హైడ్రాజీన్
హైడ్రాజీన్ అనునది ఒక అకర్బన రసాయన సంయోగ పదార్థం.వ్యవస్థపరమైన పేరు డైఆజాన్ లేదా టెట్రాహైడ్రిడో డైనైట్రోజన్ (N-N). ఈ సంయోగపదార్థం యొక్క రసాయనసంకేత పదం H2NNH2 (N2H4అనికూడా వ్రాస్తారు).ఇది రంగులేని మండేలక్షణము ఉన్న ద్రవం.అమ్మోనియా వాయువు వంటి వాసన కలిగిఉన్నది. హైడ్రాజీన్ అధిక విష ప్రభావమున్న రసాయనపదార్థం, హైడ్రాజీన్ స్థిరమైనది, కావున ద్రవరూపంలో జాగ్రత్తగా భద్రపరచవలెను. 2000 సంవత్సరం నాటికి ప్రపంచ వ్యాప్తంగా 0.12మిలియను టన్నుల హైడ్రాజీన్ హైడ్రేట్ (నీటి బరువుతో లెక్కించిన 64% హైడ్రాజీన్ ద్రవం) ప్రతి సంవత్సరం ఉత్పత్తి అవుతున్నది.
డైక్లోరోసైలన్
డై క్లోరోసైలన్ ఒక రసాయన సంయోగ పదార్థం. దీనిని DCS అనికూడా పిలుస్తారు.ఈ సంయోగపదార్థం యొక్క రసాయన సంకేత పదం HSiCl.అర్ధవాహక (semiconductor) ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో సిలికాన్ నైట్రేడ్ను వృద్ధి పరచుటకై LPCVD గదిలో అమ్మోనియాతో డై క్లోరోసైలన్ ను మిశ్రమం చేయుదురు.అధిక గాఢత కలిగిన డైక్లోరోసిలేన్,ఆమ్మోనియా (16:1)మిశ్రమం తక్కువ స్ట్రెస్ కలిగిన నైట్రేడ్ ఫిల్మ్స్ఏర్పరచును.సైలన్ మరియు సిలికాన్ టెట్రా క్లోరైడులకు మధ్యంతరస్థాయి సమ్మేళన పదార్థం డై క్లోరో సిలేన్.
డైక్లోరోసైలన్‌ను మొదట 1919లో తయారుచేసారు. వాయుదశలో మొనోసిలేన్(SiH)హైడ్రోజన్‌క్లోరైడ్ (HCl)తో చర్యవలన డైక్లోరోసైలన్‌ను స్టాక్ మరియు సోమీస్కీఅనువారు ఉత్పత్తి చేసారు.వాయు స్థితిలో నీటి ఆవిరితో డైక్లోరోసైలన్ చర్యవలన వాయురూపంలో ఉన్నమొనోమెరిక్ ప్రోసిలాక్సేన్(HSiO)ఏర్పడుతుంది.ప్రోసిలాక్సేన్ ద్రవస్థితిలో వేగంగా,వాయుస్థితిలో నెమ్మదిగా పాలిమరుగా మారుతుంది. తత్ఫలితంగా ద్రవ,ఘన పాలి సిలాక్సేన్[HSiO]n ఏర్పడుతుంది. ద్రవభాగాన్ని వాక్యుం(పీడన రహితస్థితి)లో డిస్టిలేసన్ చేసి /బాష్పీకరించి వేరుచేయుదురు. వేరు చేయబడిన భాగం గదిఉష్ణోగ్రత వద్ద చిక్కమారి జెల్లాతయారు అవుతుంది.