842	11
pp.	404	623	416	632	595	842	11
113201-1	419	623	458	632	595	842	11
/	460	623	463	632	595	842	11
113201-4,Sept	466	623	524	632	595	842	11
2011.	85	635	108	644	595	842	11
[3]	85	651	97	660	595	842	11
LANYON,	99	651	144	660	595	842	11
Y.	146	651	156	660	595	842	11
H.,	159	651	171	660	595	842	11
MARZI,	174	651	208	660	595	842	11
D.G.,	211	651	233	660	595	842	11
WATSON,	235	651	280	660	595	842	11
Y.E.,	283	651	304	660	595	842	11
et	306	651	314	660	595	842	11
al.,”Fabrication	316	651	379	660	595	842	11
of	381	651	390	660	595	842	11
Nanopore	392	651	432	660	595	842	11
Array	434	651	457	660	595	842	11
Electrodes	460	651	502	660	595	842	11
by	504	651	514	660	595	842	11
Focused	85	663	118	672	595	842	11
Ion	121	660	134	672	595	842	11
Beam	137	660	160	672	595	842	11
Milling”,	162	660	199	672	595	842	11
Analytical	202	663	243	672	595	842	11
Chemistry,	246	663	289	672	595	842	11
v.79,	292	663	312	672	595	842	11
pp.	314	663	327	672	595	842	11
3048–3055,	329	663	377	672	595	842	11
March	379	663	405	672	595	842	11
2007.	408	663	430	672	595	842	11
[4]	85	678	97	687	595	842	11
SPINNEY,	99	678	144	687	595	842	11
P.S.,	147	678	166	687	595	842	11
HOWITT,	168	678	210	687	595	842	11
D.G.,	213	678	235	687	595	842	11
SMITH,	237	678	271	687	595	842	11
R.L.,	274	678	294	687	595	842	11
et	297	678	304	687	595	842	11
al.,	307	678	319	687	595	842	11
“Nanopore	322	676	366	687	595	842	11
formation	369	676	408	687	595	842	11
by	410	676	420	687	595	842	11
low-energy	423	676	469	687	595	842	11
focused	471	678	502	687	595	842	11
elec-	505	678	525	687	595	842	11
tron	85	688	101	699	595	842	11
beam	104	688	125	699	595	842	11
machining”,	128	688	177	699	595	842	11
Nanotechnology,	179	690	247	699	595	842	11
v.	250	690	257	699	595	842	11
21,	260	690	273	699	595	842	11
n.37,	275	690	295	699	595	842	11
PP.	298	690	311	699	595	842	11
375301,	314	690	346	699	595	842	11
Aug.	349	690	368	699	595	842	11
2010.	371	690	393	699	595	842	11
[5]	85	706	97	715	595	842	11
GADGIL,	101	706	141	715	595	842	11
V,J.,TONG,	145	706	194	715	595	842	11
H,D.,CESA,	198	706	247	715	595	842	11
Y.,	251	706	263	715	595	842	11
et	267	706	275	715	595	842	11
al.,	278	706	291	715	595	842	11
“Fabrication	295	704	345	715	595	842	11
of	348	704	357	715	595	842	11
nano	360	704	380	715	595	842	11
structures	384	704	422	715	595	842	11
in	426	704	434	715	595	842	11
thin	437	704	453	715	595	842	11
membranes	457	704	503	715	595	842	11
with	506	704	524	715	595	842	11
focused	85	718	116	727	595	842	11
ion	119	718	131	727	595	842	11
beam	134	718	156	727	595	842	11
technology”,	158	718	209	727	595	842	11
Surface	212	718	243	727	595	842	11
and	245	718	260	727	595	842	11
Coatings	263	718	299	727	595	842	11
Technology,	301	718	350	727	595	842	11
v.	353	718	360	727	595	842	11
203,	363	718	380	727	595	842	11
pp.2436–2441,	383	718	443	727	595	842	11
June,	446	718	466	727	595	842	11
2009.	469	718	491	727	595	842	11
[6]	85	733	97	742	595	842	11
STORM,	101	733	138	742	595	842	11
A.	142	733	152	742	595	842	11
J.,	156	733	165	742	595	842	11
CHEN,	169	733	199	742	595	842	11
J.	203	733	209	742	595	842	11
H.,	214	733	226	742	595	842	11
LING,	230	733	256	742	595	842	11
X.	261	733	270	742	595	842	11
S.,	275	733	285	742	595	842	11
et	290	733	297	742	595	842	11
al.,	301	733	314	742	595	842	11
“Fabrication	318	731	368	742	595	842	11
of	372	731	381	742	595	842	11
solid-state	385	731	426	742	595	842	11
nanopores	430	733	471	742	595	842	11
with	475	733	493	742	595	842	11
single-	498	733	524	742	595	842	11
nanometre	85	743	127	754	595	842	11
precision”,	130	743	173	754	595	842	11
Nat	176	745	190	754	595	842	11
Mater,	193	745	220	754	595	842	11
v.	222	745	230	754	595	842	11
2,	232	745	240	754	595	842	11
p.	242	745	250	754	595	842	11
537–540,	252	745	290	754	595	842	11
July	292	745	309	754	595	842	11
2003.	311	745	334	754	595	842	11
[7]	85	761	97	770	595	842	11
VEGA,	101	761	130	770	595	842	11
M.,	134	761	148	770	595	842	11
LERNER,	152	761	193	770	595	842	11
B.,	197	761	209	770	595	842	11
LASORSA,	212	761	260	770	595	842	11
C.	264	761	273	770	595	842	11
A.,	277	761	289	770	595	842	11
et	293	761	300	770	595	842	11
al.,	304	761	317	770	595	842	11
“Automated	320	759	369	770	595	842	11
and	373	759	387	770	595	842	11
low	391	759	406	770	595	842	11
cost	410	759	426	770	595	842	11
method	430	759	459	770	595	842	11
to	463	759	471	770	595	842	11
manufacture	475	759	525	770	595	842	11
DER,	280	40	298	47	595	842	12
M.;	300	40	312	47	595	842	12
OLMOS,C.;	314	40	353	47	595	842	12
ROSERO,G.,	355	40	398	47	595	842	12
et	400	40	406	47	595	842	12
al.	408	40	416	47	595	842	12
revista	418	40	439	47	595	842	12
Matéria,	441	40	469	47	595	842	12
v.	471	40	476	47	595	842	12
23,	478	40	488	47	595	842	12
n.	490	40	496	47	595	842	12
2,	498	40	504	47	595	842	12
2018.	506	40	524	47	595	842	12
addressable	85	73	131	82	595	842	12
solid-state	134	73	175	82	595	842	12
nanopores”,	178	71	226	82	595	842	12
Microsystem	228	73	279	82	595	842	12
Technologies,	282	73	338	82	595	842	12
v.	340	73	348	82	595	842	12
22,	350	73	363	82	595	842	12
pp.	365	73	378	82	595	842	12
109–117,	380	73	418	82	595	842	12
Dic	420	73	435	82	595	842	12
2014.	437	73	460	82	595	842	12
[8]	85	89	97	98	595	842	12
CHEN,	100	89	130	98	595	842	12
J.,	133	89	142	98	595	842	12
DENG,	145	89	175	98	595	842	12
T.,	179	89	190	98	595	842	12
WU,	193	89	212	98	595	842	12
C.	215	89	224	98	595	842	12
N.,	228	89	240	98	595	842	12
et	243	89	251	98	595	842	12
al.,	254	89	267	98	595	842	12
“Fabrication	270	87	320	98	595	842	12
of	323	87	331	98	595	842	12
Silicon	334	87	363	98	595	842	12
Nanopore	366	87	406	98	595	842	12
Arrays	409	87	436	98	595	842	12
with	439	89	457	98	595	842	12
Three-Step	460	89	505	98	595	842	12
Wet	508	89	524	98	595	842	12
Etching”,	85	101	123	110	595	842	12
ECS	126	101	143	110	595	842	12
Transactions,	146	101	201	110	595	842	12
v.	203	101	211	110	595	842	12
52,	213	101	226	110	595	842	12
pp.371–376,	228	101	278	110	595	842	12
Aug.	281	101	300	110	595	842	12
2013.	303	101	326	110	595	842	12
[9]	85	117	97	126	595	842	12
YANAGI,	100	117	141	126	595	842	12
I.,	144	117	152	126	595	842	12
AKAHORI,	155	117	203	126	595	842	12
R.,	206	117	218	126	595	842	12
HATANO,	220	117	265	126	595	842	12
T.,	268	117	279	126	595	842	12
et	282	117	289	126	595	842	12
al.,	292	117	304	126	595	842	12
“Fabricating	307	115	357	126	595	842	12
nanopores	360	115	401	126	595	842	12
with	403	115	421	126	595	842	12
diameters	424	115	463	126	595	842	12
of	465	115	474	126	595	842	12
sub-1	476	115	499	126	595	842	12
nm	501	117	514	126	595	842	12
to	517	117	524	126	595	842	12
3	85	128	90	137	595	842	12
nm	93	128	105	137	595	842	12
using	108	128	129	137	595	842	12
multilevel	132	128	173	137	595	842	12
pulse-voltage	175	128	229	137	595	842	12
injection”,	232	126	273	137	595	842	12
Scientific	276	128	313	137	595	842	12
Reports,	316	128	349	137	595	842	12
v.	352	128	359	137	595	842	12
4,	362	128	369	137	595	842	12
pp	372	128	382	137	595	842	12
1-7,	384	128	400	137	595	842	12
May.	403	128	423	137	595	842	12
2014.	426	128	448	137	595	842	12
[10]	85	144	102	153	595	842	12
BRIGGS,	106	144	145	153	595	842	12
K.,	150	144	162	153	595	842	12
KWOK,	167	144	200	153	595	842	12
H.,	204	144	217	153	595	842	12
TABARD-COSSA,	221	144	300	153	595	842	12
V.	305	142	315	153	595	842	12
“Automated	319	142	368	153	595	842	12
Fabrication	372	142	418	153	595	842	12
of	422	142	431	153	595	842	12
2-nm	435	142	456	153	595	842	12
Solid-State	461	144	505	153	595	842	12
Na-	510	144	525	153	595	842	12
nopores	85	156	117	165	595	842	12
for	119	154	131	165	595	842	12
Nucleic	134	154	164	165	595	842	12
Acid	167	154	186	165	595	842	12
Analysis”,	189	154	230	165	595	842	12
Small,	233	156	259	165	595	842	12
v.10,	262	156	282	165	595	842	12
pp.	284	156	297	165	595	842	12
2077	299	156	319	165	595	842	12
–	322	154	327	165	595	842	12
2086,	330	156	352	165	595	842	12
March.	354	156	383	165	595	842	12
2014.	386	156	408	165	595	842	12
[11]	85	172	102	181	595	842	12
KUAN,	105	172	136	181	595	842	12
A.T.,	139	172	159	181	595	842	12
LU,	162	172	178	181	595	842	12
B.,	181	172	192	181	595	842	12
SZALAY,T.,	195	172	248	181	595	842	12
et	251	172	258	181	595	842	12
al,	261	172	271	181	595	842	12
“Electrical	274	170	316	181	595	842	12
pulse	319	170	340	181	595	842	12
fabrication	343	170	386	181	595	842	12
of	389	170	397	181	595	842	12
graphene	400	170	437	181	595	842	12
nanopores	439	170	481	181	595	842	12
in	483	170	491	181	595	842	12
electro-	494	170	524	181	595	842	12
lyte	85	181	100	192	595	842	12
solution”,	102	181	141	192	595	842	12
Applied	144	183	175	192	595	842	12
Physics	178	183	208	192	595	842	12
Letters,	211	183	241	192	595	842	12
v.	244	183	251	192	595	842	12
106,	254	183	271	192	595	842	12
203109	274	183	304	192	595	842	12
-1	306	183	315	192	595	842	12
-203109	317	183	350	192	595	842	12
-9,	353	183	364	192	595	842	12
May.	366	183	387	192	595	842	12
2015.	390	183	412	192	595	842	12
[12]	85	199	102	208	595	842	12
APEL,	105	199	133	208	595	842	12
P.	136	199	144	208	595	842	12
Y.,	148	199	160	208	595	842	12
BASHEVOY,	164	199	220	208	595	842	12
V.,	224	199	236	208	595	842	12
BLONSKAYA,	239	199	303	208	595	842	12
I.,	307	199	316	208	595	842	12
et	319	199	326	208	595	842	12
al.,”Shedding	330	199	385	208	595	842	12
light	388	199	406	208	595	842	12
on	410	199	420	208	595	842	12
the	423	199	436	208	595	842	12
mechanism	439	199	485	208	595	842	12
of	488	199	497	208	595	842	12
asym-	500	199	524	208	595	842	12
metric	85	211	110	220	595	842	12
track	114	211	134	220	595	842	12
etching:	137	211	169	220	595	842	12
an	172	211	182	220	595	842	12
interplay	185	211	221	220	595	842	12
between	224	211	257	220	595	842	12
latent	261	211	282	220	595	842	12
track	286	211	306	220	595	842	12
structure:	309	211	347	220	595	842	12
etchant	350	211	379	220	595	842	12
diffusion	382	211	418	220	595	842	12
and	421	211	436	220	595	842	12
osmotic	439	211	471	220	595	842	12
flow”,	474	211	499	220	595	842	12
Phys.	503	211	525	220	595	842	12
Chem.	85	223	111	232	595	842	12
Chem.	113	223	139	232	595	842	12
Phys,	142	223	164	232	595	842	12
v.	166	223	174	232	595	842	12
18,	176	223	189	232	595	842	12
pp.	191	223	204	232	595	842	12
25421–25433	206	223	261	232	595	842	12
Aug.	264	223	283	232	595	842	12
2016.	286	223	308	232	595	842	12
[13]	85	239	102	248	595	842	12
SEXTON,	106	239	148	248	595	842	12
L.,	152	239	163	248	595	842	12
MARTIN	168	239	207	248	595	842	12
L.P.	211	239	228	248	595	842	12
“Developing	232	237	283	248	595	842	12
synthetic	287	239	323	248	595	842	12
conical	328	239	357	248	595	842	12
nanopores	361	239	402	248	595	842	12
for	406	239	418	248	595	842	12
biosensing	422	239	464	248	595	842	12
applications”,	469	239	524	248	595	842	12
Mol.	85	250	104	259	595	842	12
BioSyst.,	106	250	141	259	595	842	12
v.	144	250	151	259	595	842	12
3,	154	250	161	259	595	842	12
pp.	164	250	176	259	595	842	12
667–685,	179	250	216	259	595	842	12
September	219	250	261	259	595	842	12
2007.	264	250	286	259	595	842	12
[14]	85	264	102	275	595	842	12
HOLZE,	105	264	140	275	595	842	12
R.	144	264	153	275	595	842	12
“Electrochemistry	157	264	229	275	595	842	12
of	233	264	241	275	595	842	12
silicon	244	264	271	275	595	842	12
and	275	264	289	275	595	842	12
its	293	264	302	275	595	842	12
oxides”,	305	264	338	275	595	842	12
Journal	342	266	373	275	595	842	12
of	377	266	384	275	595	842	12
Solid	388	266	408	275	595	842	12
State	412	266	432	275	595	842	12
Electrochemistry,	435	266	506	275	595	842	12
v.7,	510	266	525	275	595	842	12
pp.	85	278	98	287	595	842	12
318–319,	100	278	138	287	595	842	12
April	140	278	161	287	595	842	12
2003.	163	278	186	287	595	842	12
[15]	85	294	102	303	595	842	12
SATO,	105	294	134	303	595	842	12
K.,SHIKIDA,	137	294	192	303	595	842	12
M.,	196	294	209	303	595	842	12
MATSUCHIMA,	213	294	283	303	595	842	12
Y.,	286	294	299	303	595	842	12
et	302	294	309	303	595	842	12
al.,	313	294	325	303	595	842	12
“Characterization	329	292	399	303	595	842	12
of	402	292	411	303	595	842	12
orientation-dependent	413	292	501	303	595	842	12
etch-	505	294	525	303	595	842	12
ing	85	306	98	315	595	842	12
properties	101	306	141	315	595	842	12
of	144	306	152	315	595	842	12
single-crystal	156	306	210	315	595	842	12
silicon:	213	306	242	315	595	842	12
effects	245	304	272	315	595	842	12
of	275	304	284	315	595	842	12
KOH	287	304	308	315	595	842	12
concentration”,	311	304	373	315	595	842	12
Sensors	376	306	407	315	595	842	12
and	410	306	425	315	595	842	12
Actuators	428	306	467	315	595	842	12
A,	470	306	479	315	595	842	12
v.	483	306	490	315	595	842	12
64,	496	306	509	315	595	842	12
pp.	512	306	525	315	595	842	12
87-93,	85	317	111	326	595	842	12
1988.	114	317	136	326	595	842	12
[16]	85	333	102	342	595	842	12
COLLINS,	105	333	149	342	595	842	12
S.,	153	333	163	342	595	842	12
“Etch	166	331	189	342	595	842	12
Stop	192	333	210	342	595	842	12
Techniques	213	331	259	342	595	842	12
for	262	331	274	342	595	842	12
Micromachining”,	277	331	350	342	595	842	12
Journal	354	333	385	342	595	842	12
of	388	333	396	342	595	842	12
the	399	333	411	342	595	842	12
Electrochemical	414	333	480	342	595	842	12
Society,	483	333	514	342	595	842	12
v.	517	333	525	342	595	842	12
144.	85	345	103	354	595	842	12
n.6,	105	345	120	354	595	842	12
pp.	123	345	135	354	595	842	12
2242-262,	138	345	179	354	595	842	12
1997.	181	345	204	354	595	842	12
[17]	85	361	102	370	595	842	12
SEIDEL,	105	361	142	370	595	842	12
H.,	145	361	157	370	595	842	12
CSPREGI,	160	361	204	370	595	842	12
L.,HEUBERGER,A.,	207	361	292	370	595	842	12
et	296	361	303	370	595	842	12
al.,	306	361	319	370	595	842	12
“Anisotropic	322	359	373	370	595	842	12
Etching	376	359	407	370	595	842	12
of	410	359	419	370	595	842	12
Crystalline	422	359	465	370	595	842	12
Silicon	469	359	497	370	595	842	12
in	500	359	508	370	595	842	12
Al-	511	359	524	370	595	842	12
kaline	85	373	109	382	595	842	12
Solutions,	112	373	152	382	595	842	12
I.	155	373	161	382	595	842	12
Orientation	163	373	208	382	595	842	12
Dependence	211	373	260	382	595	842	12
and	263	373	277	382	595	842	12
Behavior	280	371	317	382	595	842	12
of	319	371	328	382	595	842	12
Passivation	330	371	376	382	595	842	12
Layers”,	378	371	412	382	595	842	12
J.	415	373	422	382	595	842	12
Electrochem.	425	373	477	382	595	842	12
Soc,	480	373	497	382	595	842	12
v.137,	500	373	525	382	595	842	12
pp.	85	384	98	393	595	842	12
3612–3626,	100	384	148	393	595	842	12
Nov	150	384	167	393	595	842	12
1990.	170	384	192	393	595	842	12
[18]	85	400	102	409	595	842	12
HARRELL,	105	400	153	409	595	842	12
C.	157	400	166	409	595	842	12
C.,	169	400	181	409	595	842	12
SIWY,	184	400	212	409	595	842	12
Z.	215	400	223	409	595	842	12
S.,	227	400	237	409	595	842	12
MARTIN,	241	400	283	409	595	842	12
C.	286	400	295	409	595	842	12
R.	298	400	307	409	595	842	12
“Conical	310	398	346	409	595	842	12
Nanopore	349	400	389	409	595	842	12
Membranes:	392	400	441	409	595	842	12
Controlling	445	400	491	409	595	842	12
the	494	400	506	409	595	842	12
Na-	509	400	525	409	595	842	12
nopore	85	412	113	421	595	842	12
Shape”,	115	412	147	421	595	842	12
Small	149	412	172	421	595	842	12
,	175	412	177	421	595	842	12
v.	180	412	187	421	595	842	12
2,	190	412	197	421	595	842	12
pp.	200	412	212	421	595	842	12
194–198,	215	412	252	421	595	842	12
Nov.	255	412	274	421	595	842	12
2006.	277	412	299	421	595	842	12
[19]	85	428	102	437	595	842	12
PARK,	106	426	135	437	595	842	12
S.	139	426	147	437	595	842	12
R.,	151	426	163	437	595	842	12
PENG,	167	426	196	437	595	842	12
H.,	200	426	212	437	595	842	12
LING,	216	426	242	437	595	842	12
X.	246	426	256	437	595	842	12
S.	260	426	268	437	595	842	12
“Fabrication	272	426	322	437	595	842	12
of	326	426	335	437	595	842	12
Nanopores	339	426	382	437	595	842	12
in	386	426	394	437	595	842	12
Silicon	398	426	426	437	595	842	12
Chips	431	428	454	437	595	842	12
Using	458	428	482	437	595	842	12
Feedback	486	428	524	437	595	842	12
Chemical	85	437	123	448	595	842	12
Etching”,	126	437	164	448	595	842	12
Small	166	439	189	448	595	842	12
,	192	439	194	448	595	842	12
v.3,	197	439	212	448	595	842	12
pp.	214	439	227	448	595	842	12
116–119,	229	439	267	448	595	842	12
Oct.	269	439	286	448	595	842	12
2006.	289	439	311	448	595	842	12
[20]	85	455	102	464	595	842	12
CHEN,	105	455	135	464	595	842	12
L.,	139	455	150	464	595	842	12
CHEN,	154	455	183	464	595	842	12
M.,	187	455	201	464	595	842	12
LIEN,	204	455	230	464	595	842	12
C.,	233	455	245	464	595	842	12
et	249	455	256	464	595	842	12
al.,	259	455	272	464	595	842	12
“The	276	453	296	464	595	842	12
Band	299	453	320	464	595	842	12
Model	324	453	350	464	595	842	12
and	354	453	368	464	595	842	12
the	372	453	384	464	595	842	12
Etching	388	453	419	464	595	842	12
Mechanism	422	453	469	464	595	842	12
of	472	453	481	464	595	842	12
Silicon	484	453	513	464	595	842	12
in	517	453	524	464	595	842	12
Aqueous	85	467	120	476	595	842	12
KOH”,	125	465	153	476	595	842	12
Journal	156	467	187	476	595	842	12
of	190	467	198	476	595	842	12
The	200	467	215	476	595	842	12
Electrochemical	218	467	283	476	595	842	12
Society,	286	467	317	476	595	842	12
v.	320	467	327	476	595	842	12
142,	330	467	347	476	595	842	12
pp.	350	467	362	476	595	842	12
170–176.	365	467	402	476	595	842	12
Jun.1995.	405	467	443	476	595	842	12
[21]	85	483	102	492	595	842	12
APEL,	105	483	132	492	595	842	12
P.	136	483	143	492	595	842	12
Y.,	147	483	159	492	595	842	12
KORCHEV,	162	483	212	492	595	842	12
Y.	216	483	225	492	595	842	12
E.,	229	483	240	492	595	842	12
SIWY,	243	483	271	492	595	842	12
Z.,	274	483	285	492	595	842	12
et	288	483	295	492	595	842	12
al.,	299	483	312	492	595	842	12
“Diode-like	315	481	362	492	595	842	12
single-ion	365	483	405	492	595	842	12
track	408	483	428	492	595	842	12
membrane	431	483	473	492	595	842	12
prepared	476	483	511	492	595	842	12
by	514	483	525	492	595	842	12
electro-stopping.	85	495	152	504	595	842	12
Nuclear	155	493	187	504	595	842	12
Instruments	190	493	237	504	595	842	12
and	240	493	254	504	595	842	12
Methods	257	493	292	504	595	842	12
in	295	493	303	504	595	842	12
Physics	306	493	336	504	595	842	12
Research”,	339	493	382	504	595	842	12
Section	386	495	415	504	595	842	12
B:	418	495	428	504	595	842	12
Beam	430	495	453	504	595	842	12
Interactions	456	495	504	504	595	842	12
with	507	495	524	504	595	842	12
Materials	85	506	124	516	595	842	12
and	126	506	141	516	595	842	12
Atoms,	144	506	172	516	595	842	12
v.	174	506	181	516	595	842	12
184,	184	506	202	516	595	842	12
pp.	204	506	217	516	595	842	12
337–346,	219	506	257	516	595	842	12
Nov2001.	259	506	299	516	595	842	12
[22]	85	522	102	531	595	842	12
PALIK,	105	522	136	531	595	842	12
E.	139	522	148	531	595	842	12
D.,	151	522	163	531	595	842	12
GLEMBPCKI,	166	522	226	531	595	842	12
O.	229	522	239	531	595	842	12
J.,	242	522	251	531	595	842	12
HEARD,	254	522	290	531	595	842	12
I.,	293	522	302	531	595	842	12
et	305	522	312	531	595	842	12
al.,	315	522	328	531	595	842	12
“Etching	331	520	366	531	595	842	12
roughness	369	520	409	531	595	842	12
for	412	520	424	531	595	842	12
(100)	427	520	449	531	595	842	12
silicon	452	520	478	531	595	842	12
surfaces	481	520	513	531	595	842	12
in	517	520	524	531	595	842	12
aqueous	85	532	118	543	595	842	12
KOH”,	120	532	149	543	595	842	12
Journal	151	534	182	543	595	842	12
of	185	534	193	543	595	842	12
Applied	195	534	227	543	595	842	12
Physics,	229	534	262	543	595	842	12
v.70,	264	534	284	543	595	842	12
Oct	287	534	301	543	595	842	12
1991.	304	534	326	543	595	842	12
[23]	85	550	102	559	595	842	12
SIWY,	105	550	133	559	595	842	12
Z.,	137	550	148	559	595	842	12
DOBREV,	151	550	194	559	595	842	12
D.,	198	550	210	559	595	842	12
NEUMANN,	213	550	267	559	595	842	12
R.,	270	550	282	559	595	842	12
et	286	550	293	559	595	842	12
al.,	296	550	309	559	595	842	12
“Electro-responsive	312	548	392	559	595	842	12
asymmetric	395	550	441	559	595	842	12
nanopores	445	550	486	559	595	842	12
in	490	550	497	559	595	842	12
polyi-	501	550	524	559	595	842	12
mide	85	562	105	570	595	842	12
with	107	562	125	570	595	842	12
stable	128	562	151	570	595	842	12
ion-current	154	562	198	570	595	842	12
signal”,	201	559	231	570	595	842	12
Applied	234	562	265	570	595	842	12
Physics	268	562	298	570	595	842	12
A	300	562	307	570	595	842	12
,	309	562	312	570	595	842	12
v.76,	314	562	334	570	595	842	12
pp.781–785,	337	562	387	570	595	842	12
March	389	562	415	570	595	842	12
2003.	418	562	440	570	595	842	12
[24]	85	577	102	586	595	842	12
CHTANKO,	105	577	156	586	595	842	12
N.,	159	577	171	586	595	842	12
TOIMIL	174	577	209	586	595	842	12
MOLARES,	212	577	262	586	595	842	12
M.	265	577	277	586	595	842	12
E.,	280	577	291	586	595	842	12
CORNELIUS,	294	577	352	586	595	842	12
T.,	356	577	367	586	595	842	12
et	370	577	377	586	595	842	12
al.,	380	577	393	586	595	842	12
“Etched	396	575	428	586	595	842	12
Single-Ion-Track	431	577	500	586	595	842	12
Tem-	503	577	524	586	595	842	12
plates	85	589	108	598	595	842	12
for	112	589	124	598	595	842	12
Single	127	589	152	598	595	842	12
Nanowire	156	589	195	598	595	842	12
Synthesis”,	199	589	244	598	595	842	12
The	248	589	263	598	595	842	12
Journal	266	589	297	598	595	842	12
of	301	589	309	598	595	842	12
Physical	312	589	347	598	595	842	12
Chemistry	350	589	391	598	595	842	12
B,	395	589	403	598	595	842	12
v.	407	589	414	598	595	842	12
108,	418	589	436	598	595	842	12
pp.	439	589	452	598	595	842	12
9950–9954,	455	589	503	598	595	842	12
June	506	589	524	598	595	842	12
2004.	85	601	108	610	595	842	12
