কয়েক দশক পরে, মাল্টিগেট প্রযুক্তির অগ্রগতির কারণে  মেটাল অক্সাইড সেমিকন্ডাক্টর ফিল্ড এফেক্ট ট্রান্সিস্ট্র (এমওএসএফ ইটি) ডিভাইস স্কেলিং শুরু হয়েছিলো ২০ ন্যনোমিটার গেইট এর দৈর্ঘ্যের চেয়ে ও ছোট (ফিন-ফিল্ড-এফেক্ট ট্রান্সিস্টর)দিয়ে শুরুহউ, একটি তিন মাত্রিক, অকল্পিত, ডাবল মওএসেফট।