Вакуум
Ва́куум (от Latin: vacuus — пустой) — пространство, свободное от вещества. В технике и прикладной физике под вакуумом понимают среду, состоящую из газа при давлении значительно ниже атмосферного[1]. Вакуум характеризуется соотношением между длиной свободного пробега молекул газа λ и характерным размером среды d. Под d может приниматься расстояние между стенками вакуумной камеры, диаметр вакуумного трубопровода В зависимости от величины соотношения λ/d различают низкий ( λ / d ≪ 1 {\displaystyle \lambda /d\ll 1} ), средний ( λ / d ∼ 1 {\displaystyle \lambda /d\sim 1} ) и высокий ( λ / d ≫ 1 {\displaystyle \lambda /d\gg 1} ) вакуум.
Вакуум
Сверхвысокие вакуумные системы, как правило, отжигаются, желательно под вакуумом, чтобы временно повысить испарение всех материалов и выпарить их. После того, как большая часть испаряющихся материалов выпарена и удалена, система может быть охлаждена, для уменьшения парения материалов и минимизации остаточного газовыделения во время рабочей эксплуатации. Некоторые системы охлаждают существенно ниже комнатной температуры с помощью жидкого азота для полного прекращения остаточного газовыделения и одновременно создания эффекта криогенной откачки системы.